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蜘蛛池面

1. ็—˜็—˜่‚Œ็š„ๆˆๅ› ๅ’ŒๆŠค่‚คๅŸบๆœฌๅŽŸๅˆ™

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2. ่ฏฏๅŒบไธ€๏ผš้ข‘็นๆด—่„ธๅ’Œ่ฟ‡ๅบฆๆธ…ๆด

ๅพˆๅคšไบบ่ฎคไธบ้•ฟ็—˜ๆ˜ฏๅ› ไธบ่„ธๆฒกๆด—ๅนฒๅ‡€๏ผŒไบŽๆ˜ฏๆ‹ผๅ‘ฝๆด—่„ธใ€ไฝฟ็”จๅผบๅŠ›ๆด้ขไบงๅ“ใ€้ข‘็นๅŽป่ง’่ดจใ€‚่ฟ™ๅ…ถๅฎžๆ˜ฏๆœ€ๅคง็š„่ฏฏๅŒบ๏ผ่ฟ‡ๅบฆๆธ…ๆดไผš็ ดๅ็šฎ่‚ค็š„ๅคฉ็„ถๅฑ้šœ๏ผˆ็šฎ่„‚่†œๅ’Œ่ง’่ดจๅฑ‚๏ผ‰๏ผŒๅฏผ่‡ด็šฎ่‚คๅนฒ็‡ฅๆ•ๆ„Ÿ๏ผŒๅ่€Œๅˆบๆฟ€็šฎ่„‚่…บไปฃๅฟๆ€งๅˆ†ๆณŒๆ›ดๅคšๆฒน่„‚๏ผŒๅฝขๆˆโ€œ่ถŠๆด—่ถŠๆฒนใ€่ถŠๆด—่ถŠ็—˜โ€็š„ๆถๆ€งๅพช็Žฏใ€‚ๆญฃ็กฎ็š„ๅšๆณ•ๆ˜ฏๆฏๅคฉๆด—่„ธ2ๆฌก๏ผˆๆ—ฉๆ™šๅ„ไธ€ๆฌก๏ผ‰๏ผŒไฝฟ็”จๆธฉๅ’Œ็š„ๆฐจๅŸบ้…ธๆด้ขไบงๅ“๏ผŒๆฐดๆธฉๆŽงๅˆถๅœจ32-35โ„ƒ๏ผˆๆธฉๆฐด๏ผ‰๏ผŒๆด—่„ธๆ—ถ้—ดไธ่ถ…่ฟ‡60็ง’ใ€‚ๅŽป่ง’่ดจๆฏๅ‘จ1-2ๆฌกๅณๅฏ๏ผŒ้€‰ๆ‹ฉๅŒ–ๅญฆๅŽป่ง’่ดจ๏ผˆๆฐดๆจ้…ธใ€ๆžœ้…ธ๏ผ‰่€Œ้ž็‰ฉ็†็ฃจ็ ‚ใ€‚ไฟๆŠค็šฎ่‚คๅฑ้šœๆ˜ฏ็ฅ›็—˜็š„็ฌฌไธ€ๆญฅใ€‚

