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1. EUVๅ ๅปๆฏๅ ่ฟ่ฏ็ๅถ้ ็ๆ ธๅฟๆๆฏ
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2. EUVๆๆฏ็ๅไธๅๅไบงไธๅ
EUVๆๆฏ็ๅไธๅๅไบงไธๅๆฏๅๅฏผไฝ่กไธ็้่ฆ้็จ็ขใEUVๅ ๅปๆบ็ไพๅบๅ๏ผASMLๆฏๅ จ็ๅฏไธ็EUVๅ ๅปๆบไพๅบๅ๏ผASML็EUVๅ ๅปๆบ๏ผNXE็ณปๅ๏ผๆฏๅ ่ฟๅถ้ ็ๅฟ ้ๅ๏ผEUVๅ ๅปๆบ็ไปทๆ ผ๏ผๆฏๅฐ่ถ ่ฟ1.5ไบฟ็พๅ ๏ผใEUV็ไบงไธๅ๏ผๅฐ็งฏ็ตๅจ7nm+ๅผๅงไฝฟ็จEUV๏ผไธๆๅจ5nmๅผๅงไฝฟ็จEUV๏ผIntelๅจIntel 4ๅผๅงไฝฟ็จEUVใEUV็่ฏ็๏ผEUVๅ ๅป็่ฏ็ๆๅๆฏไบงไธๅ็ๅ ณ้ฎ๏ผEUVๅ ๅป็็ผบ้ทๆงๅถ๏ผEUVๅ ๅป็ไบง่ฝๆๅใ
3. EUVๆๆฏ็ๆชๆฅๅๅฑไธๆๆ
EUVๆๆฏ็ๆชๆฅๅๅฑๅๆๆใHigh-NA EUV๏ผไธไธไปฃEUVๆๆฏ๏ผ0.55 NA๏ผ๏ผๆด้ซ็ๅ่พจ็๏ผๆฏๆ2nmๅๆดๅ ่ฟๅทฅ่บ๏ผ๏ผASML็High-NA EUVๅ ๅปๆบ๏ผEXE็ณปๅ๏ผใEUV็ๆๆ๏ผๅ ๆบๅ็็่ฟไธๆญฅๆๅ๏ผๅ ๅป่ถ็ๆๆๅบฆๅๅ่พจ็๏ผๅ ็ฝฉ๏ผๆฉ่็๏ผ็็ผบ้ทๆงๅถ๏ผEUVๅ ๅปๆบ็ๆๆฌๅไบง่ฝใEUVไนๅค็ๆๆฏๆข็ดข๏ผ็ตๅญๆๅ ๅป๏ผ็ดๆฅๅๅ ฅ๏ผใ็บณ็ฑณๅๅฐๅ ๅป๏ผNIL๏ผ๏ผXๅฐ็บฟๅ ๅปใEUVๆๆฏๆฏๅ ่ฟ่ฏ็ๅถ้ ็ๆ ธๅฟ้ฉฑๅจๅ๏ผEUVๆๆฏ็ๆ็ปญ่ฟๆญฅๅฐๆฏๆ่ฏ็ๅทฅ่บ็ๆ็ปญๆจ่ฟใ
ไบบๅทฅๆบ่ฝๅจๅพไนฆๆ ๆฅๅญฆไธญ็ๅบ็จ
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ๅฒ็ช่ฏๅซๆฏๆธ ้ๅฒ็ช็ฎก็็่ตท็น,้่ฟ็ๆตๆธ ้็็ปฉๆ,ๅ้ฆๅๅ ณ็ณป,่ฏๅซๅฒ็ช็่ฟน่ฑกๅๅๅ .ๅฒ็ช็่ฟน่ฑกๅ ๆฌๆธ ้ๆฑๆจ(ๆธ ้ไผไผดๅฏนๆฟ็ญ,ๅฎไปทๆๆฏๆ็ๆฑๆจ),้ๅฎ่ฝฌ็งป(้ๅฎไปไธไธชๆธ ้่ฝฌ็งปๅฐๅฆไธไธชๆธ ้),ไปทๆ ผๅฒ็ช(ๅๆธ ้็ไปทๆ ผไธไธ่ด),ๅฎขๆทๆตๅคฑ(ๅฎขๆทๅ ๆธ ้ๅฒ็ช่ๆตๅคฑ).ๅฒ็ช็ๅๅ ๅๆๅ ๆฌๆธ ้็ฎๆ ไธไธ่ด(ๅๆธ ้็็ฎๆ ๅๅฉ็ไธไธ่ด),ๆธ ้่ง่ฒๆจก็ณ(ๆธ ้็่ง่ฒๅ่ดฃไปปไธๆธ ๆฐ),ๆธ ้ๆฟ็ญๅ่งๅไธๅ ฌๅนณ(ๆธ ้็ๆฟ็ญๅ่งๅไธๅ ฌๅนณๆไธ้ๆ).ๅฒ็ช่ฏๅซ็็ปๆๆๅฏผๅฒ็ช้ข้ฒๅ่งฃๅณ็ญ็ฅ็ๅถๅฎ.
