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่ฏ็ๅถ้ ๅทฅ่บไปๅพฎ็ฑณๆถไปฃๅฐ็บณ็ฑณๆถไปฃ็ๆผ่ฟๆฏ็ฐไปฃ็งๆๅๅฑ็็ผฉๅฝฑ๏ผๆฏไธๆฌกๅทฅ่บ็ช็ ด้ฝๅธฆๆฅไบๆง่ฝ็ๅคงๅน ๆๅๅๆๆฌ็ๅคงๅน ไธ้ใๅพฎ็ฑณๆถไปฃ๏ผ1970-2000ๅนดไปฃ๏ผ๏ผๅทฅ่บๅฐบๅฏธไป10ๅพฎ็ฑณๆผ่ฟๅฐ0.18ๅพฎ็ฑณ๏ผๅ ๅปๆๆฏไปๅฏ่งๅ ๅฐ็ดซๅคๅ ๏ผ่ฏ็้ๆ็ๆถไฝ็ฎกๆฐ้ไปๆฐๅๅฐๆฐ็พไธใ็บณ็ฑณๆถไปฃ็ๅผๅฏ๏ผ2000-2010ๅนดไปฃ๏ผ๏ผๅทฅ่บๅฐบๅฏธ่ฟๅ ฅ็บณ็ฑณ็บงๅซ๏ผ130nmใ90nmใ65nmใ45nm๏ผ๏ผ้ไบ่ฟๆๆฏๆฟไปฃ้ไบ่ฟ๏ผๅบๅ็ก ๆๆฏๆๅ่ฝฝๆตๅญ่ฟ็งป็ใFinFETๆถไปฃ็ๅฐๆฅ๏ผ2011ๅนด่ณไป๏ผ๏ผIntel็22nm FinFETๆๆฏๅผๅฏ3Dๆถไฝ็ฎกๆถไปฃ๏ผFinFET่งฃๅณไบๅนณ้ขๆถไฝ็ฎกๅจ22nmไปฅไธ็ๆง่ฝ้ฎ้ข๏ผๅฐ็งฏ็ตๅไธๆ็FinFETๆๆฏๆ็ปญๆผ่ฟใๅถ้ ๅทฅ่บ็ๆฏไธๆฌก็ช็ ด้ฝ้ตๅพช็"ๆฉๅฐๅฎๅพ"็่ๅฅ๏ผ่ฝ็ถๆฉๅฐๅฎๅพ็่ๅฅๅจๆพ็ผ๏ผไฝๅทฅ่บๅๆฐ็ๆญฅไผไปๆชๅๆญขใ
2. ๅฝๅๆๅ ่ฟ่ฏ็ๅถ้ ๅทฅ่บ
ๅฝๅๆๅ ่ฟ็่ฏ็ๅถ้ ๅทฅ่บๅทฒ็ป่ฟๅ ฅ3nmๅ2nmๆถไปฃ๏ผๅฐ็งฏ็ตใไธๆๅIntelๆฏไธป่ฆ็ๆๆฏ้ขๅฏผ่ ใๅฐ็งฏ็ต็3nmๅทฅ่บ๏ผN3ๅทฅ่บๅทฒ็ป้ไบง๏ผ็ธๆฏ5nmๆง่ฝๆๅ10-15%๏ผๅ่้ไฝ25-30%๏ผN3Eๅขๅผบ็ๆๅๆง่ฝๅ็ไบงๆ็๏ผN3P่ฟไธๆญฅๆๅๆง่ฝใไธๆ็3nmๅทฅ่บ๏ผ้็จGAA๏ผGate-All-Around๏ผๆถไฝ็ฎก็ปๆ๏ผไธๆ็งฐไธบMBCFET๏ผ๏ผ็ธๆฏFinFETๆๆดๅฅฝ็ๆง่ฝๅ่ฝๆ๏ผ3nm GAAP๏ผ็ฌฌไธไปฃ๏ผๅทฒ้ไบง๏ผ3nm GAAP2๏ผ็ฌฌไบไปฃ๏ผๅจๅผๅไธญใIntel็ๅทฅ่บ่ทฏ็บฟๅพ๏ผIntel 7๏ผๅ10nm Enhanced SuperFin๏ผๅทฒ้ไบง๏ผIntel 4๏ผๅ7nm๏ผ้็จEUVๅ ๅป๏ผIntel 3๏ผๅ5nm๏ผๅIntel 20A๏ผ2nm๏ผๅจๅผๅไธญ๏ผIntel็"ๅๅนดไบไธช่็น"่ฎกๅ๏ผ2021-2025ๅนดๆจ่ฟไบไธชๅทฅ่บ่็น๏ผใๅ ่ฟๅทฅ่บ็ๆๆ๏ผEUVๅ ๅป็ไบง่ฝๅๆๆฌ๏ผๆถไฝ็ฎกๅฏๅบฆ็็ฉ็ๆ้๏ผๅ่ๅฏๅบฆ็้ฎ้ข๏ผ่ฎพ่ฎกๅๅถ้ ็ๅคๆๅบฆใ
3. ่ฏ็ๅถ้ ๅทฅ่บ็ๆชๆฅ่ถๅฟ
