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ไบบๅทฅๆบ่ฝๆญฃๅจๅฟ็ๅญฆๆฒป็้ขๅๆไธบๅฟ็ๅฅๅบท็ๆบ่ฝๅฎๆค่ ,้่ฟ่ช็ถ่ฏญ่จๅค็,ๆ ๆ่ฎก็ฎๅ่กไธบๅๆ,ๆฏๆๅฟ็ๅฅๅบท็่ฏไผฐ,ๅนฒ้ขๅๅบทๅค.ๅฟ็ๅฅๅบท้ฎ้ขๅฆๆ้,็ฆ่,ๅไผคๅๅบๆฟ้็ขๅๆ็พ่กไธบๆฅ็ๆฎ้,ไฝๅฟ็ๅฅๅบทๆๅก่ตๆบๆ้,่ฎธๅคๆฃ่ ๆ ๆณ่ทๅพๅๆถๅๆๆ็ๆฒป็.AI้ฉฑๅจ็ๅฟ็ๆฒป็ๅทฅๅ ทๅฆ่ๅคฉๆบๅจไบบๅ่ๆๆฒป็ๅธ,ๅฏไปฅๆไพๅๆญฅ็ๅฟ็ๅฅๅบท่ฏไผฐ,ๆ ็ปชๆฏๆๅ่ฎค็ฅ่กไธบ็ๆณ,ๆฉๅฑๅฟ็ๆๅก็่ฆ็่ๅดๅๅฏๅๆง.่ฟไบAI็ณป็ป้่ฟๅๆๆฃ่ ็่ฏญ่จ,่ฏญ้ณๅ่กไธบๆจกๅผ,่ฏๅซๆ ็ปช็ถๆๅๅฟ็้ฎ้ข็่ฟน่ฑก,ๆไพไธชๆงๅ็ๅนฒ้ขๅๅปบ่ฎฎ.
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芯片制造中的洁净室技术与污染控制
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ๅฉ็็ธๅ ณ่ ่ฏๅซๆฏ็ฎก็็็ฌฌไธๆญฅ,่ฏๅซๆๆๅ็ป็ปๆดปๅจๅฝฑๅ็ไธชไบบๅ็พคไฝ.ๅฉ็็ธๅ ณ่ ็็ฑปๅๅ ๆฌๅ ้จๅฉ็็ธๅ ณ่ (ๅๅทฅ,็ฎก็ๅฑ,่กไธ)ๅๅค้จๅฉ็็ธๅ ณ่ (ๅฎขๆท,ไพๅบๅ,็็ฎกๆบๆ,็คพๅบ,ๅชไฝ,้ๆฟๅบ็ป็ป).ๅฉ็็ธๅ ณ่ ็่ฏๅซ้่ฆ่่็ป็ป็ๅฝฑๅ่ๅด,่กไธ็น็นๅ้กน็ฎๆง่ดจ,็กฎไฟ่ฏๅซ็ๅ จ้ขๆงๅๅ็กฎๆง.ๅฉ็็ธๅ ณ่ ็่ฏๅซๆฏๆ็ปญ็่ฟ็จ,้็็ป็ปๆดปๅจๅ็ฏๅข็ๅๅ,ๅฉ็็ธๅ ณ่ ็ๆๆไนๅฏ่ฝๅๅ.
ๅฉ็็ธๅ ณ่ ๅๆ่ฏไผฐๅฉ็็ธๅ ณ่ ็ๅฉ็,ๅฝฑๅๅ,้ๆฑๅๆๆ,ไธบ็ฎก็็ญ็ฅๆไพไพๆฎ.ๅฉ็็ธๅ ณ่ ๅๆ็ๆนๆณๅ ๆฌๅฉ็็ธๅ ณ่ ๅฐๅพ(ๆ นๆฎๅฉ็็ธๅ ณ่ ็ๅฝฑๅๅๅๅ ด่ถฃ่ฟ่กๅ็ฑป),ๅฉ็็ธๅ ณ่ ่ฎฟ่ฐ(ๆทฑๅ ฅไบ่งฃๅฉ็็ธๅ ณ่ ็่ง็นๅๆๆ)ๅ่ฐๆฅ้ฎๅท(ๆถ้ๅฉ็็ธๅ ณ่ ็ๅ้ฆๅๆ่ง).ๅฉ็็ธๅ ณ่ ๅๆ็็ปๆ่ฏๅซๅ ณ้ฎๅฉ็็ธๅ ณ่ ๅไผๅ ๅ ณๆณจ็้ๆฑๅๆๆ,ๆๅฏผ่ตๆบๅ้ ๅๆฒ้็ญ็ฅ็ๅถๅฎ.ๅฉ็็ธๅ ณ่ ๅๆ้่ฆๅฎข่งๅๆ็ปญ,้ฟๅ ไธป่งๅคๆญๅๅ่ง.
ๅฉ็็ธๅ ณ่ ๆฒ้ๅๅไธๆฏๅปบ็ซไฟกไปปๅๅ ฑ่ตขๅ ณ็ณป็ๅ ณ้ฎ.ๆฒ้็ญ็ฅๆ นๆฎๅฉ็็ธๅ ณ่ ็็น็นๅๆๆ,่ฎพ่ฎกๅทฎๅผๅ็ๆฒ้ๅ ๅฎน,ๆธ ้ๅ้ข็.ๆฒ้ๅ ๅฎน้่ฆ้ๆ,ๅๆถๅๅ็กฎ,ๆปก่ถณๅฉ็็ธๅ ณ่ ็ไฟกๆฏ้ๆฑ.ๆฒ้ๆธ ้ๅ ๆฌๆญฃๅผๆธ ้(ๆฅๅ,ไผ่ฎฎ,ๆฐ้ป็จฟ)ๅ้ๆญฃๅผๆธ ้(็คพไบคๅชไฝ,้ฎไปถ,้ขๅฏน้ขไบคๆต).ๅฉ็็ธๅ ณ่ ๅไธ้่ฟๅจ่ฏข,ๅไฝๅไผไผดๅ ณ็ณป,้่ฏทๅฉ็็ธๅ ณ่ ๅไธ็ป็ป็ๅณ็ญๅๆดปๅจ,ๅขๅผบๅฉ็็ธๅ ณ่ ็ๅไธๆๅ่ฎคๅๆ.ๆฐๅญๅๅฉ็็ธๅ ณ่ ็ฎก็ๆฏๆ็ป็ปๅจ็คพไผ่ดฃไปป,ๅฏๆ็ปญๅๅฑๅๅฃฐ่ช็ฎก็ๆน้ข็็ฎๆ .
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