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芯片制造中的光刻掩膜版与图案转移精度
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ๅฎขๆทๆๅ็ญ็ฅๆฏๅฎขๆทๆๅ็ฎก็็่ตท็น,ๅฎไนๅฎขๆทๆๅ็็ฎๆ ,ๅฎขๆท็ปๅๅๅ ณ้ฎๆดปๅจ.ๅฎขๆทๆๅ็็ฎๆ ๅ ๆฌๅฎขๆท็ๅญ(้ไฝๅฎขๆทๆตๅคฑ็),ๅฎขๆทๆฉๅฑ(ๅขๅ ๅฎขๆท็ๆถ่ดนๅไบคๅ้ๅฎ),ๅฎขๆทๆจ่(ไฟ่ฟๅฎขๆทๆจ่ๆฐๅฎขๆท).ๅฎขๆท็ปๅๆ นๆฎๅฎขๆท็ไปทๅผ,้ๆฑๅไฝฟ็จ้ถๆฎต,ๅฐๅฎขๆทๅไธบไธๅ็ๆๅ็ฎก็็ญ็ฅ.ๅฎขๆทๆๅ็ๅ ณ้ฎๆดปๅจๅ ๆฌๅฎขๆทๅ ฅ่(ๅธฎๅฉๅฎขๆท้กบๅฉไฝฟ็จไบงๅ),ๅฎขๆทๅน่ฎญ(ๆไพๅฎขๆทๅน่ฎญๅๆฏๆ),ๅฎขๆทๅฅๅบทๆฃๆฅ(ๅฎๆ่ฏไผฐๅฎขๆท็ไฝฟ็จ็ถๆ),ๅฎขๆทไปทๅผๅ้กพ(ไธๅฎขๆทๅ้กพๅฎ็ฐ็ไปทๅผ).
ๅฎขๆทๅฅๅบทๅบฆ่ฏไผฐๆฏๅฎขๆทๆๅ็ฎก็็ๅบ็ก,้่ฟๆฐๆฎๅๆๅๅฎขๆทๆฅ่งฆ,่ฏไผฐๅฎขๆท็ไฝฟ็จ็ถๆๅ้ฃ้ฉ.ๅฎขๆทๅฅๅบทๅบฆๆๆ ๅ ๆฌไฝฟ็จๆดป่ทๅบฆ(ๅฎขๆทไฝฟ็จไบงๅ็้ข็ๅๆทฑๅบฆ),ไธๅกๆๆ(ๅฎขๆท้่ฟไบงๅๅฎ็ฐ็ไธๅกๆๆ),ๅฎขๆทๆ ๆ(ๅฎขๆทๆปกๆๅบฆๅๅฟ ่ฏๅบฆ),ๅฎขๆท็ๅฝๅจๆ้ถๆฎต(ๅฎขๆทๅจ็ๅฝๅจๆไธญ็้ถๆฎต).ๅฎขๆทๅฅๅบทๅบฆ่ฏไผฐ็ๆฐๆฎๆฅๆบๅ ๆฌไบงๅไฝฟ็จๆฐๆฎ,ๅฎขๆทๅ้ฆ,ๅฎขๆทไบๅจ่ฎฐๅฝ.ๅฎขๆทๅฅๅบทๅบฆ่ฏไผฐ็็ปๆ่ฏๅซ้ซ้ฃ้ฉๅฎขๆท,ไฝๅไธๅฎขๆทๅๆฉๅฑๆบไผๅฎขๆท,ๆๅฏผๅฎขๆทๆๅๅนฒ้ขๅ็ญ็ฅ.
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