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芯片制造中的外延生长与薄膜沉积技术
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2. CMPๆๆฏไธๅทฅ่บไผๅ
CMPๆๆฏไธๅทฅ่บไผๅใCMPๅ็๏ผๅๅญฆๅๅบ๏ผๅๅญฆ่ ่็ไฝ็จ๏ผ๏ผๆบๆขฐ็ ็ฃจ๏ผๆบๆขฐๅป้ค็ไฝ็จ๏ผ๏ผๅๅญฆๅๆบๆขฐ็ๅๅใCMPๅทฅ่บไผๅ๏ผ็ ็ฃจๆถฒ็้ๆฉๅไผๅ๏ผ็ ็ฃจๅซ็ไผๅ๏ผๅทฅ่บๅๆฐ็ไผๅ๏ผๅๅใ่ฝฌ้ใๆธฉๅบฆ๏ผใ็ผบ้ทๆงๅถ๏ผ้ข็ฒ็ผบ้ท็ๆงๅถ๏ผๅฎ็ๅๅน้ท็ๅๅฐ๏ผCMPๅๆธ ๆด็ไผๅใ
3. CMPๆๆฏ็ๆชๆฅ่ถๅฟ
CMPๆๆฏ็ๆชๆฅ่ถๅฟใๆฐๆๆๅๆฐๅทฅ่บ๏ผๆฐๅ็ ็ฃจๆถฒๅ็ ็ฃจๅซ็ๅผๅ๏ผๅ ่ฟๆๆ็CMPๅทฅ่บ๏ผCMPๅทฅ่บ็ๆบ่ฝๅๅ่ชๅจๅใCMP็็ๆตๅๆงๅถ๏ผๅฎๆถ็ๆตCMPๅทฅ่บ็ถๆ๏ผAI้ฉฑๅจ็CMPไผๅ๏ผCMPๅทฅ่บ็่ชๅจๆงๅถใCMP็่ฏ็ๆๅ๏ผCMP็ผบ้ท็ๅๅฐ๏ผCMPๅทฅ่บ็็จณๅฎๆงๅๅฏ้ๅคๆง๏ผCMPไธๆดไฝๅทฅ่บ็้ๆใCMPๆฏ"่ฏ็ๅนณๅฆๅ็็ฒพๅฏๅทฅ็จ"โโ้่ฟCMPๆๆฏๅๅทฅ่บ็ไผๅ๏ผๅฎ็ฐๆถๅ่กจ้ข็้ซ็ฒพๅบฆๅนณๅฆๅใ
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