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芯片制造工艺从微米到纳米的技术突破
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้ไบ่็ไฟกๅทไผ ่พไผๅใไฟกๅทๅฎๆดๆงไผๅ๏ผ้ปๆๆงๅถ๏ผไผ ่พ็บฟ็้ปๆๅน้ ๏ผ๏ผไธฒๆฐๆงๅถ๏ผไฟกๅทไน้ด็ๅนฒๆฐๆๅถ๏ผ๏ผไฟกๅทๅปถ่ฟไผๅ๏ผๅปถ่ฟ็้ไฝ๏ผใๅ่ไผๅ๏ผไผ ่พ็บฟ็ตๅฎน็้ไฝ๏ผไฟกๅทๆๅน ็ไผๅ๏ผๅ่ไธๆง่ฝ็ๅนณ่กกใๅฏ้ ๆงไผๅ๏ผ็ต่ฟ็งป็้ข้ฒ๏ผ็ตๆตๅฏๅบฆ็ๆงๅถ๏ผ๏ผๅบๅ็ฎก็็ไผๅ๏ผ็ญๅบๅๅๆบๆขฐๅบๅ๏ผ๏ผCMP็ไผๅ๏ผๅนณๅฆๅบฆๅ็ผบ้ทๆงๅถ๏ผใ
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้ไบ่็ๆชๆฅ่ถๅฟใๆฐๆๆ็ๆข็ดข๏ผCoใRu็ญๆฐๆๆ็ๅบ็จ๏ผๅ ไบ่ฟ็ๆข็ดข๏ผๅ ๅญไบ่๏ผ๏ผ3Dๅ ๅ ็ไบ่ฟ๏ผTSVๅHybrid Bonding๏ผใไบ่ฟๆง่ฝ็ๆ็ปญๆๅ๏ผๆดไฝ็็ต้ป็๏ผๆดไฝ็็ตๅฎน๏ผๆด้ซ็ไฟกๅท้ๅบฆใไบ่ฟๅฏ้ ๆง็ๆๅ๏ผ็ต่ฟ็งปๆๆง็ๅขๅผบ๏ผๅบๅ็ฎก็็ไผๅ๏ผ็ผบ้ทๆงๅถ็ๆๅใ้ไบ่ๆฏ"่ฏ็็ไฟกๅท้ซ้ๅ ฌ่ทฏ"โโ้ไบ่ฟๆๆฏ็ๆ็ปญไผๅ๏ผ็กฎไฟ่ฏ็ๅ ้จ้ซ้ไฟกๅท็ๅฏ้ ไผ ่พใ
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