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2. ๆ นๆฎๆฟ้ด้ข็งฏ้ๆฉๅ้็ๆบๅ
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3. ๆ ธๅฟๆๆฏ๏ผHEPAๆปค็ฝไธๆดปๆง็ญๆปค็ฝ
็ฎๅๅธ้ขไธไธปๆต็ฉบๆฐๅๅๅจ้็จๅคๅฑ่ฟๆปคๆๆฏใๆๆ ธๅฟ็ๆฏHEPA๏ผ้ซๆ็ฉบๆฐ้ข็ฒ็ฉ๏ผๆปค็ฝ๏ผ่ฝๅค่ฟๆปค99.97%ไปฅไธ็ดๅพไธบ0.3ๅพฎ็ฑณ็ๆฌๆตฎ้ข็ฒ๏ผๅ ๆฌPM2.5ใ่ฑ็ฒใๅฐ่จๅ็ป่็ญใๆดปๆง็ญๆปค็ฝๅไธ้จๅธ้็ฒ้ใ่ฏใTVOC็ญๆฐๆๆฑกๆ็ฉๅๅผๅณใไธไบ้ซ็ซฏๆบๅ่ฟ้ ๅค็ดซๅค็บฟUVๆ่ใ่ด็ฆปๅญๅ็ๅๅ ่งฆๅชๅ่งฃ็ญ้ๅ ๅ่ฝใ่ดญไนฐๆถๅบไผๅ ้ๆฉๅธฆๆ็ๆญฃHEPAๆปค็ฝๅ่ถณ้ๆดปๆง็ญ็ๅๅท๏ผไธค่ ็ปๅๆ่ฝๅ จ้ขๅๅ็ฉบๆฐใ
4. ๅช้ณๅ่ฝ่ไนๆฏๅ ณ้ฎ่้
็ฉบๆฐๅๅๅจ้ๅธธ้่ฆ้ฟๆถ้ด่ฟ่ก๏ผๅ ๆญคๅช้ณๆฐดๅนณๅ่ฝ่ๆ็่ณๅ ณ้่ฆใ็ฝๅคฉไฝฟ็จๆถๅช้ณๅจ50dBไปฅไธๅบๆฌไธๅฝฑๅๆญฃๅธธๆดปๅจ๏ผ่ๅค้ด็ก็ ๆจกๅผๅ้่ฆไฝไบ30dBๆ่ฝไฟ่ฏๅฎ้่้็็ก็ ็ฏๅขใ้่ดญๆถๆณจๆไบงๅๆ ็คบ็ๆๅฐๅๆๅคงๅช้ณๅผใ่ฝๆๆน้ข๏ผๅ ทๆๅ้ขๆๆฏ็ๆบๅๅฏๆ นๆฎ็ฉบๆฐ่ดจ้่ชๅจ่ฐ่ๅ็๏ผๆฏไผ ็ปๅฎ้ขๆบๅ่่ฝ30%-50%ใ้ฟๆไฝฟ็จไธๆฅ๏ผ่่ฝๆบๅ่ฝๆพ่่็็ต่ดนๅผๆฏ๏ผๆด็ปๆต็ฏไฟใ
5. ๅ็ไฟก่ชไธๅฎๅๆๅก
ๅธๅบไธๆ่ฎธๅค็ฅๅ็็ฉบๆฐๅๅๅจๅ็๏ผๅ ๆฌๅฐ็ฑณใ้ฃๅฉๆตฆใๅคๆฎใๆพไธใๆดๆฃฎๅIQAir็ญใไธๅๅ็็ไบงๅๅจๆๆฏ่ทฏ็บฟใ่ฎพ่ฎก้ฃๆ ผๅไปทๆ ผๅบ้ดไธๅๆ็น่ฒใ็ฅๅๅ็้ๅธธๅจๆปค็ฝ่ดจ้ใไบงๅ่็จๆงๅ็จๆทไฝ้ชไธๆดๆไฟ้ใ่ดญไนฐๆถๅบๅ ณๆณจไฟไฟฎๆ้ใๆปค็ฝๆดๆขๆๆฌใๅฎๅๆๅก็ฝ็ป่ฆ็่ๅด็ญๅ ็ด ใๅปบ่ฎฎ้ๆฉๆปค็ฝๅฎนๆ่ดญไนฐใๆดๆขๆๆฌๅ็็ไบงๅ๏ผๅ ไธบๆปค็ฝๆฏ้ฟๆไฝฟ็จไธญ็ๆ็ปญๆงๆๅ ฅใๅฎ็ฝๆณจๅไบงๅๅฏ่ทๅพๆดๅฎๅ็ๅฎๅๆฏๆใ
6. ๆปค็ฝๆดๆขไธๆฅๅธธ็ปดๆค
็ฉบๆฐๅๅๅจ็ๅๅๆๆ็ดๆฅไพ่ตไบๆปค็ฝ็็ถๆ๏ผๅ ๆญคๅฎๆ็ปดๆคๆไธบ้่ฆใๅๆๆปค็ฝๅปบ่ฎฎๆฏ1-2ไธชๆๆธ ๆดไธๆฌก๏ผๅฏ็จๅธๅฐๅจๆธ ็่กจ้ข็ฐๅฐๆ็จๆฐดๅฒๆดๆพๅนฒๅ้ๅคไฝฟ็จใHEPAๆปค็ฝๅๆดปๆง็ญๆปค็ฝไธ่ฝๆธ ๆด๏ผ้่ฆๅฎๆๆดๆข๏ผ้ๅธธ6-12ไธชๆๆดๆขไธๆฌก๏ผๅ ทไฝๅๅณไบไฝฟ็จ้ข็ๅ็ฉบๆฐ่ดจ้ใๅคๆฐๆบๅจไผๆๆดๆขๆ็คบ็ฏๆ็คบใๅๆถ๏ผไฟๆๆบๅจ่ฟ้ฃๅฃๅๅบ้ฃๅฃ้็ ๏ผๅจๅดไธ่ฆๅ ๆพ็ฉๅ๏ผๅฎๆๆฆๆญๆบ่บซ่กจ้ข๏ผ่ฟไบๆฅๅธธ็ปดๆคๆชๆฝ่ฝๆๆๅปถ้ฟ่ฎพๅคไฝฟ็จๅฏฟๅฝใ
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้่ดญ็ฉบๆฐๅๅๅจๅนถ้่ถ่ดต่ถๅฅฝ๏ผๅ ณ้ฎๆฏๆพๅฐๆ้ๅ่ชๅทฑๅฎถๅบญ้ๆฑ็ไบงๅใๅปบ่ฎฎๆ็กฎไฝฟ็จๅบๆฏใๆต้ๆฟ้ด้ข็งฏใ่ฎพๅฎ้ข็ฎ่ๅด๏ผ็ถๅๅฏนๆฏๅๅ็ๅไปทไฝไบงๅ็CADRๅผใๆปค็ฝ้ ็ฝฎๅๅช้ณๆฐดๅนณใ็บฟไธ่ดญไนฐๅฏไปฅๅคๅ่็จๆท่ฏไปทๅไธไธ่ฏๆต๏ผ็บฟไธไฝ้ชๅฏไบฒ่ชๆๅๆบๅจๅช้ณๅๆไฝไพฟๆทๆงใไธๅฐไผ็ง็็ฉบๆฐๅๅๅจๆฏๅฏนๅ จๅฎถๅฅๅบท็้่ฆๆ่ต๏ผๅผๅพ่ฎค็ๆ้ใๅธๆไปฅไธๅปบ่ฎฎ่ฝๅธฎๅฉๆจ้่ดญๅฐๆปกๆ็็ฉบๆฐๅๅๅจ๏ผ่ฎฉๅฎถไบบๅจๆธ ๆฐ็็ฉบๆฐไธญๅฅๅบท็ๆดปใ
