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芯片制造中的外延生长与薄膜沉积技术
1. ไบ่ฎก็ฎๆฐๆฎๅฎๅ จ็ๆๆ
ไบ่ฎก็ฎ็ๆ ธๅฟๅฎๅ จๆๆๆฏๆฐๆฎๆงๅถๆ็่ฝฌ็งปโโ็จๆทๆฐๆฎๅญๅจๅจไบๆๅกๅ็ๅบ็ก่ฎพๆฝไธญ๏ผ็จๆทๅคฑๅป็ฉ็ๆงๅถใไบๅฎๅ จๅจ่ๅ ๆฌ๏ผๆฐๆฎๆณ้ฒ๏ผ้ ็ฝฎ้่ฏฏๆ้ปๅฎขๆปๅป๏ผใ่ดฆๆทๅซๆ๏ผๅผฑๅฏ็ ๆ้้ฑผๆปๅป๏ผใๅ ้จๅจ่๏ผไบๆๅกๅๅๅทฅๆ้ๆปฅ็จ๏ผใๆฐๆฎไธขๅคฑ๏ผไบๆๅกๅๆ ้ๆๆๅคๅ ้ค๏ผใๅ่ง้ฃ้ฉ๏ผๆฐๆฎ่ทจๅขๆตๅจๆณ่ง๏ผใไบๅฎๅ จ็่ดฃไปปๆจกๅๆฏ"ๅ ฑไบซ่ดฃไปป"โโไบๆๅกๅไฟๆคๅบ็ก่ฎพๆฝ๏ผ็จๆทไฟๆคๆฐๆฎๅ่ฎฟ้ฎๆงๅถใ็จๆท้่ฆ็่งฃ่ชๅทฑ็่ดฃไปป่พน็๏ผ้ฟๅ ๅฎๅ จ็ฒๅบใ
2. ไบๆฐๆฎๅ ๅฏไฟๆคๆๆฏ
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3. ไบๅฎๅ จๆไฝณๅฎ่ทต
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