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芯片制造中的极紫外光刻EUV技术与突破
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ๆฐๅญ็ๆณๆฏๅบไบๅพช่ฏๅปๅญฆ็ๆฐๅญๅๅนฒ้ขๆนๆก,้่ฟ่ฝฏไปถๅบ็จๅๆฐๅญๅนณๅฐ้ข้ฒ,็ฎก็ๅๆฒป็็พ็ ,ไธบๆฃ่ ๆไพๆฐ็ๆฒป็้ๆฉ.ๆฐๅญ็ๆณไธไผ ็ป่ฏ็ฉ็ๆณไธๅ,ๅฎๅฉ็จๆฐๅญๆๆฏๆนๅๆฃ่ ็่กไธบ,่ฎค็ฅๅ็็่ฟ็จ,่พพๅฐๆฒป็ๆๆ.ๅจๅฟ็ๅฅๅบท้ขๅ,ๆฐๅญ็ๆณๅทฒ็ป่ฏๆๅฏนๆ้็,็ฆ่็,ๅคฑ็ ๅๆ็พ่กไธบ็ญๆๆพ่็ๆ.่ฎค็ฅ่กไธบ็ๆณ็ๆฐๅญๅๅบ็จ้่ฟ็ปๆๅ็่ฏพ็จ,ไบๅจ็ปไน ๅๅฎๆถๅ้ฆ,ๅธฎๅฉๆฃ่ ๆนๅ่ดๆงๆ็ปดๅ่กไธบๆจกๅผ,ๆ้ซ่ชๆ็ฎก็่ฝๅ.
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