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ๅๅฏผไฝ่ฏ็ๆฏๆๆ็ตๅญ่ฎพๅค็ๆ ธๅฟ๏ผไปๆบ่ฝๆๆบๅฐๆๅกๅจใไปๆฑฝ่ฝฆๅฐ่ชๅคฉๅจใ่ฏ็ๅถ้ ่ขซ่ฎคไธบๆฏไบบ็ฑปๆๅคๆ็ๅถ้ ๅทฅ่บไนไธ๏ผๆถๅๆฐ็พไธช็ฒพๅฏๆญฅ้ชคใๅ จ็ๅๅฏผไฝไบงไธๅนดไบงๅผ่ถ ่ฟ6000ไบฟ็พๅ ๏ผๆฏๆ็ไปทๅผๆฐไธไบฟ็พๅ ็็ตๅญไฟกๆฏไบงไธใ็่งฃ่ฏ็ๅถ้ ๆต็จ๏ผๅฐฑ่ฝ็่งฃ็ฐไปฃ็งๆ็ๅบ็กใ
2. ็ก ๆถๅ็ๅถๅค๏ผไธๅไปๆฒๅญๅผๅง
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3. ๅ ๅปๆๆฏ๏ผๅจๆถๅไธ"ๅฐๅท"็ต่ทฏ
ๅ ๅปๆฏ่ฏ็ๅถ้ ๆๆ ธๅฟ็ๆญฅ้ชค๏ผ็ธๅฝไบๅจๆถๅไธ"ๅฐๅท"็บณ็ฑณ็บง็็ต่ทฏๅพๆกใๅ ๅป่ถๅๅๆถๅธๅจๆถๅ่กจ้ข๏ผ้่ฟๆฉ่็๏ผ่ฎพ่ฎกๅฅฝ็็ต่ทฏๅพๆก๏ผ็จ็ดซๅค็บฟๆๆ็ดซๅคๅ ๏ผEUV๏ผๆๅ ใๆๅ ๅบๅ็ๅ ๅป่ถๅ็ๅๅญฆๅๅ๏ผๆพๅฝฑๅๅฝขๆ็ต่ทฏๅพๆกใEUVๅ ๅปไฝฟ็จ13.5nmๆณข้ฟ็ๅ ๆบ๏ผๆฏ็ฎๅๆๅ ่ฟ็ๆๆฏ๏ผๅๅฐEUVๅ ๅปๆบไปทๅผ่ถ ่ฟ1.5ไบฟ็พๅ ใ
4. ่ๅปๅๆฒ็งฏ๏ผๆๅปบๆถไฝ็ฎก็ปๆ
่ๅปๆญฅ้ชคๅฐๅ ๅปๅพๆก่ฝฌ็งปๅฐๆถๅ่กจ้ขใๅฉ็จ็ญ็ฆปๅญไฝๆๅๅญฆๆบถๆถฒๅป้คๆช่ขซไฟๆค็ๆๆ๏ผๅฝขๆๆฒๆงฝๅๅญๆดใๆฒ็งฏๆญฅ้ชค้่ฟๅๅญฆๆฐ็ธๆฒ็งฏ๏ผCVD๏ผๆ็ฉ็ๆฐ็ธๆฒ็งฏ๏ผPVD๏ผๅจๆถๅ่กจ้ข็้ฟ่่ๅฑ๏ผๅ ๆฌ็ป็ผๅฑใๅฏผ็ตๅฑๅๅๅฏผไฝๅฑใ่ๅปๅๆฒ็งฏไบคๆฟ่ฟ่กๆฐๅๆฌก๏ผ้ๅฑๆๅปบๆถไฝ็ฎก็็ซไฝ็ปๆใ
5. ๆบๆๅ้็ซ๏ผ่ตไบ็ก ๅฏผ็ต็นๆง
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