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็พๅบฆ่่ๆฑ ๅนณๅฐ๏ผ็ฎ่่จไน๏ผๆฏไธไธช้่ฟๆจกๆๆ็ดขๅผๆ็ฌ่ซ่กไธบ๏ผๅธฎๅฉ็ฝ็ซๆๅๆ็ดขๅผๆๆถๅฝๅๆๅ็ๅทฅๅ ทใๅฎ็ๆ ธๅฟๅจไบๆไพไธไธชๅฎๅ จใ็จณๅฎ็็ฝ็ป็ฏๅข๏ผ่ฎฉๆ็ดขๅผๆ่ฝๅคๆดๅ ้ข็นๅฐๆๅ็ฝ็ซๅ ๅฎน๏ผไป่ๅขๅ ็ฝ็ซ็ๆๅ ็ๅ็นๅป็ใ
### ไบใ็ง่ตไปทๆ ผๅๆ
**ไปทๆ ผๅ ็ด **๏ผ็พๅบฆ่่ๆฑ ๅนณๅฐ็็ง่ตไปทๆ ผๅๅค็งๅ ็ด ๅฝฑๅ๏ผๅ ๆฌๅนณๅฐ็่งๆจกใๆๅก่ดจ้ใๆต้ๅคงๅฐ็ญใไธ่ฌ่่จ๏ผ่งๆจก่พๅคง็ๅนณๅฐ๏ผๅฆโ็พๅบฆ็ซ้ฟๅนณๅฐโ๏ผๅ ถไปทๆ ผ็ธๅฏน่พ้ซ๏ผ่ๅฐๅๆๆฐๅ ด็ๅนณๅฐๅฏ่ฝไปทๆ ผๆดไธบไบฒๆฐใๆญคๅค๏ผๆๅก็็จณๅฎๆงๅ่ดจ้ไน็ดๆฅๅฝฑๅๅฐไปทๆ ผ๏ผไผ่ดจ็ๆๅกๅพๅพไผด้็ๆด้ซ็่ดน็จใ</p> <p>**ไปทๆ ผๆฏ่พ**๏ผๅจ้ๆฉ็พๅบฆ่่ๆฑ ๅนณๅฐๆถ๏ผไผไธๅบ็ปผๅ่่่ช่บซ็้ๆฑๅ้ข็ฎใไพๅฆ๏ผๅฏนไบๆฐ็ซๆฅ่ฏด๏ผๅฏ่ฝ้่ฆไธไธชไปทๆ ผ้ไธญไธๆๅก็จณๅฎ็ๅนณๅฐๆฅๆฏๆๅ ถๅๆ็ๆ้ฟ้ถๆฎต๏ผ่ๅฏนไบๅทฒ็ปๆไธๅฎๅบ็ก็็ฝ็ซ๏ผๅๅฏไปฅ่่ๆด้ซ็ซฏ็ๆๅก๏ผไปฅ่ฟไธๆญฅๆๅๅ ถๅจๆ็ดขๅผๆไธญ็ๅฏ่งๅบฆใ
**ไปทๆ ผ่ถๅฟ**๏ผ้็ไบ่็ฝๆๆฏ็ๅๅฑๅๅธๅบ็ซไบ็ๅ ๅง๏ผ็พๅบฆ่่ๆฑ ๅนณๅฐ็ไปทๆ ผๅ็ฐๅบไธๅฎ็ๆณขๅจๆงใไธไบๅนณๅฐๅฏ่ฝไผๆจๅบไผๆ ๆดปๅจๆฅๅธๅผ็จๆท๏ผ่ๅฆไธไบๅนณๅฐๅๅฏ่ฝๅ ไธบๆๆฏๆดๆฐๆๅธๅบ่ฐๆด่ๆ้ซไปทๆ ผใๅ ๆญค๏ผไผไธๅจ้ๆฉๆถๅบๅฏๅๅ ณๆณจๅธๅบๅจๆ๏ผไปฅไพฟๅๅบๆๅ็็ๅณ็ญใ
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**ๆๆฌไธๆถ็**๏ผ่ฏไผฐ็พๅบฆ่่ๆฑ ๅนณๅฐ็ๆงไปทๆฏ๏ผ้ฆๅ ้่ฆไปๆๆฌๅๆถ็ไธคๆน้ข่ฟ่ก่้ใๆๆฌไธป่ฆๅ ๆฌ่ดญไนฐๅนณๅฐ็ๆถ้ดใ้้ฑๆๅ ฅไปฅๅๅ็ปญ็็ปดๆค่ดน็จ๏ผๆถ็ๅไฝ็ฐๅจ็ฝ็ซๆต้็ๆๅใๅ ณ้ฎ่ฏๆๅ็ๆนๅไปฅๅๆฝๅจ็ๅไธๆบไผ็ญๆน้ขใๅชๆๅจๆๆฌๅพๅฐๆๆๆงๅถ็ๅๆถ๏ผๆถ็ๆๅคงๅ็ๆ ๅตไธ๏ผๆ่ฝ่ฏด่ฟไธชๅนณๅฐๅ ทๆ้ซๆงไปทๆฏใ
