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[ๆฐๅญๅๅ้ฉ้ขๅฏผๅ: ๅผ้ข็ป็ป่ฝฌๅ็ๅ ณ้ฎ่ฝๅ]
ๆฐๅญๅๅ้ฉ้ขๅฏผๅๆฏๅผ้ข็ป็ปๆฐๅญๅ่ฝฌๅ็ๅ ณ้ฎ้ขๅฏผ่ฝๅ,ๅ ๆฌๆ็ฅ่ฟ่ง,ๅ้ฉๆจๅจๅ,ๅๆฐๅๆฐๅๅข้ๅ่ๅ.ๆฐๅญๅๅ้ฉ้ขๅฏผๅ็ๆ ธๅฟ่ฆ็ด ๅ ๆฌๆฟๆฏๅก้ (ๆ็ปๆฐๅญๅๆชๆฅ็ๆฟๆฏ,ๆฟๅ็ป็ป็ๅ้ฉๅจๅ),ๆ็ฅๆ็ปด(ๅถๅฎๆธ ๆฐ็ๆฐๅญๅๆ็ฅๅ่ทฏๅพ),ๅ้ฉๆจๅจ(ๆจๅจๅ้ฉ็ๆง่ก,ๅ ๆๅ้ฉ้ปๅ),ๅข้่ต่ฝ(ๅปบ่ฎพ้ซ็ปฉๆ็ๆฐๅญๅๅข้)ๅๆ็ปญๅญฆไน (ไฟๆๅญฆไน ๅ่ชๆๆๅ).ๆฐๅญๅๅ้ฉ้ขๅฏผๅๆฏๆฐๅญๅ่ฝฌๅๆๅ็ๅ ณ้ฎๅ ็ด ,้ขๅฏผ่ ็่กไธบๅๅณ็ญ็ดๆฅๅฝฑๅ่ฝฌๅ็ๆนๅๅๆๆ.
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芯片制造中的离子注入与掺杂工艺优化
[ๆฐๅญๅ้ๅฎ็ฎก็: ้ๅฎๆ็ไธ็ปฉๆๆๅ]
ๆฐๅญๅ้ๅฎ็ฎก็ๆฏๅฉ็จๆฐๅญๅทฅๅ ทๅๆฐๆฎไผๅ้ๅฎๆต็จ,ๆๅ้ๅฎๆ็ๅ็ปฉๆ็็ฎก็ๅฎ่ทต.ๆฐๅญๅ้ๅฎ็ฎก็็ๆ ธๅฟ่ฆ็ด ๅ ๆฌ้ๅฎๆต็จ็ฎก็(็ฎก็ๅไผๅ้ๅฎๆต็จ),้ๅฎๅข้็ฎก็(็ฎก็้ๅฎๅข้็็ปฉๆๅๅๅฑ),้ๅฎ้ขๆต(้ขๆต้ๅฎไธ็ปฉๅ่ถๅฟ),้ๅฎๅๆๅๆฅๅ(ๅๆ้ๅฎๆฐๆฎๅ็ปฉๆ),้ๅฎๆๆฏๅทฅๅ ท(ๆไพ้ๅฎๆๆฏๅทฅๅ ทๆฏๆ).ๆฐๅญๅ้ๅฎ็ฎก็ๆฏ้ๅฎๅข้็ๆ ธๅฟๆฏๆ,ๅธฎๅฉ้ๅฎๅข้ๆ้ซๆ็ๅ่พพๆ้ๅฎ็ฎๆ .
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