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[ๆฐๅญๅๆ็ฅ่งๅ: ่ฝฌๅ็้กถๅฑ่ฎพ่ฎก]
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ๅๅฏผไฝ่ฏ็ๆฏๆๆ็ตๅญ่ฎพๅค็ๆ ธๅฟ๏ผไปๆบ่ฝๆๆบๅฐๆๅกๅจใไปๆฑฝ่ฝฆๅฐ่ชๅคฉๅจใ่ฏ็ๅถ้ ่ขซ่ฎคไธบๆฏไบบ็ฑปๆๅคๆ็ๅถ้ ๅทฅ่บไนไธ๏ผๆถๅๆฐ็พไธช็ฒพๅฏๆญฅ้ชคใๅ จ็ๅๅฏผไฝไบงไธๅนดไบงๅผ่ถ ่ฟ6000ไบฟ็พๅ ๏ผๆฏๆ็ไปทๅผๆฐไธไบฟ็พๅ ็็ตๅญไฟกๆฏไบงไธใ็่งฃ่ฏ็ๅถ้ ๆต็จ๏ผๅฐฑ่ฝ็่งฃ็ฐไปฃ็งๆ็ๅบ็กใ
2. ็ก ๆถๅ็ๅถๅค๏ผไธๅไปๆฒๅญๅผๅง
่ฏ็็ๅๆๆๆฏ็ก ๏ผไปๆฎ้็ณ่ฑ็ ๏ผไบๆฐงๅ็ก ๏ผไธญๆๅใ้่ฟๅๅญฆ่ฟๅๅๆ็บฏ๏ผ่ทๅพ็บฏๅบฆ่พพ99.999999999%๏ผ11ไธช9๏ผ็้ซ็บฏๅบฆๅคๆถ็ก ใ้็จๆดๅฏๆๆฏๅบๆณๅฐๅคๆถ็ก ็่ๅ็ผๆ ขๆๅบ๏ผๅฝขๆๅๆถ็ก ้ญใๅฐ็ก ้ญๅๅฒๆ่็ๅนถๆๅ ๏ผๅพๅฐ็ดๅพ200mmๆ300mm็็ก ๆถๅใๆฏ็ๆถๅไปทๅผๆฐ็พ็พๅ ๏ผๆฏๆดไธช่ฏ็ๅถ้ ็ๅบ็กใ
3. ๅ ๅปๆๆฏ๏ผๅจๆถๅไธ"ๅฐๅท"็ต่ทฏ
ๅ ๅปๆฏ่ฏ็ๅถ้ ๆๆ ธๅฟ็ๆญฅ้ชค๏ผ็ธๅฝไบๅจๆถๅไธ"ๅฐๅท"็บณ็ฑณ็บง็็ต่ทฏๅพๆกใๅ ๅป่ถๅๅๆถๅธๅจๆถๅ่กจ้ข๏ผ้่ฟๆฉ่็๏ผ่ฎพ่ฎกๅฅฝ็็ต่ทฏๅพๆก๏ผ็จ็ดซๅค็บฟๆๆ็ดซๅคๅ ๏ผEUV๏ผๆๅ ใๆๅ ๅบๅ็ๅ ๅป่ถๅ็ๅๅญฆๅๅ๏ผๆพๅฝฑๅๅฝขๆ็ต่ทฏๅพๆกใEUVๅ ๅปไฝฟ็จ13.5nmๆณข้ฟ็ๅ ๆบ๏ผๆฏ็ฎๅๆๅ ่ฟ็ๆๆฏ๏ผๅๅฐEUVๅ ๅปๆบไปทๅผ่ถ ่ฟ1.5ไบฟ็พๅ ใ
4. ่ๅปๅๆฒ็งฏ๏ผๆๅปบๆถไฝ็ฎก็ปๆ
่ๅปๆญฅ้ชคๅฐๅ ๅปๅพๆก่ฝฌ็งปๅฐๆถๅ่กจ้ขใๅฉ็จ็ญ็ฆปๅญไฝๆๅๅญฆๆบถๆถฒๅป้คๆช่ขซไฟๆค็ๆๆ๏ผๅฝขๆๆฒๆงฝๅๅญๆดใๆฒ็งฏๆญฅ้ชค้่ฟๅๅญฆๆฐ็ธๆฒ็งฏ๏ผCVD๏ผๆ็ฉ็ๆฐ็ธๆฒ็งฏ๏ผPVD๏ผๅจๆถๅ่กจ้ข็้ฟ่่ๅฑ๏ผๅ ๆฌ็ป็ผๅฑใๅฏผ็ตๅฑๅๅๅฏผไฝๅฑใ่ๅปๅๆฒ็งฏไบคๆฟ่ฟ่กๆฐๅๆฌก๏ผ้ๅฑๆๅปบๆถไฝ็ฎก็็ซไฝ็ปๆใ
5. ๆบๆๅ้็ซ๏ผ่ตไบ็ก ๅฏผ็ต็นๆง
็บฏ็ก ๆฏ็ป็ผไฝ๏ผ้่ฟๆบๆ๏ผ็ฆปๅญๆณจๅ ฅ๏ผๅผๅ ฅ็นๅฎๆ่ดจๆนๅๅฏผ็ต็นๆงใๆณจๅ ฅ็กผ๏ผPๅๆบๆ๏ผๆ็ฃท๏ผNๅๆบๆ๏ผๅฝขๆPN็ป๏ผ่ฟๆฏๆถไฝ็ฎกๅทฅไฝ็ๅบ็กใ้็ซๅทฅ่บๅ ็ญๆถๅไฟฎๅค็ฆปๅญๆณจๅ ฅ้ ๆ็ๆถๆ ผๆไผค๏ผๆฟๆดปๆบๆๅๅญใๆบๆ็ฒพๅบฆๆงๅถๅจๅๅญ็บงๅซ๏ผๅณๅฎไบๆถไฝ็ฎก็็ตๆง่ฝใ
6. ไบ่ฟๅ้ๅฑๅ๏ผ่ฟๆฅๆฐไบฟๆถไฝ็ฎก
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7. ๆต่ฏๅๅฐ่ฃ ๏ผ่ฏ็็ๆ็ปๆๅ
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