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芯片可靠性测试与寿命预测方法

1. ่Šฏ็‰‡ๅˆถ้€ ๅทฅ่‰บ็š„ๆผ”่ฟ›ๅކ็จ‹

่Šฏ็‰‡ๅˆถ้€ ๅทฅ่‰บไปŽๅพฎ็ฑณๆ—ถไปฃๅˆฐ็บณ็ฑณๆ—ถไปฃ็š„ๆผ”่ฟ›ๆ˜ฏ็Žฐไปฃ็ง‘ๆŠ€ๅ‘ๅฑ•็š„็ผฉๅฝฑ๏ผŒๆฏไธ€ๆฌกๅทฅ่‰บ็ช็ ด้ƒฝๅธฆๆฅไบ†ๆ€ง่ƒฝ็š„ๅคงๅน…ๆๅ‡ๅ’Œๆˆๆœฌ็š„ๅคงๅน…ไธ‹้™ใ€‚ๅพฎ็ฑณๆ—ถไปฃ๏ผˆ1970-2000ๅนดไปฃ๏ผ‰๏ผšๅทฅ่‰บๅฐบๅฏธไปŽ10ๅพฎ็ฑณๆผ”่ฟ›ๅˆฐ0.18ๅพฎ็ฑณ๏ผ›ๅ…‰ๅˆปๆŠ€ๆœฏไปŽๅฏ่งๅ…‰ๅˆฐ็ดซๅค–ๅ…‰๏ผ›่Šฏ็‰‡้›†ๆˆ็š„ๆ™ถไฝ“็ฎกๆ•ฐ้‡ไปŽๆ•ฐๅƒๅˆฐๆ•ฐ็™พไธ‡ใ€‚็บณ็ฑณๆ—ถไปฃ็š„ๅผ€ๅฏ๏ผˆ2000-2010ๅนดไปฃ๏ผ‰๏ผšๅทฅ่‰บๅฐบๅฏธ่ฟ›ๅ…ฅ็บณ็ฑณ็บงๅˆซ๏ผˆ130nmใ€90nmใ€65nmใ€45nm๏ผ‰๏ผ›้“œไบ’่ฟžๆŠ€ๆœฏๆ›ฟไปฃ้“ไบ’่ฟž๏ผ›ๅบ”ๅ˜็ก…ๆŠ€ๆœฏๆๅ‡่ฝฝๆตๅญ่ฟ็งป็އใ€‚FinFETๆ—ถไปฃ็š„ๅˆฐๆฅ๏ผˆ2011ๅนด่‡ณไปŠ๏ผ‰๏ผšIntel็š„22nm FinFETๆŠ€ๆœฏๅผ€ๅฏ3Dๆ™ถไฝ“็ฎกๆ—ถไปฃ๏ผ›FinFET่งฃๅ†ณไบ†ๅนณ้ขๆ™ถไฝ“็ฎกๅœจ22nmไปฅไธ‹็š„ๆ€ง่ƒฝ้—ฎ้ข˜๏ผ›ๅฐ็งฏ็”ตๅ’Œไธ‰ๆ˜Ÿ็š„FinFETๆŠ€ๆœฏๆŒ็ปญๆผ”่ฟ›ใ€‚ๅˆถ้€ ๅทฅ่‰บ็š„ๆฏไธ€ๆฌก็ช็ ด้ƒฝ้ตๅพช็€"ๆ‘ฉๅฐ”ๅฎšๅพ‹"็š„่Š‚ๅฅ๏ผŒ่™ฝ็„ถๆ‘ฉๅฐ”ๅฎšๅพ‹็š„่Š‚ๅฅๅœจๆ”พ็ผ“๏ผŒไฝ†ๅทฅ่‰บๅˆ›ๆ–ฐ็š„ๆญฅไผไปŽๆœชๅœๆญขใ€‚

2. ๅฝ“ๅ‰ๆœ€ๅ…ˆ่ฟ›่Šฏ็‰‡ๅˆถ้€ ๅทฅ่‰บ

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3. ่Šฏ็‰‡ๅˆถ้€ ๅทฅ่‰บ็š„ๆœชๆฅ่ถ‹ๅŠฟ

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ใ€–Twoใ€—ใ€ๆŠ€ๆœฏๅ‰–ๆž๏ผšๆทฑๅ…ฅ่งฃๆž็”ตๅŒ–ๅญฆ/็บขๅค–ไผ ๆ„Ÿๅ™จๅœจๅค„็†ๆŒฅๅ‘ๆ€งๆฐ”ไฝ“ๆ—ถ็š„ไบคๅ‰ๅนฒๆ‰ฐไธŽ็บฟๆ€งๅ“ๅบ”็‰นๆ€ง๏ผŒๅˆ†ๆž้˜ฒ็ˆ†ๅค–ๅฃณๅฏนไผ ๆ„Ÿๅ™จๅ“ๅบ”้€Ÿๅบฆ็š„ๅฝฑๅ“๏ผŒไปฅๅŠ่‡ชๅŠจๆ กๅ‡†ๆŠ€ๆœฏ็š„ๅทฅ็จ‹ๅฎž็Žฐใ€‚
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