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1. EUVๅ ๅปๆฏๅ ่ฟ่ฏ็ๅถ้ ็ๆ ธๅฟๆๆฏ
EUV๏ผๆ็ดซๅคๅ ๅป๏ผๆฏๅ ่ฟ่ฏ็ๅถ้ ็ๆ ธๅฟๆๆฏ๏ผไฝฟ็จ13.5nmๆณข้ฟ็ๆ็ดซๅคๅ ๅจๆถๅไธๅป็ป็บณ็ฑณ็บง็็ต่ทฏๅพๆกใEUVๅ ๅป็้่ฆๆง๏ผไผ ็ปๅ ๅป๏ผ193nmๆณข้ฟ๏ผๅจ7nmไปฅไธๅทฅ่บ้ๅฐ็ฉ็ๆ้๏ผEUVๅ ๅปๆฏ5nmใ3nmๅๆดๅ ่ฟๅทฅ่บ็ๅฟ ้ๆๆฏ๏ผEUVๆๆฏ็็ช็ ดๆจๅจไบๆฉๅฐๅฎๅพ็ๅปถ็ปญใEUVๅ ๅป็ๅ็๏ผEUVๅ ๆบไบง็ๆ็ดซๅคๅ ๏ผ้่ฟ็ญ็ฆปๅญไฝ๏ผ๏ผๅๅฐ้็ณป็ปๅฐๅ ๅผๅฏผๅฐๆฉ่็๏ผๅ ๅป่ถๅจๆ็ดซๅคๅ ไธๆๅ ๅฝขๆ็ต่ทฏๅพๆกใEUVๅ ๅป็ๆๆ๏ผๅ ๆบๅ็๏ผ้่ฆ้ซๅ็็EUVๅ ๆบ๏ผ๏ผๅ ่ทฏ็ณป็ป็ๅคๆๆงๅๆๆฌ๏ผๅ ๅป่ถ็ๆๆๅบฆๅๅ่พจ็ใ
2. EUVๆๆฏ็ๅไธๅๅไบงไธๅ
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