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芯片制造中的光刻掩膜版与图案转移精度
[ไบบๅทฅๆบ่ฝๅจๅพไนฆ้ฆๆๅกไธญ็ๅบ็จ: ๆบๆ งๅพไนฆ้ฆ็ๆบ่ฝๅผๆ]
ไบบๅทฅๆบ่ฝๆญฃๅจๅพไนฆ้ฆๆๅก้ขๅๆไธบๆบๆ งๅพไนฆ้ฆ็ๆบ่ฝๅผๆ,้่ฟๆบ่ฝๆฃ็ดข,ไธชๆงๅๆจ่ๅ่ๆๅ่ๅจ่ฏข,ๆ้ซๅพไนฆ้ฆๆๅก็ๆ็,ไพฟๆทๆงๅ็จๆทไฝ้ช.ไผ ็ปๅพไนฆ้ฆๆๅกไพ่ต้ฆๅ็็ป้ชๅๆๅทฅๆไฝ,้พไปฅๅบๅฏนๆตท้ไฟกๆฏๅ็จๆท็ๅคๆ ทๅ้ๆฑ.AIๆบ่ฝๆฃ็ดข็ณป็ป้่ฟ่ช็ถ่ฏญ่จๅค็ๅ่ฏญไนๆ็ดข,็่งฃ็จๆท็ๆฅ่ฏขๆๅพ,ไปๆตท้็ๅพไนฆ,ๆๅ,ๆฐๆฎๅบๅๆฐๅญ่ตๆบไธญๅฟซ้็ฒพๅๅฐๆฃ็ดข็ธๅ ณไฟกๆฏ,ๆ้ซไฟกๆฏๅ็ฐๆ็.ไธชๆงๅๆจ่AI้่ฟๅๆ็จๆท็ๅ้ ๅๅฒ,้ ่ฏปๅๅฅฝๅ็ ็ฉถๅ ด่ถฃ,ๆจ่็ธๅ ณ็ๅพไนฆ,ๆ็ซ ๅ่ตๆบ,ๆฏๆ็จๆท็้ ่ฏป,ๅญฆไน ๅ็ ็ฉถ,ๆ้ซๅพไนฆ้ฆ่ตๆบ็ไฝฟ็จ็.
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