่ฏ็ๅถ้ ๅทฅ่บ็ๆชๆฅ่ถๅฟๅฐๅด็ปๆฐๆๆใๆฐ็ปๆๅๆฐ่ๅผๅฑๅผใๆฐๆๆ็ๅบ็จ๏ผ2Dๆๆ๏ผ็ณๅขจ็ฏใไบ็กซๅ้ผ๏ผไฝไธบๆฒ้ๆๆ็ๆข็ดข๏ผHigh-NA EUVๅ ๅป๏ผ0.55 NA๏ผ็ๅผๅ ฅ๏ผ่้ขไพ็ต็ฝ็ป๏ผBSPDN๏ผๅๅฐไฟกๅทๅนฒๆฐใๆฐ็ปๆ็ๅๅฑ๏ผCFET๏ผไบ่กฅๅบๆๅบๆถไฝ็ฎก๏ผๅฐNMOSๅPMOSๅ ๅ ๅจไธ่ตท๏ผ3D้ๆๅChiplet๏ผ่ฏ็ๅ ๅ ๅๅผๆ้ๆ๏ผ๏ผๅญๅ ่ฎก็ฎ๏ผๅญๅจๅ่ฎก็ฎ็่ๅ๏ผใๆฐ่ๅผ็ๆข็ดข๏ผ้ๅญ่ฎก็ฎ่ฏ็็ๅถ้ ๏ผๅ ๅญ่ฏ็๏ผๅ ่ฎก็ฎ๏ผ็ๅถ้ ๏ผ็็ฉ่ฏ็ๅDNAๅญๅจใๅถ้ ๅทฅ่บ็ๆชๆฅไธไป ๆฏ"ๆดๅฐ"๏ผๆดๆฏ"ๆดๆบ่ฝ"ๅ"ๆด้ซๆ"โโๅจๆฉๅฐๅฎๅพๆพ็ผ็ๆถไปฃ๏ผๅทฅ่บๅๆฐๅฐๆดๅคไพ่ตๆฐ็ปๆใๆฐๆๆๅๆฐ้ๆๆนๅผ๏ผ็ปง็ปญๆจๅจ่ฎก็ฎ่ฝๅ็ๆๅใ
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1. ็คพๅบ็ฎก็ๆฏ็คพไบคๅชไฝ่ฟ่ฅ็ๆ ธๅฟ
็คพๅบ็ฎก็ๆฏ็คพไบคๅชไฝ่ฟ่ฅ็ๆ ธๅฟ๏ผ้่ฟ็ปดๆค็งฏๆ็็คพๅบๆฐๅดๅ็จๆทๅ ณ็ณป๏ผๆๅ็จๆทๆปกๆๅบฆๅๅ็ๅฟ ่ฏๅบฆใ็คพๅบ็ฎก็็้่ฆๆง๏ผ็จๆทๅไธ๏ผ็งฏๆ็็คพๅบๆฐๅดๆๅ็จๆทๅไธ๏ผ๏ผๅ็ๅฝข่ฑก๏ผ็คพๅบ็ฎก็ๅๆ ๅ็ไปทๅผ่ง๏ผ๏ผ็จๆท็ๅญ๏ผๅฅฝ็็คพๅบ็ฎก็ๆๅ็จๆท็ๅญ๏ผใ็คพๅบ็ฎก็็็ฎๆ ๏ผ็ปดๆค็งฏๆ็็คพๅบๆฐๅด๏ผไฟ่ฟ็จๆทไน้ด็ไบๅจ๏ผๅปบ็ซ็จๆทไธๅ็็ๅ ณ็ณปใ็คพๅบ็ฎก็ๆฏ"็จๆทๅ ณ็ณป็็ป่ฅ"โโ้่ฟๆ็ปญ็ไบๅจๅ็ฎก็๏ผๅฐ็จๆทไป"ๆถ่ดน่ "่ฝฌๅไธบ"็คพๅบๆๅ"ใ
2. ็คพๅบ็ฎก็็ๅ ณ้ฎ็ญ็ฅ
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3. ็จๆทๅ ณ็ณป็็ปดๆคไธๆทฑๅ
็จๆทๅ ณ็ณป็็ปดๆคไธๆทฑๅๆฏ็คพๅบ็ฎก็็ๆ ธๅฟ็ฎๆ ใ็จๆทๅ ณ็ณปๅปบ่ฎพ๏ผไธ็จๆท็็่ฏๆฒ้๏ผ็จๆท้ๆฑ็ไบ่งฃ๏ผ็จๆทไปทๅผ็ๅ้ ใ็จๆทๅ้ฆๅพช็ฏ๏ผ็จๆทๅ้ฆ็ๆถ้ๅๅๆ๏ผๅบไบ็จๆทๅ้ฆ็ๆน่ฟ๏ผๆน่ฟๆๆ็้ช่ฏๅๆฒ้ใ็จๆทๅฟ ่ฏๅบฆ๏ผ็จๆทๅไธๅไบๅจ๏ผ็จๆท็คพๅบๅฝๅฑๆ๏ผ็จๆทๅ็ๅฟ ่ฏๅบฆใ็คพๅบ็ฎก็็ๆๆ่ฏไผฐ๏ผ็จๆทๅไธๅบฆๆๆ ๏ผไบๅจ็ใๆดป่ท็จๆทๆฐ๏ผ๏ผ็จๆทๆปกๆๅบฆๆๆ ๏ผ็จๆท่ฏไปทๅๅ้ฆ๏ผ๏ผ็จๆท็ๅญๅๅฟ ่ฏๅบฆใ็คพๅบ็ฎก็ๆฏ"ๅ็ไธ็จๆท็่ฟๆฅ"โโ้่ฟ็งฏๆ็็คพๅบ็ฎก็๏ผๅปบ็ซๅ็ไธ็จๆท็ๆทฑๅฑ่ฟๆฅๅ้ฟๆๅ ณ็ณปใ
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