**ๅ่ฝไธๆง่ฝ**๏ผ้คไบๅบๆฌ็ๆๆฌๅๆถ็ๅค๏ผๅ่ฝๅๆง่ฝไนๆฏ่กก้็พๅบฆ่่ๆฑ ๅนณๅฐๆงไปทๆฏ็้่ฆๆๆ ใไธไธชไผ็ง็ๅนณๅฐๅบ่ฏฅๅ ทๅคๅผบๅคง็ๆฐๆฎ้้่ฝๅใ้ซๆ็ๆฐๆฎๅค็้ๅบฆไปฅๅ็จณๅฎ็่ฟ่ก็ถๆใ่ฟไบๅ่ฝไธไป ่ฝๅคๅธฎๅฉไผไธๆดๅฅฝๅฐๆปก่ถณSEOไผๅ็้ๆฑ๏ผ่ฟ่ฝๅคๆๅไผไธ็่ฟ่ฅๆ็ๅ็ซไบๅใ
**้ๅบๆงไธๆฉๅฑๆง**๏ผ้็ไผไธไธๅก็ไธๆญๅๅฑๅๅๅ๏ผๅฏน็พๅบฆ่่ๆฑ ๅนณๅฐ็้ๆฑไนไผๅ็ๅๅใๅ ๆญค๏ผไธไธชๅ ทๆ่ฏๅฅฝ้ๅบๆงๅๆฉๅฑๆง็ๅนณๅฐ่ณๅ ณ้่ฆใๅฎๅบ่ฏฅ่ฝๅค็ตๆดปๅบๅฏนไธๅ็ไธๅกๅบๆฏๅ้ๆฑๅๅ๏ผๅๆถๅ ทๅคๆนไพฟ็ๆฉๅฑๆง๏ผไปฅไพฟไผไธๅจๆชๆฅ่ฝๅค่ฝปๆพๅฐ่ฟ่กๅ็บงๅๆฉๅฑใ
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芯片制造中的光刻技术与分辨率突破
1. ๅ ป็ๅ็ๅๅคๅทฅไฝ๏ผไฝ ็็ๅๅคๅฅฝไบๅ๏ผ
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2. ้ๆฉ้ๅไฝ ็็ฌ็ง๏ผๆงๆ ผๅไฝๅ่ฆๅน้
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3. ่ฟๆฅๆฐๆๅ๏ผๅฑ ๅฎถ็ฏๅขๅๅคๅๅฟ ๅค็จๅ
ๅธฆ็็ๅๅฎถๅ๏ผๅฐๅฎถไธญๆฝๅจๅฑ้ฉ็ฉๅๆถๅฅฝ๏ผ็ต็บฟใ่ฏๅใๅๅฆๅใๅฐ็ฉไปถใๆๆฏๆค็ฉ๏ผๅฆ็พๅใๆ้น๏ผๅ จ้จ็งปๅผใๅๅคไธไธช่้็็็ชๆ็ฌผๅญไฝไธบ็็็ๅฎๅ จ็ฉบ้ด๏ผ็ฌผๅ ปๆๅฉไบ่ฎญ็ปๅฎ็นๆไพฟๅๅๅฐๅ็ฆป็ฆ่ใๅฟ ๅค็จๅๅ ๆฌ๏ผ็็ฒฎ๏ผ้ๆฉไผ่ดจๅนผ็ฌ็ฒฎ๏ผใ้ฃ็ๅๆฐด็ใ็ตๅผ็ปณๅ้กนๅใๅฎ ็ฉๅฐฟๅซๆ็ๅๆใ็ฉๅ ท๏ผๅฌ่ถใ็็ฑป๏ผใๆขณๆฏๅทใๆ็ฒๅชใๅฎ ็ฉๆนฟๅทพๅๆดๆตด็จๅใๆๅ้ๆฉๅฅฝ้่ฟ็ๅฎ ็ฉๅป้ขๅนถ้ข็บฆ้ฆๆฌกไฝๆฃๅ็ซ่ๆฅ็ง๏ผ็กฎไฟ็็ๅฐๅฎถๅ่ฝๅๆถ่ทๅพๅป็็ ง้กพใ
4. ็ฌฌไธๅจ็ๅ ณ้ฎ้ๅบๆ๏ผๅปบ็ซไฟกไปปไธ่ง็ฉ
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5. ็งๅญฆๅๅ ปๅๆฅๅธธๆค็
