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ๅ ๅปๆๆฏๆฏ่ฏ็ๅถ้ ็ๆ ธๅฟๅทฅ่บ๏ผ้่ฟๅ ๅปๅจๆถๅไธๅป็ป็บณ็ฑณ็บง็็ต่ทฏๅพๆกใๅ ๅป็้่ฆๆง๏ผๅทฅ่บ็ฒพๅบฆ็ๆ ธๅฟ๏ผๅ ๅป็ฒพๅบฆๅณๅฎ่ฏ็็ๆๅฐ็นๅพๅฐบๅฏธ๏ผ๏ผๅถ็จๅทฅ่บ็้ฉฑๅจ๏ผๅ ๅปๆๆฏ่ฟๆญฅๆจๅจๅทฅ่บๆผ่ฟ๏ผ๏ผ่ฏ็ๆง่ฝ็ๅณๅฎๅ ็ด ๏ผๅ ๅป็ฒพๅบฆๅฝฑๅ่ฏ็ๆง่ฝๅๅ่๏ผใๅ ๅป็ๅบๆฌๅ็๏ผๅ ๅป่ถๆถๅธ๏ผๅ ๅป่ถๅๅๆถๅธๅจๆถๅ่กจ้ข๏ผ๏ผๆๅ ๅๆพๅฝฑ๏ผ้่ฟๆฉ่็ๆๅ ๏ผๅฝขๆ็ต่ทฏๅพๆก๏ผ๏ผๅป่๏ผๅฐๅพๆก่ฝฌ็งปๅฐๆถๅ่กจ้ข๏ผใ
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ๅ ๅปๆๆฏ็ๆผ่ฟไธ็ช็ ดใๅ ๅปๆณข้ฟ็ๆผ่ฟ๏ผไปg-line๏ผ436nm๏ผๅฐi-line๏ผ365nm๏ผ๏ผKrF๏ผ248nm๏ผๅArF๏ผ193nm๏ผ๏ผEUV๏ผ13.5nm๏ผ็็ช็ ดใๅ่พจ็ๅขๅผบๆๆฏ๏ผๆตธๆฒกๅผๅ ๅป๏ผๆฐดๆตธๆฒกๆๅๅ่พจ็๏ผ๏ผๅ้ๅพๆกๅ๏ผๅ่พจ็ๅขๅผบ๏ผ๏ผSMOๅOPC๏ผ่ฎก็ฎๅ ๅป๏ผใEUVๅ ๅป็ๅไธๅ๏ผEUVๅ ๆบ็็ช็ ด๏ผ13.5nmๆณข้ฟ็ๅ ๆบ๏ผ๏ผEUVๅ ๅปๆบ็ไบงไธๅ๏ผASML็EUVๅ ๅปๆบ๏ผ๏ผEUV็่ฏ็ๅไบง่ฝๆๅใ
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