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芯片制造中的洁净室技术与污染控制
1. ่ฏ็ๅฏ้ ๆงๆฏไบงๅ่ดจ้็ๆ ธๅฟ
่ฏ็ๅฏ้ ๆงๆฏไบงๅ่ดจ้็ๆ ธๅฟ๏ผ่ฏ็้่ฆๅจๅ็งไฝฟ็จๆกไปถไธ้ฟๆ็จณๅฎๅทฅไฝ๏ผๅฏ้ ๆงๆต่ฏๆฏ่ดจ้ไฟ่ฏ็ๅ ณ้ฎ็ฏ่ใ่ฏ็ๅฏ้ ๆง็้่ฆๆง๏ผ็จๆทไฝ้ช๏ผ่ฏ็ๆ ้ๅฝฑๅ็จๆทไฝฟ็จ๏ผ๏ผๅ็ๅฃฐ่ช๏ผๅฏ้ ๆง้ฎ้ขๆๅฎณๅ็๏ผ๏ผๆๆฌๅฝฑๅ๏ผ่ฏ็ๆ ้็ๅฌๅๅ็ปดไฟฎๆๆฌ๏ผใ่ฏ็ๅฏ้ ๆง็ๆๆ๏ผๅถ็จๅทฅ่บ็ๅคๆๆง๏ผๅ ่ฟๅทฅ่บ็ๅฏ้ ๆงๆๆ๏ผ๏ผๅทฅไฝ็ฏๅข็ๅคๆ ทๆง๏ผๆธฉๅบฆใๆนฟๅบฆใ็ตๅๅๅ๏ผ๏ผไฝฟ็จๆถ้ด็้ฟๆๆง๏ผ่ฏ็้่ฆๅคๅนด็จณๅฎๅทฅไฝ๏ผใ
2. ่ฏ็ๅฏ้ ๆงๆต่ฏ็็ฑปๅไธๆนๆณ
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