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2. AIๅ ๅฎนๅฎกๆ ธ็ๆๆฏๆผ่ฟไธๆๆ
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3. ๅ ๅฎนๅฎกๆ ธ็ๆชๆฅ่ถๅฟไธ็คพไผๅฝฑๅ
ๅ ๅฎนๅฎกๆ ธ็ๆชๆฅ่ถๅฟๅฐๅด็ปๆๆฏใๆฟ็ญๅ็คพไผ็ๅค้็ปดๅบฆๅฑๅผใๆๆฏ่ถๅฟ๏ผๅคๆจกๆAI็็ปผๅ็่งฃ่ฝๅๆๅ๏ผๅฎๆถๅ ๅฎนๅๆ๏ผ็ดๆญๅ ๅฎน็ๅณๆถๅฎกๆ ธ๏ผ๏ผไธชๆงๅ็ๅ ๅฎนๅฎกๆ ธ๏ผ่่็จๆทไธไธๆๅๅๅฅฝ๏ผใๆฟ็ญ่ถๅฟ๏ผๅนณๅฐ่ดฃไปป็ๆณๅพๅผบๅ๏ผๆฌง็ๆฐๅญๆๅกๆณๆกๅฏนๅ ๅฎนๅฎกๆ ธ็่ฆๆฑ๏ผ๏ผ้ๆๅบฆ่ฆๆฑ๏ผๅนณๅฐ้่ฆๅ ฌๅผๅ ๅฎนๅฎกๆ ธ็ๆ ๅๅๆฐๆฎ๏ผ๏ผ็จๆทไธ่ฏๆบๅถ๏ผ็จๆทๅฏนๅฎกๆ ธๅณๅฎ็ไธ่ฏๆ๏ผใ็คพไผๅฝฑๅ๏ผ่จ่ฎบ่ช็ฑไธๅ ๅฎนๅฎๅ จ็ๅนณ่กก๏ผ่ฟๅบฆๅฎกๆ ธๅฏ่ฝ้ๅถ่จ่ฎบ่ช็ฑ๏ผ๏ผๅฎกๆฅ็ๅ่งๅๅ ฌๅนณๆง๏ผๅฎกๆ ธๆฏๅฆๅฏนไธๅ็พคไฝๆๅ่ง๏ผ๏ผ็จๆท็ๅฎกๆ ธๆ่ฏ๏ผ็จๆทๅฏนๅ ๅฎนๅฎกๆ ธ็็่งฃๅๅไธ๏ผใๅ ๅฎนๅฎกๆ ธ็ๆชๆฅๆฏ"ๅคๅฉ็็ธๅ ณๆน็ๆฒป็"โโๅนณๅฐใๆฟๅบใ็จๆทๅๅ ฌๆฐ็คพไผๅ ฑๅๅไธๅ ๅฎน่งๅ็ๅถๅฎๅๆง่กใๅ ๅฎนๅฎกๆ ธไธไป ๆฏๆๆฏ้ฎ้ข๏ผๆดๆฏ็คพไผๅฅ็บฆ็ไฝ็ฐโโๅนณๅฐๅฆไฝๅจๅไธๅฉ็ใ็จๆทๅฎๅ จๅ็คพไผ่ดฃไปปไน้ดๆพๅฐๅนณ่กกใ
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1. ๅ ๅปๆๆฏๆฏ่ฏ็ๅถ้ ็ๆ ธๅฟๅทฅ่บ
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ๅ ๅปๆๆฏ็ๆผ่ฟไธ็ช็ ดใๅ ๅปๆณข้ฟ็ๆผ่ฟ๏ผไปg-line๏ผ436nm๏ผๅฐi-line๏ผ365nm๏ผ๏ผKrF๏ผ248nm๏ผๅArF๏ผ193nm๏ผ๏ผEUV๏ผ13.5nm๏ผ็็ช็ ดใๅ่พจ็ๅขๅผบๆๆฏ๏ผๆตธๆฒกๅผๅ ๅป๏ผๆฐดๆตธๆฒกๆๅๅ่พจ็๏ผ๏ผๅ้ๅพๆกๅ๏ผๅ่พจ็ๅขๅผบ๏ผ๏ผSMOๅOPC๏ผ่ฎก็ฎๅ ๅป๏ผใEUVๅ ๅป็ๅไธๅ๏ผEUVๅ ๆบ็็ช็ ด๏ผ13.5nmๆณข้ฟ็ๅ ๆบ๏ผ๏ผEUVๅ ๅปๆบ็ไบงไธๅ๏ผASML็EUVๅ ๅปๆบ๏ผ๏ผEUV็่ฏ็ๅไบง่ฝๆๅใ
3. ๅ ๅปๆๆฏ็ๆชๆฅ่ถๅฟ
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