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ๅจ็ๆง่ฟ็จไธญ๏ผๆไปฌ้่ฆๆณจๆไปฅไธๅ ไธชๆน้ข๏ผ
ๅ ณ้ฎ่ฏๆๅๅๅ๏ผๅฎๆๆฅ็ๅ ณ้ฎ่ฏ็ๆๅๆ ๅต๏ผไบ่งฃๅ ถๅๅ่ถๅฟใ่ฟๆๅฉไบๆไปฌๅๆถๅ็ฐ้ฎ้ขๅนถ้ๅ็ธๅบๆชๆฝใ
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1. ๅๅฏผไฝ่ฏ็๏ผ็ฐไปฃ็งๆ็ๅบ็ณ
ๅๅฏผไฝ่ฏ็ๆฏๆๆ็ตๅญ่ฎพๅค็ๆ ธๅฟ๏ผไปๆบ่ฝๆๆบๅฐๆๅกๅจใไปๆฑฝ่ฝฆๅฐ่ชๅคฉๅจใ่ฏ็ๅถ้ ่ขซ่ฎคไธบๆฏไบบ็ฑปๆๅคๆ็ๅถ้ ๅทฅ่บไนไธ๏ผๆถๅๆฐ็พไธช็ฒพๅฏๆญฅ้ชคใๅ จ็ๅๅฏผไฝไบงไธๅนดไบงๅผ่ถ ่ฟ6000ไบฟ็พๅ ๏ผๆฏๆ็ไปทๅผๆฐไธไบฟ็พๅ ็็ตๅญไฟกๆฏไบงไธใ็่งฃ่ฏ็ๅถ้ ๆต็จ๏ผๅฐฑ่ฝ็่งฃ็ฐไปฃ็งๆ็ๅบ็กใ
2. ็ก ๆถๅ็ๅถๅค๏ผไธๅไปๆฒๅญๅผๅง
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3. ๅ ๅปๆๆฏ๏ผๅจๆถๅไธ"ๅฐๅท"็ต่ทฏ
ๅ ๅปๆฏ่ฏ็ๅถ้ ๆๆ ธๅฟ็ๆญฅ้ชค๏ผ็ธๅฝไบๅจๆถๅไธ"ๅฐๅท"็บณ็ฑณ็บง็็ต่ทฏๅพๆกใๅ ๅป่ถๅๅๆถๅธๅจๆถๅ่กจ้ข๏ผ้่ฟๆฉ่็๏ผ่ฎพ่ฎกๅฅฝ็็ต่ทฏๅพๆก๏ผ็จ็ดซๅค็บฟๆๆ็ดซๅคๅ ๏ผEUV๏ผๆๅ ใๆๅ ๅบๅ็ๅ ๅป่ถๅ็ๅๅญฆๅๅ๏ผๆพๅฝฑๅๅฝขๆ็ต่ทฏๅพๆกใEUVๅ ๅปไฝฟ็จ13.5nmๆณข้ฟ็ๅ ๆบ๏ผๆฏ็ฎๅๆๅ ่ฟ็ๆๆฏ๏ผๅๅฐEUVๅ ๅปๆบไปทๅผ่ถ ่ฟ1.5ไบฟ็พๅ ใ
4. ่ๅปๅๆฒ็งฏ๏ผๆๅปบๆถไฝ็ฎก็ปๆ
่ๅปๆญฅ้ชคๅฐๅ ๅปๅพๆก่ฝฌ็งปๅฐๆถๅ่กจ้ขใๅฉ็จ็ญ็ฆปๅญไฝๆๅๅญฆๆบถๆถฒๅป้คๆช่ขซไฟๆค็ๆๆ๏ผๅฝขๆๆฒๆงฝๅๅญๆดใๆฒ็งฏๆญฅ้ชค้่ฟๅๅญฆๆฐ็ธๆฒ็งฏ๏ผCVD๏ผๆ็ฉ็ๆฐ็ธๆฒ็งฏ๏ผPVD๏ผๅจๆถๅ่กจ้ข็้ฟ่่ๅฑ๏ผๅ ๆฌ็ป็ผๅฑใๅฏผ็ตๅฑๅๅๅฏผไฝๅฑใ่ๅปๅๆฒ็งฏไบคๆฟ่ฟ่กๆฐๅๆฌก๏ผ้ๅฑๆๅปบๆถไฝ็ฎก็็ซไฝ็ปๆใ
5. ๆบๆๅ้็ซ๏ผ่ตไบ็ก ๅฏผ็ต็นๆง
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6. ไบ่ฟๅ้ๅฑๅ๏ผ่ฟๆฅๆฐไบฟๆถไฝ็ฎก
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7. ๆต่ฏๅๅฐ่ฃ ๏ผ่ฏ็็ๆ็ปๆๅ
ๆถๅๅถ้ ๅฎๆๅ๏ผไฝฟ็จๆข้ๅกๅฏนๆฏ้ข่ฏ็่ฟ่ก็ตๆงๆต่ฏ๏ผ็ญ้ๅบๅๆ ผ่ฏ็ใๅฐๆถๅๅๅฒๆ็ฌ็ซ็่ฏ็๏ผๅๆ ผ็่ฏ็่ฟ่กๅฐ่ฃ ๏ผๅบๅฎๅจๅบๆฟไธใ่ฟๆฅๅค้จๅผ่ใๅ ่ฃ ๆฃ็ญ็ใๅฐ่ฃ ไฟๆค่ฏ็ๅ ๅ็ฉ็ๅๅๅญฆๆไผค๏ผๅๆถๆไพ็ตๆฐ่ฟๆฅๅๆฃ็ญ้้ใๆต่ฏๅฐ่ฃ ๅ็่ฏ็ๅๆฌก่ฟ่กๅ่ฝ้ช่ฏ๏ผ็กฎ่ฎคๅๆ ผๅๅบ่ดง็ปๅฎขๆทใ
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