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่่ๆฑ ็จๅบๆฏไธไธชๅบไบIPไปฃ็็ๅทฅๅ ท๏ผๅฎๆจกๆไบไธๅ็่่็ฌ่ซๅฏน็ฝ็ซ็่ฎฟ้ฎใ่่็ฌ่ซๆฏๆ็ดขๅผๆไธญ็ๆ ธๅฟ็ปๆ้จๅ๏ผๅฎไปฌ้่ฟ่ฎฟ้ฎ็ฝ็ซ็ๆนๅผๆฅๆถ้็ฝ้กตๅ ๅฎน๏ผๅนถๅฐๅ ถๅๅ ฅๆ็ดขๅผๆ็็ดขๅผไธญใ็ถ่๏ผ็ฑไบ่่็ฌ่ซ็่ฎฟ้ฎ้ข็ๅฏ่ฝไผๅฏน็ฝ็ซ็ๆง่ฝไบง็่ด้ขๅฝฑๅ๏ผ็ซ้ฟ้่ฆไธ็งๅทฅๅ ทๆฅ้ๅถใ็ฎก็ๅๆงๅถ่ฟไบ่ฎฟ้ฎใ
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芯片制造中的晶圆缺陷检测与分类技术
[ๆฐๅญๅๅฎขๆทๆตๅคฑ็ฎก็: ๆตๅคฑ็้ข้ฒไธๆฝๅ]
ๆฐๅญๅๅฎขๆทๆตๅคฑ็ฎก็ๆฏ้่ฟๆฐๆฎๅๆๅๅฎขๆท็ญ็ฅ,้ข้ฒๅฎขๆทๆตๅคฑๅๆฝๅๆตๅคฑๅฎขๆท็็ฎก็ๅฎ่ทต.ๆฐๅญๅๅฎขๆทๆตๅคฑ็ฎก็็ๆ ธๅฟ่ฆ็ด ๅ ๆฌๆตๅคฑ้ข่ญฆ(่ฏๅซ้ซๆตๅคฑ้ฃ้ฉ็ๅฎขๆท),ๆตๅคฑๅๅ ๅๆ(ๅๆๅฎขๆทๆตๅคฑ็ๅๅ ),ๆตๅคฑ้ข้ฒ็ญ็ฅ(ๅถๅฎๅๅฎๆฝๆตๅคฑ้ข้ฒๆชๆฝ),ๆตๅคฑๆฝๅ็ญ็ฅ(ๅถๅฎๅๅฎๆฝๆตๅคฑๆฝๅๆชๆฝ),ๆตๅคฑๆๆ่ฏไผฐ(่ฏไผฐๆตๅคฑ็ฎก็็ๆๆ).
ๆตๅคฑ้ข่ญฆๆฏๅฎขๆทๆตๅคฑ็ฎก็็ๅ็ป็ฏ่,้่ฟๆฐๆฎๅๆ่ฏๅซ้ซๆตๅคฑ้ฃ้ฉ็ๅฎขๆท.ๆตๅคฑ้ข่ญฆ็ๆๆ ๅ ๆฌไฝฟ็จๆดป่ทๅบฆไธ้(ๅฎขๆท็ไฝฟ็จ้ข็ๅๆถ้ฟๆพ่ไธ้),ไบๅจๅๅฐ(ๅฎขๆท็ไบๅจๅๅไธๅๅฐ),ๅ้ฆ่ด้ข(ๅฎขๆท็ๆปกๆๅบฆไธ้ๆ่กจ่พพไธๆปก),่ดญไนฐ้ด้ๅปถ้ฟ(ๅฎขๆท็่ดญไนฐ้ด้ๆพ่ๅปถ้ฟ).ๆตๅคฑ้ข่ญฆ็ๆนๆณๅ ๆฌ่งๅ้ข่ญฆ(ๅบไบ่งๅ่ฏๅซ้ฃ้ฉไฟกๅท),้ขๆตๆจกๅ(้่ฟๆบๅจๅญฆไน ้ขๆตๆตๅคฑๆฆ็).ๆตๅคฑ้ข่ญฆ็็ปๆ็ๆ้ซ้ฃ้ฉๅฎขๆทๅ่กจ,ๆๅฏผๆตๅคฑ้ข้ฒ็ไผๅ ็บงๅๆชๆฝ.