ๅฒ็ช้ข้ฒ้่ฟๆธ ้่ฎพ่ฎก,ๆฟ็ญๅถๅฎๅๆฒ้,ๅๅฐๅฒ็ช็ๅฏ่ฝๆง.ๆธ ้่ฎพ่ฎก้่ฟๆ็กฎๅๆธ ้็่ง่ฒๅๅฎไฝ(ๅฆ็บฟไธๆธ ้่ด่ดฃๅ็ๅฑ็คบๅ้ๅฎ,็บฟไธๆธ ้่ด่ดฃไฝ้ชๅๆๅก),้ฟๅ ๆธ ้่ง่ฒ็้ๅ ๅ็ซไบ.ๆธ ้ๆฟ็ญ้่ฟๅถๅฎๅ ฌๅนณ,้ๆ็ๆฟ็ญๅ่งๅ(ๅฆๅฎไปทๆฟ็ญ,ไฟ้ๆฟ็ญ,ๅบๅไฟๆคๆฟ็ญ),ๅๅฐไธๅ ฌๅนณๆๅไบ่ฎฎ.ๆฒ้ๅๅๅ้่ฟๅฎๆๆฒ้ๅๅๅ,ๅปบ็ซๆธ ้้ด็็่งฃๅไฟกไปป,ๅๅฐ่ฏฏ่งฃๅๅฒ็ช.ๅฒ็ช้ข้ฒๆฏๆธ ้็ฎก็็้่ฆ็ฏ่,้่ฟๅ็ปๆง็่ฎพ่ฎกๅ็ฎก็,ๅๅฐๅฒ็ช็ๅ็ๅๅฝฑๅ.
ๅฒ็ช่งฃๅณๅๆธ ้ๅๅๆฏๅฒ็ช็ฎก็็ๅบๅฏนๅไผๅ.ๅฒ็ช่งฃๅณ็ๆนๆณๅ ๆฌๅๅ(้่ฟๅฏน่ฏๅๅๅ่งฃๅณๅฒ็ช),ไปฒ่ฃ(้่ฟ็ฌฌไธๆนไปฒ่ฃ่งฃๅณไบ่ฎฎ),ๆฟ็ญ่ฐๆด(่ฐๆดๆธ ้ๆฟ็ญๅ่งๅไปฅ่งฃๅณๅฒ็ช),ๆธ ้ๆดๅ(้่ฟๆดๅๆธ ้่ตๆบๅ็ฎก็).ๅฒ็ช่งฃๅณ็็ฎๆ ๆฏๅ ฌๅนณๅๅ่ตข,้ฟๅ ๅฒ็ชๅ็บงๅๆๅฎณๆดไฝๅฉ็.ๆธ ้ๅๅ้่ฟไฟ่ฟๅๆธ ้็ๅไฝๅ่ตๆบๆดๅ,ๅฎ็ฐๅๅๆๅบ.ๆธ ้ๅๅ็็ญ็ฅๅ ๆฌ่ๅ่ฅ้(็บฟไธ็บฟไธ่ๅ่ฅ้ๆดปๅจ),ๅบๅญๅ ฑไบซ(็บฟไธ็บฟไธๅบๅญๅ ฑไบซ),ๆๅกๅๅ(็บฟไธ็บฟไธๆๅกๅๅ).ๆฐๅญๅๆธ ้ๅฒ็ช็ฎก็ๆฏๆธ ้็ฎก็็ๆ ธๅฟ่ฝๅ,้่ฟ็ณป็ปๅ็ๅฒ็ช่ฏๅซ,้ข้ฒๅ่งฃๅณ,็ปดๆคๆธ ้็ๅฅๅบทๅๅๅ.
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