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1. ๅๅฏผไฝ่ฏ็๏ผ็ฐไปฃ็งๆ็ๅบ็ณ
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2. ็ก ๆถๅ็ๅถๅค๏ผไธๅไปๆฒๅญๅผๅง
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ๅ ๅปๆฏ่ฏ็ๅถ้ ๆๆ ธๅฟ็ๆญฅ้ชค๏ผ็ธๅฝไบๅจๆถๅไธ"ๅฐๅท"็บณ็ฑณ็บง็็ต่ทฏๅพๆกใๅ ๅป่ถๅๅๆถๅธๅจๆถๅ่กจ้ข๏ผ้่ฟๆฉ่็๏ผ่ฎพ่ฎกๅฅฝ็็ต่ทฏๅพๆก๏ผ็จ็ดซๅค็บฟๆๆ็ดซๅคๅ ๏ผEUV๏ผๆๅ ใๆๅ ๅบๅ็ๅ ๅป่ถๅ็ๅๅญฆๅๅ๏ผๆพๅฝฑๅๅฝขๆ็ต่ทฏๅพๆกใEUVๅ ๅปไฝฟ็จ13.5nmๆณข้ฟ็ๅ ๆบ๏ผๆฏ็ฎๅๆๅ ่ฟ็ๆๆฏ๏ผๅๅฐEUVๅ ๅปๆบไปทๅผ่ถ ่ฟ1.5ไบฟ็พๅ ใ
4. ่ๅปๅๆฒ็งฏ๏ผๆๅปบๆถไฝ็ฎก็ปๆ
่ๅปๆญฅ้ชคๅฐๅ ๅปๅพๆก่ฝฌ็งปๅฐๆถๅ่กจ้ขใๅฉ็จ็ญ็ฆปๅญไฝๆๅๅญฆๆบถๆถฒๅป้คๆช่ขซไฟๆค็ๆๆ๏ผๅฝขๆๆฒๆงฝๅๅญๆดใๆฒ็งฏๆญฅ้ชค้่ฟๅๅญฆๆฐ็ธๆฒ็งฏ๏ผCVD๏ผๆ็ฉ็ๆฐ็ธๆฒ็งฏ๏ผPVD๏ผๅจๆถๅ่กจ้ข็้ฟ่่ๅฑ๏ผๅ ๆฌ็ป็ผๅฑใๅฏผ็ตๅฑๅๅๅฏผไฝๅฑใ่ๅปๅๆฒ็งฏไบคๆฟ่ฟ่กๆฐๅๆฌก๏ผ้ๅฑๆๅปบๆถไฝ็ฎก็็ซไฝ็ปๆใ
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็บฏ็ก ๆฏ็ป็ผไฝ๏ผ้่ฟๆบๆ๏ผ็ฆปๅญๆณจๅ ฅ๏ผๅผๅ ฅ็นๅฎๆ่ดจๆนๅๅฏผ็ต็นๆงใๆณจๅ ฅ็กผ๏ผPๅๆบๆ๏ผๆ็ฃท๏ผNๅๆบๆ๏ผๅฝขๆPN็ป๏ผ่ฟๆฏๆถไฝ็ฎกๅทฅไฝ็ๅบ็กใ้็ซๅทฅ่บๅ ็ญๆถๅไฟฎๅค็ฆปๅญๆณจๅ ฅ้ ๆ็ๆถๆ ผๆไผค๏ผๆฟๆดปๆบๆๅๅญใๆบๆ็ฒพๅบฆๆงๅถๅจๅๅญ็บงๅซ๏ผๅณๅฎไบๆถไฝ็ฎก็็ตๆง่ฝใ
6. ไบ่ฟๅ้ๅฑๅ๏ผ่ฟๆฅๆฐไบฟๆถไฝ็ฎก
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7. ๆต่ฏๅๅฐ่ฃ ๏ผ่ฏ็็ๆ็ปๆๅ
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AI็ๆๅฝฑ่งๅ ๅฎน็ๆณๅพไธไผฆ็้ฎ้ข
[ไบบๅทฅๆบ่ฝๅจๅไธๅทฅ็จไธญ็ๅบ็จ: ๅไธ็ไบง็ๆบ่ฝๅผๆ]
ไบบๅทฅๆบ่ฝๆญฃๅจๅไธๅทฅ็จ้ขๅๆไธบๅไธ็ไบง็ๆบ่ฝๅผๆ,้่ฟ็ฒพๅๅไธ,ๆบ่ฝ่ฃ ๅคๅ่ฎพๆฝๅไธ,ๆ้ซๅไธ็็ไบงๆ็,่ตๆบๅฉ็จๅๅฏๆ็ปญๅๅฑ.ๅไธๅทฅ็จๆถๅๅไธๆบๆขฐ,่ฎพๆฝ,็ๆบๅๅไบงๅๅ ๅทฅ,AIๅฏไปฅๆไพๆบ่ฝๅ็ๆงๅถๅๅณ็ญๆฏๆ,ๅบๅฏนๅไธ็่ตๆบ็บฆๆๅ็ฏๅขๆๆ.็ฒพๅๅไธAI้่ฟๅๆๅๅฃค,ไฝ็ฉ,ๆฐ่ฑกๅ้ฅๆๆฐๆฎ,ๆไพ็ฒพๅ็็งๆค,ๆฝ่ฅ,็ๆบๅๆคไฟๆนๆก,ๆ้ซๅไธ็ไบง้ๅ่ตๆบๅฉ็จๆ็.ๆบ่ฝ่ฃ ๅคAI้่ฟ่ชๅจๅฏผ่ช,ๆบ่ฝๆงๅถๅไฝไธไผๅ,ๅฎ็ฐๅไธๆบๆขฐ็่ชๅจๅๅๆบ่ฝๅ,ๆ้ซไฝไธๆ็ๅ่ดจ้,ๅๅฐไบบๅไพ่ต.
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