ๆตๅคฑๅๅ ๅๆๆฏๅฎขๆทๆตๅคฑ็ฎก็็่ฏๆญ็ฏ่,้่ฟ่ฐๆฅๅๆฐๆฎๅๆไบ่งฃๅฎขๆทๆตๅคฑ็ๅๅ .ๆตๅคฑๅๅ ็็ฑปๅๅ ๆฌไบงๅๅๅ (ไบงๅไธ็ฌฆๅ้ๆฑๆไฝ้ชไธไฝณ),ๆๅกๅๅ (ๆๅกไฝ้ชๅทฎๆๆฏๆไธ่ถณ),ไปทๆ ผๅๅ (ไปทๆ ผไธๅ็ๆ็ซไบๅฏนๆๆดๅ ทไปทๆ ผไผๅฟ),ๅ ณ็ณปๅๅ (ๅฎขๆทๆๅฐไธ่ขซ้่งๆๅ ณ็ณป่ๅผฑ),ๅค้จๅๅ (้ๆฑๅๅ,่ฟ็งปๆๅ ถไปๅค้จๅ ็ด ).ๆตๅคฑๅๅ ๅๆ็ๆนๆณๅ ๆฌๆตๅคฑๅฎขๆท่ฐๆฅ(้่ฟ้ฎๅทๆ่ฎฟ่ฐไบ่งฃๆตๅคฑๅๅ ),ๆตๅคฑๆฐๆฎๅๆ(้่ฟๆฐๆฎๅๆๆตๅคฑๅฎขๆท็็นๅพๅ่กไธบ),ๆตๅคฑ็ซๅๅๆ(ๅๆๆตๅคฑๅฎขๆท่ฝฌๅ็็ซไบๅฏนๆ).ๆตๅคฑๅๅ ๅๆ็็ปๆๆๅฏผๆตๅคฑ้ข้ฒๅๆฝๅ็็ญ็ฅ.
ๆตๅคฑ้ข้ฒๅๆฝๅๆฏๅฎขๆทๆตๅคฑ็ฎก็็ๅนฒ้ข็ฏ่.ๆตๅคฑ้ข้ฒ็ญ็ฅ้ๅฏน้ซ้ฃ้ฉๅฎขๆท,้่ฟไธปๅจๅนฒ้ข(ๅฆๅฎขๆทๅ ณๆ,ไบงๅๅน่ฎญ,ไผๆ ๆฟๅฑ)้ข้ฒๆตๅคฑ.ๆตๅคฑ้ข้ฒ็ๆชๆฝๅ ๆฌๅฎขๆทๅ ณๆ(ไธปๅจ่็ณปๅฎขๆท,ไบ่งฃ้ๆฑๅ่งฃๅณ้ฎ้ข),ไบงๅๅน่ฎญ(ๆไพไบงๅๅน่ฎญๅไฝฟ็จๅปบ่ฎฎ),ไผๆ ๆฟๅฑ(ๆไพ็นๅซไผๆ ๆๆ็),ๅฎขๆทๅ้ฆ(ๆถ้ๅฎขๆท็ๅปบ่ฎฎๅๆ่ง).ๆตๅคฑๆฝๅ็ญ็ฅ้ๅฏนๅทฒ็ปๆตๅคฑ็ๅฎขๆท,้่ฟๆฝๅๆชๆฝ(ๅฆๆฝๅไผๆ ,่ท่ฟๆฒ้)ๅฐ่ฏๆฝๅๅฎขๆท.ๆตๅคฑๆฝๅ็ๆชๆฝๅ ๆฌๆฝๅ้ฎไปถ(ๅ้ไธชๆงๅ็ๆฝๅ้ฎไปถ),ๆฝๅ็ต่ฏ(ไธปๅจ่็ณปๆตๅคฑๅฎขๆท),ๆฝๅไผๆ (ๆไพ็นๅซไผๆ ๆๆๅก).ๆตๅคฑๆๆ่ฏไผฐ่ฏไผฐๆตๅคฑ้ข้ฒๅๆฝๅ็ๆๆ,ๅ ๆฌๆตๅคฑ็็ๅๅ,ๆฝๅ็ๅๆฝๅๅฎขๆท็ๅ็ปญไปทๅผ.ๆฐๅญๅๅฎขๆทๆตๅคฑ็ฎก็ๆฏๅฎขๆทไฟ็ๅๅฎขๆทไปทๅผ็้่ฆไฟ้,้่ฟ้ข้ฒๅๆฝๅๆชๆฝ,ๅๅฐๅฎขๆทๆตๅคฑๅไฟ็ๅฎขๆทไปทๅผ.
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ใThreeใใๆๅจๅฑ็คบ๏ผๅไบซโ้ซ้้็ป่็ ด็ขๅฎ้ชไธญ็่็ฝๆดปๆงไฟๆ็ๅๆโ๏ผไธบ็็ฉๅป่ฏ็ง็ ๅฎ้ชๅฎคๆไพ้ซไปทๅผๅ่ใ
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