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ๅ“็‰Œไปทๅ€ผ็š„ๅฎšไน‰ๆ˜ฏไปทๅ€ผไผ ้€’็š„่ตท็‚น,ๆ˜Ž็กฎๅ“็‰Œ็š„ๆ ธๅฟƒไปทๅ€ผ,ไฝฟๅ‘ฝ,ๆ„ฟๆ™ฏๅ’Œไฟกๅฟต.ๅ“็‰Œไปทๅ€ผ็š„ๅฎšไน‰ๅบ”่ฏฅๅŸบไบŽๅ“็‰Œ็š„่ตทๆบ,ๆ–‡ๅŒ–,็›ฎๆ ‡ๅ’Œ็”จๆˆทๆดžๅฏŸ,ๅ…ทๆœ‰็œŸๅฎžๆ€งๅ’Œ็‹ฌ็‰นๆ€ง.ๅ“็‰Œไปทๅ€ผ็š„่กจ่พพๅบ”่ฏฅๆธ…ๆ™ฐ,็ฎ€ๆด,ๆœ‰ๆ„ŸๆŸ“ๅŠ›,ไธŽ็›ฎๆ ‡ๅ—ไผ—็š„ๆƒ…ๆ„Ÿๅ’Œไปทๅ€ผ่ง‚ๅ…ฑ้ธฃ.ๅ“็‰Œไปทๅ€ผ็š„ๅฎšไน‰ๆ˜ฏๅ“็‰Œๆˆ˜็•ฅ็š„ๅŸบ็ก€,ๆŒ‡ๅฏผๅ“็‰Œ็š„ๆ‰€ๆœ‰ๆดปๅŠจๅ’Œๅ†ณ็ญ–.

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芯片制造中的外延生长与薄膜沉积技术

1. ่Šฏ็‰‡ๅˆถ้€ ๅทฅ่‰บ็š„ๆผ”่ฟ›ๅކ็จ‹

่Šฏ็‰‡ๅˆถ้€ ๅทฅ่‰บไปŽๅพฎ็ฑณๆ—ถไปฃๅˆฐ็บณ็ฑณๆ—ถไปฃ็š„ๆผ”่ฟ›ๆ˜ฏ็Žฐไปฃ็ง‘ๆŠ€ๅ‘ๅฑ•็š„็ผฉๅฝฑ๏ผŒๆฏไธ€ๆฌกๅทฅ่‰บ็ช็ ด้ƒฝๅธฆๆฅไบ†ๆ€ง่ƒฝ็š„ๅคงๅน…ๆๅ‡ๅ’Œๆˆๆœฌ็š„ๅคงๅน…ไธ‹้™ใ€‚ๅพฎ็ฑณๆ—ถไปฃ๏ผˆ1970-2000ๅนดไปฃ๏ผ‰๏ผšๅทฅ่‰บๅฐบๅฏธไปŽ10ๅพฎ็ฑณๆผ”่ฟ›ๅˆฐ0.18ๅพฎ็ฑณ๏ผ›ๅ…‰ๅˆปๆŠ€ๆœฏไปŽๅฏ่งๅ…‰ๅˆฐ็ดซๅค–ๅ…‰๏ผ›่Šฏ็‰‡้›†ๆˆ็š„ๆ™ถไฝ“็ฎกๆ•ฐ้‡ไปŽๆ•ฐๅƒๅˆฐๆ•ฐ็™พไธ‡ใ€‚็บณ็ฑณๆ—ถไปฃ็š„ๅผ€ๅฏ๏ผˆ2000-2010ๅนดไปฃ๏ผ‰๏ผšๅทฅ่‰บๅฐบๅฏธ่ฟ›ๅ…ฅ็บณ็ฑณ็บงๅˆซ๏ผˆ130nmใ€90nmใ€65nmใ€45nm๏ผ‰๏ผ›้“œไบ’่ฟžๆŠ€ๆœฏๆ›ฟไปฃ้“ไบ’่ฟž๏ผ›ๅบ”ๅ˜็ก…ๆŠ€ๆœฏๆๅ‡่ฝฝๆตๅญ่ฟ็งป็އใ€‚FinFETๆ—ถไปฃ็š„ๅˆฐๆฅ๏ผˆ2011ๅนด่‡ณไปŠ๏ผ‰๏ผšIntel็š„22nm FinFETๆŠ€ๆœฏๅผ€ๅฏ3Dๆ™ถไฝ“็ฎกๆ—ถไปฃ๏ผ›FinFET่งฃๅ†ณไบ†ๅนณ้ขๆ™ถไฝ“็ฎกๅœจ22nmไปฅไธ‹็š„ๆ€ง่ƒฝ้—ฎ้ข˜๏ผ›ๅฐ็งฏ็”ตๅ’Œไธ‰ๆ˜Ÿ็š„FinFETๆŠ€ๆœฏๆŒ็ปญๆผ”่ฟ›ใ€‚ๅˆถ้€ ๅทฅ่‰บ็š„ๆฏไธ€ๆฌก็ช็ ด้ƒฝ้ตๅพช็€"ๆ‘ฉๅฐ”ๅฎšๅพ‹"็š„่Š‚ๅฅ๏ผŒ่™ฝ็„ถๆ‘ฉๅฐ”ๅฎšๅพ‹็š„่Š‚ๅฅๅœจๆ”พ็ผ“๏ผŒไฝ†ๅทฅ่‰บๅˆ›ๆ–ฐ็š„ๆญฅไผไปŽๆœชๅœๆญขใ€‚

