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1. ๅ ๅฎนๅๅๆฏๅไฝ่ ๅ ๅฎนไปทๅผ็ๆพๅคงๅจ
ๅ ๅฎนๅๅๆฏ็คพไบคๅชไฝๅ ๅฎนๅไฝ่ ๅ ๅฎนไปทๅผ็ๆพๅคงๅจ๏ผ้่ฟๆๆ็ๅๅๅๆจๅนฟ๏ผ่ฎฉๅ ๅฎนๅฐ่พพๆดๅนฟๆณ็็จๆท็พคไฝใๅ ๅฎนๅๅ็ไปทๅผ๏ผ็จๆท่ฆ็๏ผๅ ๅฎน่งฆ่พพๆดๅค็จๆท๏ผ๏ผๅ็ๆๅ ๏ผๆจๅนฟๆๅๅ็็ฅๅๅบฆ๏ผ๏ผๆต้ๅข้ฟ๏ผๅๅ้ฉฑๅจๆต้ๅข้ฟ๏ผใๅ ๅฎนๅๅ็ๆๆ๏ผๅนณๅฐๅคๆ ทๆง๏ผไธๅๅนณๅฐ็ๅทฎๅผ๏ผ๏ผ็จๆทๆณจๆๅๆ้๏ผไฟกๆฏ่ฟ่ฝฝ็็ซไบ๏ผ๏ผๅๅๆ็๏ผ่ตๆบไธๆๆ็ๆไผ้ ็ฝฎ๏ผใ
2. ๅ ๅฎนๅๅไธๆจๅนฟ็็ญ็ฅ
ๅ ๅฎนๅๅไธๆจๅนฟ็็ญ็ฅใๅๅๆธ ้็้ๆฉ๏ผๅนณๅฐ้้ ๏ผๅ ๅฎน้ๅๅชไบๅนณๅฐ๏ผ๏ผๆธ ้็ปๅ๏ผๅคๆธ ้็ๅๅๅๅ๏ผ๏ผๆธ ้ไผๅ ็บง๏ผ่ตๆบ็ไผๅ้ ็ฝฎ๏ผใๆจๅนฟ็ญ็ฅ๏ผๅ ๅฎนไผๅ็ๆจๅนฟ๏ผๆๅๅ ๅฎน็ๅไบซๆง๏ผ๏ผไป่ดนๆจๅนฟ๏ผๅนฟๅๅๆจๅนฟๅทฅๅ ท็ไฝฟ็จ๏ผ๏ผ็คพๅบๆจๅนฟ๏ผ็คพๅบๅ็พค็ป็ๆจๅนฟ๏ผใๅๅไผๅ๏ผๅบไบๆฐๆฎไผๅๅๅ็ญ็ฅ๏ผๆต่ฏไธๅๅๅๆนๅผ็ๆๆ๏ผ็จๆทๅ้ฆ้ฉฑๅจ็ๅๅไผๅใ
3. ๅๅๆๆ่ฏไผฐไธๆ็ปญไผๅ
ๅๅๆๆ่ฏไผฐไธๆ็ปญไผๅใ่ฏไผฐๆๆ ๏ผๅ ๅฎน็่ฆ็ๅๆๅ ๏ผๅฑ็คบ้ๅ่ง็้๏ผ๏ผ็จๆท่ทๅ๏ผๆฐ็จๆท่ทๅๅๅข้ฟ๏ผ๏ผๅ็ๅฝฑๅ๏ผๅ็่ฎค็ฅๅบฆๅๅฝฑๅๅ๏ผใไผๅๆนๆณ๏ผๅบไบๅๅๆฐๆฎไผๅ็ญ็ฅ๏ผๅผบๅ้ซๆๆๆธ ้็ๆๅ ฅ๏ผ่ฐๆดไฝๆๆๆธ ้็ๆนๅๅๆนๅผใๅ ๅฎนๅๅๆฏ"ๅไฝ่ ไปทๅผไผ ๆญ็ๅผๆ"โโ้่ฟ็ณป็ปๅ็ๅ ๅฎนๅๅๅๆจๅนฟ๏ผๅฎ็ฐๅ ๅฎนไปทๅผ็ๆๅคงๅไผ ๆญๅ็จๆท่ฆ็ใ
芯片制造中的化学机械抛光与平坦化技术
[ๆฐๅญๅ่ฝๆบไผๅ: ๆบ่ฝ่ฝ่็ฎก็ไธๅ็ขณ]
ๆฐๅญๅ่ฝๆบไผๅๅฉ็จๆฐๆฎๅๆๅๆบ่ฝๆงๅถๆๆฏไผๅ่ฝๆบ็ๆถ่,ๅ้ ๅ็ไบง,ๆ้ซ่ฝๆบๆ็ๅๅๅฐ็ขณๆๆพ.ๆฐๅญๅ่ฝๆบไผๅ็ๆ ธๅฟ็ฎๆ ๆฏ้ไฝ่ฝๆบๆๆฌ,ๅๅฐ็ขณๆๆพ,ๆ้ซ่ฝๆบๅฉ็จ็ๅไฟ้่ฝๆบไพๅบๅฎๅ จ.ๆฐๅญๅ่ฝๆบไผๅๆถต็่ฝๆบ็ๆต(ๅฎๆถ็ๆต่ฝๆบๆถ่),่ฝ่ๅๆ(ๅๆ่ฝ่ๆจกๅผๅๆ็),่่ฝไผๅ(ไผๅ่ฎพๅค่ฟ่กๅ่ฝๆบ่ฐๅบฆ)ๅ็ขณ็ฎก็(่ฟฝ่ธชๅ็ฎก็็ขณๆๆพ).
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