ไธๅๅนด้พ้ถๆฎต็็็่ฅๅ ป้ๆฑไธๅใๅนผ็ฌ๏ผ2-6ไธชๆ๏ผๆฏๅคฉๅ3-4ๆฌก๏ผ้ๆฉ้ซ่็ฝๅนผ็ฌ็ฒฎ๏ผ่กฅๅ ้ๅๅพฎ้ๅ ็ด ใๆ็ฌ๏ผ6ไธชๆไปฅไธ๏ผๆฏๅคฉๅ2ๆฌก๏ผๆ นๆฎไฝ้ๅๆดปๅจ้่ฐๆด้ฃ้ใๅง็ปๆไพๆธ ๆด้ฅฎ็จๆฐดใไธ่ฆ็ป็็ๅ้ฃๅทงๅ ๅใๆด่ฑใ่ก่ใๆจ็ณ้็ญๆๆฏ้ฃ็ฉใๆฅๅธธๆค็ๅ ๆฌๆฏๅจๆขณ็ๆฏๅ2-3ๆฌก๏ผ้ฟๆฏ็ฌๆฏๅคฉๆขณ็๏ผใๆฏๆๆดๆพก1-2ๆฌก๏ผไฝฟ็จๅฎ ็ฉไธ็จ้ฆๆณข๏ผใๅฎๆไฟฎๅชๆ็ฒใๆฏๅจๆธ ๆด่ณๆตๅ็้ฝฟใๆฏๅคฉไฟ่ฏ่ณๅฐ30ๅ้-1ๅฐๆถ็ๆทๅค่ฟๅจๅ็ฉ่ๆถ้ด๏ผ่ฟๅจไธ่ถณ็็็ๅฎนๆไบง็่กไธบ้ฎ้ขใ
6. ๅฅๅบท็ฎก็ๅๅฎๆ็ซ่ๆฅ็ง
ๅๆถๆฅ็ง็ซ่ๅๅฎๆ้ฉฑ่ซๆฏไฟๆค็็ๅฅๅบท็ๅบ็กใๅนผ็ฌๅจ6-8ๅจ้พๅผๅงๆฅ็ง็ฌฌไธ้ๅค่็ซ่๏ผๆฏ้3-4ๅจๆฅ็งไธๆฌก๏ผๅ ฑ3้๏ผ16ๅจ้พๅๆฅ็ง็็ฌ็ซ่ใไนๅๆฏๅนดๅ ๅผบๆฅ็งไธๆฌกใไฝๅ ้ฉฑ่ซๆฏ3ไธชๆไธๆฌก๏ผไฝๅค้ฉฑ่ซๆฏๆไธๆฌก๏ผ็นๅซๆฏๆฅๅคๅญฃ่๏ผใๆฏๅนดๅธฆ็็ๅไธๆฌกๅ จ้ขไฝๆฃ๏ผๅ ๆฌ่กๆถฒใๅฐฟๆถฒใ็ฒชไพฟๅๅฟไธ่ซๆฃๆตใ่งๅฏ็็็ๆฅๅธธ็ถๆ๏ผๅฆ้ฃๆฌฒไธๆฏใ็ฒพ็ฅ่้กใๅๅ่ นๆณปใๅผๅธธๆๆฏ็ญ็ซๅณๅฐฑๅปใ็ป่ฒๆๆฏๅปบ่ฎฎๅจ6-12ไธชๆ่ฟ่ก๏ผ่ฝ้ข้ฒ็ๆฎ็ณป็ป็พ็ ๅ่กไธบ้ฎ้ขใ
7. ๅบ็ก่ฎญ็ป๏ผ่ฎฉ็็ๆไธบๆๆๅ ป็ๅฎถๅบญๆๅ
ๅบ็ก่ฎญ็ปไธไป ่ฎฉ็็ๆดๆ่ง็ฉ๏ผไนๅขๅผบไบไบบ็ไน้ด็ไฟกไปปๅ็่งฃใ็ฌฌไธไธช่ฎญ็ป็ง็ฎๆฏโๅไธโ๏ผๆๆก้ถ้ฃๆพๅจ็็้ผปๅญๅ๏ผๆ ขๆ ขไธ็งปๅฐๅคด้จไธๆน๏ผ็็่ช็ถไผๅไธ๏ผๅๆถ่ฏดโๅโๅนถๅฅๅฑใ็ฌฌไบไธชๆฏโ่ถดไธโ๏ผไปๅๅงฟๅผๅง๏ผๅฐ้ถ้ฃไป้ผปๅญๅคๅไธๅผๅฏผ่ณๅฐ้ข๏ผ่ฏดโ่ถดโๅนถๅฅๅฑใ็ฌฌไธไธชๆฏโ็ญๅพ โ๏ผ่ฎฉ็็ไฟๆๅๆ่ถด็็ถๆ๏ผไฝ ๅ ๅ้ไธๆญฅ๏ผ่ฏดโ็ญโ๏ผๅฆๆ็็ไธๅจๅฐฑๅฅๅฑ๏ผ้ๆธๅขๅ ่ท็ฆปๅๆถ้ดใ่ฎญ็ปๆฏๆฌกไธ่ถ ่ฟ10ๅ้๏ผไฟๆไน่ถฃๅ่ๅฟใ็คพไบคๅ่ฎญ็ปๅๆ ท้่ฆ๏ผ่ฎฉ็็ๆฅ่งฆไธๅ็ไบบใ็ใๅฃฐ้ณๅ็ฏๅข๏ผๅนๅ ปๅๅ็จณๅฎ็ๆงๆ ผใ
8. ๅธธ่ง้ฎ้ข่งฃ็ญๅ้ฟๆๆฟ่ฏบ
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