2. ๅฝ“ๅ‰ๆœ€ๅ…ˆ่ฟ›่Šฏ็‰‡ๅˆถ้€ ๅทฅ่‰บ

ๅฝ“ๅ‰ๆœ€ๅ…ˆ่ฟ›็š„่Šฏ็‰‡ๅˆถ้€ ๅทฅ่‰บๅทฒ็ป่ฟ›ๅ…ฅ3nmๅ’Œ2nmๆ—ถไปฃ๏ผŒๅฐ็งฏ็”ตใ€ไธ‰ๆ˜Ÿๅ’ŒIntelๆ˜ฏไธป่ฆ็š„ๆŠ€ๆœฏ้ข†ๅฏผ่€…ใ€‚ๅฐ็งฏ็”ต็š„3nmๅทฅ่‰บ๏ผšN3ๅทฅ่‰บๅทฒ็ป้‡ไบง๏ผŒ็›ธๆฏ”5nmๆ€ง่ƒฝๆๅ‡10-15%๏ผŒๅŠŸ่€—้™ไฝŽ25-30%๏ผ›N3Eๅขžๅผบ็‰ˆๆๅ‡ๆ€ง่ƒฝๅ’Œ็”Ÿไบงๆ•ˆ็އ๏ผ›N3P่ฟ›ไธ€ๆญฅๆๅ‡ๆ€ง่ƒฝใ€‚ไธ‰ๆ˜Ÿ็š„3nmๅทฅ่‰บ๏ผš้‡‡็”จGAA๏ผˆGate-All-Around๏ผ‰ๆ™ถไฝ“็ฎก็ป“ๆž„๏ผˆไธ‰ๆ˜Ÿ็งฐไธบMBCFET๏ผ‰๏ผ›็›ธๆฏ”FinFETๆœ‰ๆ›ดๅฅฝ็š„ๆ€ง่ƒฝๅ’Œ่ƒฝๆ•ˆ๏ผ›3nm GAAP๏ผˆ็ฌฌไธ€ไปฃ๏ผ‰ๅทฒ้‡ไบง๏ผŒ3nm GAAP2๏ผˆ็ฌฌไบŒไปฃ๏ผ‰ๅœจๅผ€ๅ‘ไธญใ€‚Intel็š„ๅทฅ่‰บ่ทฏ็บฟๅ›พ๏ผšIntel 7๏ผˆๅŽŸ10nm Enhanced SuperFin๏ผ‰ๅทฒ้‡ไบง๏ผ›Intel 4๏ผˆๅŽŸ7nm๏ผ‰้‡‡็”จEUVๅ…‰ๅˆป๏ผ›Intel 3๏ผˆๅŽŸ5nm๏ผ‰ๅ’ŒIntel 20A๏ผˆ2nm๏ผ‰ๅœจๅผ€ๅ‘ไธญ๏ผ›Intel็š„"ๅ››ๅนดไบ”ไธช่Š‚็‚น"่ฎกๅˆ’๏ผˆ2021-2025ๅนดๆŽจ่ฟ›ไบ”ไธชๅทฅ่‰บ่Š‚็‚น๏ผ‰ใ€‚ๅ…ˆ่ฟ›ๅทฅ่‰บ็š„ๆŒ‘ๆˆ˜๏ผšEUVๅ…‰ๅˆป็š„ไบง่ƒฝๅ’Œๆˆๆœฌ๏ผ›ๆ™ถไฝ“็ฎกๅฏ†ๅบฆ็š„็‰ฉ็†ๆž้™๏ผ›ๅŠŸ่€—ๅฏ†ๅบฆ็š„้—ฎ้ข˜๏ผ›่ฎพ่ฎกๅ’Œๅˆถ้€ ็š„ๅคๆ‚ๅบฆใ€‚

