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05. ็ตๅฝฑไบงไธ็ๆฐๅญๅ่ฝฌๅ
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2. ๅ ๅปๆๆฏ็ๆผ่ฟไธ็ช็ ด
ๅ ๅปๆๆฏ็ๆผ่ฟไธ็ช็ ดใๅ ๅปๆณข้ฟ็ๆผ่ฟ๏ผไปg-line๏ผ436nm๏ผๅฐi-line๏ผ365nm๏ผ๏ผKrF๏ผ248nm๏ผๅArF๏ผ193nm๏ผ๏ผEUV๏ผ13.5nm๏ผ็็ช็ ดใๅ่พจ็ๅขๅผบๆๆฏ๏ผๆตธๆฒกๅผๅ ๅป๏ผๆฐดๆตธๆฒกๆๅๅ่พจ็๏ผ๏ผๅ้ๅพๆกๅ๏ผๅ่พจ็ๅขๅผบ๏ผ๏ผSMOๅOPC๏ผ่ฎก็ฎๅ ๅป๏ผใEUVๅ ๅป็ๅไธๅ๏ผEUVๅ ๆบ็็ช็ ด๏ผ13.5nmๆณข้ฟ็ๅ ๆบ๏ผ๏ผEUVๅ ๅปๆบ็ไบงไธๅ๏ผASML็EUVๅ ๅปๆบ๏ผ๏ผEUV็่ฏ็ๅไบง่ฝๆๅใ
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ๅ ๅปๆๆฏ็ๆชๆฅ่ถๅฟใHigh-NA EUV๏ผๆด้ซ็ๆฐๅผๅญๅพ๏ผ0.55NA๏ผ๏ผๆด้ซๅ่พจ็๏ผๆฏๆ2nmๅๆดๅ ่ฟๅทฅ่บ๏ผ๏ผASML็EXE็ณปๅๅ ๅปๆบใๆฐๅ ๅปๆๆฏ็ๆข็ดข๏ผ็ตๅญๆๅ ๅป๏ผ็ดๆฅๅๅ ฅ๏ผ๏ผ็บณ็ฑณๅๅฐๅ ๅป๏ผNIL๏ผ๏ผXๅฐ็บฟๅ ๅปใๅ ๅปๆๆฏ็ๆ็ปญๅๆฐ๏ผๆฐๆๆๅๆฐๆๆฏๅจๅ ๅปไธญ็ๅบ็จ๏ผๅ ๅปๆๆฌ็้ไฝๅๆ็ๆๅ๏ผๅ ๅปๅจๅ ่ฟๅฐ่ฃ ไธญ็ๅบ็จใๅ ๅปๆๆฏๆฏ"่ฏ็ๅถ้ ็็ฒพๅฏๅทฅ็จ"โโๅ ๅปๆๆฏ็ๆฏไธๆฌก็ช็ ด้ฝๆจๅจ่ฏ็ๅทฅ่บ็่ฟๆญฅ๏ผๆฏๅฎ็ฐๆดๅฐใๆดๅฟซใๆดไฝๅ่่ฏ็็ๅ ณ้ฎใ
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