3. ่ฏฏๅŒบไบŒ๏ผšๆŒค็—˜็—˜ๆ˜ฏๆœ€ๅฟซๆถˆ้™ค็š„ๆ–นๆณ•

็œ‹ๅˆฐ็—˜็—˜ๅฟไธไฝ็”จๆ‰‹ๅŽปๆŒคๆ˜ฏๅ‡ ไนŽๆ‰€ๆœ‰็—˜็—˜ๆ‚ฃ่€…็š„้€š็—…ใ€‚ๆŒค็—˜็œ‹ไผผ่ฎฉ็—˜็—˜ๆš‚ๆ—ถๆถˆๅคฑไบ†๏ผŒๅฎž้™…ไธŠไผš้€ ๆˆไธฅ้‡ๅŽๆžœ๏ผšๆ‰‹ไธŠ็ป†่Œๅผ•ๅ‘ไบŒๆฌกๆ„ŸๆŸ“ใ€็‚Ž็—‡ๅŠ ๅ‰งๅ’Œๆ‰ฉๆ•ฃใ€ๆฏ›ๅ›Šๅฃ็ ด่ฃ‚ๅฏผ่‡ด็œŸ็šฎๆŸไผคใ€ๆ„ˆๅˆๅŽ็•™ไธ‹ๆฐธไน…ๆ€ง็—˜ๅ‘ๅ’Œ่‰ฒ็ด ๆฒ‰็€ใ€‚ๅฐคๅ…ถๆ˜ฏ้ข้ƒจๅฑ้™ฉไธ‰่ง’ๅŒบ๏ผˆ้ผปๆ นๅˆฐๅ˜ด่ง’็š„ไธ‰่ง’ๅŒบๅŸŸ๏ผ‰๏ผŒ่ก€็ฎกไธŽ้ข…ๅ†…ๆตท็ปต็ชฆ็›ธ้€š๏ผŒๆŒคๅŽ‹ๅฏ่ƒฝๅฏผ่‡ด้ข…ๅ†…ๆ„ŸๆŸ“๏ผŒๅฑๅŠ็”Ÿๅ‘ฝใ€‚ๆญฃ็กฎ็š„ๅค„็†ๆ–นๅผๆ˜ฏ๏ผšไฝฟ็”จๅซๆฐดๆจ้…ธใ€่ฟ‡ๆฐงๅŒ–่‹ฏ็”ฒ้…ฐๆˆ–่Œถๆ ‘็ฒพๆฒน็š„็ฅ›็—˜ไบงๅ“็‚นๆถ‚๏ผŒๅŠ ้€Ÿ็—˜็—˜ๆˆ็†Ÿๅ’Œๆถˆ้€€ใ€‚ๅฏนไบŽๅคงๅž‹็ป“่Š‚ๆ€ง็—˜็—˜๏ผŒ่ฏทๅˆฐ็šฎ่‚ค็ง‘็”ฑไธ“ไธšๅŒป็”Ÿๅค„็†ใ€‚

4. ่ฏฏๅŒบไธ‰๏ผš้•ฟ็—˜ๆœŸ้—ดไธ็”จไปปไฝ•ๆŠค่‚คๅ“

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5. ่ฏฏๅŒบๅ››๏ผš็ฅ›็—˜ๅช้ ๆŠค่‚คๅ“ๅฐฑๅคŸไบ†

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6. ่ฏฏๅŒบไบ”๏ผšๆŠค่‚คๅ“ๆต“ๅบฆ่ถŠ้ซ˜ใ€ๆ•ˆๆžœ่ถŠๅฅฝ

ๅœจ็ฅ›็—˜ๆˆๅˆ†็š„้€‰ๆ‹ฉไธŠ๏ผŒๅพˆๅคšไบบ่ฏฏไปฅไธบๆต“ๅบฆ่ถŠ้ซ˜ใ€ๆ•ˆๆžœ่ถŠๅผบใ€่งๆ•ˆ่ถŠๅฟซใ€‚็›ฒ็›ฎ่ฟฝๆฑ‚้ซ˜ๆต“ๅบฆๆฐดๆจ้…ธใ€ๆžœ้…ธใ€A้†‡ใ€่ฟ‡ๆฐงๅŒ–่‹ฏ็”ฒ้…ฐไผšๅฏผ่‡ด็šฎ่‚คๅˆบๆฟ€ใ€่„ฑ็šฎใ€็บข่‚ฟใ€ๅฑ้šœๆŸไผค๏ผŒๅ่€Œๅปถ็ผ“็—ค็–ฎไฟฎๅคใ€‚ๆญฃ็กฎ็ญ–็•ฅๆ˜ฏโ€œไฝŽๆต“ๅบฆ่ตทๆญฅใ€ๅพชๅบๆธ่ฟ›โ€๏ผšไปŽๆœ€ไฝŽๆœ‰ๆ•ˆๆต“ๅบฆๅผ€ๅง‹๏ผˆๅฆ‚ๆฐดๆจ้…ธ0.5%ใ€A้†‡0.1%๏ผ‰๏ผŒ่ง‚ๅฏŸ็šฎ่‚ค่€ๅ—ๆƒ…ๅ†ต๏ผŒๆฏๅ‘จไฝฟ็”จ2-3ๆฌก๏ผŒ้€ๆธๅขžๅŠ ๅˆฐๆฏๅคฉไฝฟ็”จใ€‚ๅฆ‚ๆžœๅ‡บ็Žฐไธฅ้‡ๅˆบๆฟ€ๅๅบ”๏ผŒ็ซ‹ๅณๅœๆญขๅนถไฟฎๅคๅฑ้šœใ€‚ๅคๅˆ้…ๆ–น๏ผˆๅฆ‚ๅฃฌไบŒ้…ธ+ๆฐดๆจ้…ธใ€็ƒŸ้…ฐ่ƒบ+A้†‡๏ผ‰ๅๅŒไฝœ็”จๆฏ”ๅ•ๆ–น้ซ˜ๆต“ๅบฆๆ›ดๅฎ‰ๅ…จๆœ‰ๆ•ˆใ€‚ๆธฉๅ’Œ็จณๅฅๆฏ”ๆฟ€่ฟ›ๅ†’้™ฉๆ›ด้€‚ๅˆ็—˜็—˜่‚Œ้•ฟๆœŸ็ฎก็†ใ€‚