3. ่Šฏ็‰‡ๅˆถ้€ ๅทฅ่‰บ็š„ๆœชๆฅ่ถ‹ๅŠฟ

่Šฏ็‰‡ๅˆถ้€ ๅทฅ่‰บ็š„ๆœชๆฅ่ถ‹ๅŠฟๅฐ†ๅ›ด็ป•ๆ–ฐๆๆ–™ใ€ๆ–ฐ็ป“ๆž„ๅ’Œๆ–ฐ่Œƒๅผๅฑ•ๅผ€ใ€‚ๆ–ฐๆๆ–™็š„ๅบ”็”จ๏ผš2Dๆๆ–™๏ผˆ็Ÿณๅขจ็ƒฏใ€ไบŒ็กซๅŒ–้’ผ๏ผ‰ไฝœไธบๆฒŸ้“ๆๆ–™็š„ๆŽข็ดข๏ผ›High-NA EUVๅ…‰ๅˆป๏ผˆ0.55 NA๏ผ‰็š„ๅผ•ๅ…ฅ๏ผ›่ƒŒ้ขไพ›็”ต็ฝ‘็ปœ๏ผˆBSPDN๏ผ‰ๅ‡ๅฐ‘ไฟกๅทๅนฒๆ‰ฐใ€‚ๆ–ฐ็ป“ๆž„็š„ๅ‘ๅฑ•๏ผšCFET๏ผˆไบ’่กฅๅœบๆ•ˆๅบ”ๆ™ถไฝ“็ฎก๏ผ‰ๅฐ†NMOSๅ’ŒPMOSๅ †ๅ ๅœจไธ€่ตท๏ผ›3D้›†ๆˆๅ’ŒChiplet๏ผˆ่Šฏ็‰‡ๅ †ๅ ๅ’Œๅผ‚ๆž„้›†ๆˆ๏ผ‰๏ผ›ๅญ˜ๅ†…่ฎก็ฎ—๏ผˆๅญ˜ๅ‚จๅ’Œ่ฎก็ฎ—็š„่žๅˆ๏ผ‰ใ€‚ๆ–ฐ่Œƒๅผ็š„ๆŽข็ดข๏ผš้‡ๅญ่ฎก็ฎ—่Šฏ็‰‡็š„ๅˆถ้€ ๏ผ›ๅ…‰ๅญ่Šฏ็‰‡๏ผˆๅ…‰่ฎก็ฎ—๏ผ‰็š„ๅˆถ้€ ๏ผ›็”Ÿ็‰ฉ่Šฏ็‰‡ๅ’ŒDNAๅญ˜ๅ‚จใ€‚ๅˆถ้€ ๅทฅ่‰บ็š„ๆœชๆฅไธไป…ๆ˜ฏ"ๆ›ดๅฐ"๏ผŒๆ›ดๆ˜ฏ"ๆ›ดๆ™บ่ƒฝ"ๅ’Œ"ๆ›ด้ซ˜ๆ•ˆ"โ€”โ€”ๅœจๆ‘ฉๅฐ”ๅฎšๅพ‹ๆ”พ็ผ“็š„ๆ—ถไปฃ๏ผŒๅทฅ่‰บๅˆ›ๆ–ฐๅฐ†ๆ›ดๅคšไพ่ต–ๆ–ฐ็ป“ๆž„ใ€ๆ–ฐๆๆ–™ๅ’Œๆ–ฐ้›†ๆˆๆ–นๅผ๏ผŒ็ปง็ปญๆŽจๅŠจ่ฎก็ฎ—่ƒฝๅŠ›็š„ๆๅ‡ใ€‚

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ใ€–Oneใ€—ใ€ๅฎž้ชŒๅฎค็ญ่ŒๆŽงๅˆถๆ ธๅฟƒ๏ผšๅœจไบŽ็ญ่Œๅทฅ่‰บไธญๅŽ‹ๅŠ›-ๆธฉๅบฆๅŠจๆ€่€ฆๅˆ๏ผˆP-T Coupled๏ผ‰็š„็ƒญ็ฉฟ้€ๅŠจๅŠ›ๅญฆๆŽงๅˆถใ€‚
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ใ€–Threeใ€—ใ€ๆ”ฏๆ’‘๏ผšๅ‘ๅธƒๅฎž้ชŒ็ญ่ŒๅŠจๅŠ›ๅญฆไธŽๅทฅ่‰บ้ชŒ่ฏๆŠ€ๆœฏๆ‰‹ๅ†Œ๏ผŒๅปบ็ซ‹ๅฎž้ชŒๅฎค็”Ÿ็‰ฉๅฎ‰ๅ…จ้ข†ๅŸŸ็š„ไธ“ไธšๆƒๅจใ€‚
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ใ€–Oneใ€—ใ€ๅฎž้ชŒๅฎค็ฆปๅฟƒๆœบ้€‰ๅž‹SEOๆ ธๅฟƒ๏ผšๅœจไบŽโ€œ็ฆปๅฟƒๅŠ›ไธŽๆ ทๆœฌ็จณๅฎšๆ€งไน‹้—ด็š„็ง‘ๅญฆๅ‚ๆ•ฐๅŒน้…โ€ใ€‚
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ๅทฅไธš่‡ชๅŠจ็งฐ้‡็ณป็ปŸ๏ผšๅŠจๆ€็ฒพๅบฆไธŽๆŠ—ๅนฒๆ‰ฐSEO

ใ€–Oneใ€—ใ€ๅปบ็ญ‘ๆ™บ่ƒฝ็…งๆ˜ŽๆŽงๅˆถSEOๆ ธๅฟƒ๏ผšๅœจไบŽโ€œ็…งๅบฆไผ ๆ„Ÿๅ™จ็š„ๅ้ฆˆ้—ญ็ŽฏไธŽๅคšๅœบๆ™ฏ่”ๅŠจ่Š‚่ƒฝ็ฎ—ๆณ•โ€ใ€‚
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ใ€–Threeใ€—ใ€ๆ•ฐๆฎ่ฎบ่ฏ๏ผšๅˆ†ไบซโ€œๅŠžๅ…ฌ็ฉบ้—ด็…งๆ˜Žๆ™บ่ƒฝๆ”น้€ ๅ‰ๅŽ็”ต่€—ๅˆ†ๆžๆŠฅๅ‘Šโ€๏ผŒ้€š่ฟ‡้‡ๅŒ–ๆ•ฐๆฎ่ฏๆ˜Žๆ™บ่ƒฝๅ…‰ๆ„ŸๆŽงๅˆถๅฏๆฏ”ไผ ็ปŸๅผ€ๅ…ณ้™ไฝŽ40%ไปฅไธŠ็š„็…งๆ˜Ž่ƒฝ่€—ใ€‚
ใ€–Fourใ€—ใ€็ณป็ปŸ่ฎพ่ฎก๏ผšๆไพ›ๆฅผๅฎ‡็…งๆ˜Žๅœบๆ™ฏ้€ป่พ‘ๅฎšไน‰ๅ‚่€ƒ๏ผŒๆถต็›–ไบบไฝ“ๆ„Ÿๅบ”ใ€ๅˆ†ๆ—ถ่ฐƒๅ…‰็ญ‰ๆจกๅ—๏ผŒ่พ…ๅŠฉๅœฐไบงๆ–น่ฟ›่กŒ่Š‚่ƒฝ้™ๆœฌๅ†ณ็ญ–ใ€‚
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