7. ่ฏฏๅŒบๅ…ญ๏ผš็—˜็—˜ๅฅฝไบ†ๅฐฑ็ซ‹ๅณๅœ็”จๆ‰€ๆœ‰ไบงๅ“

ๅพˆๅคšไบบๅœจ็—˜็—˜ๆถˆ้€€ๅŽ็ซ‹ๅณๅœ็”จ็ฅ›็—˜ไบงๅ“๏ผŒ็ป“ๆžœไธไน…ๅŽ็—˜็—˜ๅคๅ‘ใ€‚็—˜็—˜็š„ไฟฎๅค้œ€่ฆ้•ฟๆœŸ็ปดๆŒๆฒป็–—ใ€‚ๅณไพฟ่‚‰็œผๅฏ่ง็š„็—˜็—˜ๆถˆ้€€ไบ†๏ผŒๆฏ›ๅ›Šๆทฑๅค„็š„็‚Ž็—‡ๅ’Œๅพฎ่ง‚็—…ๅ˜ไปๅœจ๏ผŒ้œ€่ฆๆŒ็ปญ็š„็ปดๆŠคใ€‚ๅปบ่ฎฎๅœจ็—˜็—˜ๆถˆ้€€ๅŽ็ปง็ปญไฝฟ็”จ็ปดๆŒๅ‰‚้‡2-3ไธชๆœˆ๏ผš้™ไฝŽ็ฅ›็—˜ๆดปๆ€งๆˆๅˆ†ไฝฟ็”จ้ข‘็އ๏ผˆๅฆ‚ไปŽๆฏๅคฉๆ”นไธบ้š”ๅคฉๆˆ–ๆฏๅ‘จ2ๆฌก๏ผ‰๏ผŒ็ฎ€ๅŒ–ๆŠค่‚คๆญฅ้ชค๏ผŒไฝ†ๅšๆŒไฝฟ็”จใ€‚็ปดๆŒๆœŸๅฏไปฅไพง้‡ไฝฟ็”จๅซ็ƒŸ้…ฐ่ƒบใ€ๅฃฌไบŒ้…ธ็ญ‰ๆธฉๅ’ŒๆŽงๆฒนๆˆๅˆ†็š„ไบงๅ“ใ€‚ๅŒๆ—ถไฟๆŒๅฅๅบท็š„็”Ÿๆดปไน ๆƒฏ๏ผŒ้ฟๅ…่ฏฑๅ› ๅคๅ‘ใ€‚็—˜็—˜็ฎก็†ๆ˜ฏไธ€ๅœบๆŒไน…ๆˆ˜๏ผŒๅšๆŒ็ปดๆŠคๆ‰่ƒฝไฟๆŒ่ƒœๅˆฉๆˆๆžœใ€‚

8. ็ง‘ๅญฆ็ฅ›็—˜็š„ๆญฃ็กฎๆญฅ้ชคๅ’Œๅฟƒๆ€

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芯片制造中的缺陷检测与良率提升技术

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