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1. ่ฏ็ๅถ้ ๅทฅ่บ็ๆผ่ฟๅ็จ
่ฏ็ๅถ้ ๅทฅ่บไปๅพฎ็ฑณๆถไปฃๅฐ็บณ็ฑณๆถไปฃ็ๆผ่ฟๆฏ็ฐไปฃ็งๆๅๅฑ็็ผฉๅฝฑ๏ผๆฏไธๆฌกๅทฅ่บ็ช็ ด้ฝๅธฆๆฅไบๆง่ฝ็ๅคงๅน ๆๅๅๆๆฌ็ๅคงๅน ไธ้ใๅพฎ็ฑณๆถไปฃ๏ผ1970-2000ๅนดไปฃ๏ผ๏ผๅทฅ่บๅฐบๅฏธไป10ๅพฎ็ฑณๆผ่ฟๅฐ0.18ๅพฎ็ฑณ๏ผๅ ๅปๆๆฏไปๅฏ่งๅ ๅฐ็ดซๅคๅ ๏ผ่ฏ็้ๆ็ๆถไฝ็ฎกๆฐ้ไปๆฐๅๅฐๆฐ็พไธใ็บณ็ฑณๆถไปฃ็ๅผๅฏ๏ผ2000-2010ๅนดไปฃ๏ผ๏ผๅทฅ่บๅฐบๅฏธ่ฟๅ ฅ็บณ็ฑณ็บงๅซ๏ผ130nmใ90nmใ65nmใ45nm๏ผ๏ผ้ไบ่ฟๆๆฏๆฟไปฃ้ไบ่ฟ๏ผๅบๅ็ก ๆๆฏๆๅ่ฝฝๆตๅญ่ฟ็งป็ใFinFETๆถไปฃ็ๅฐๆฅ๏ผ2011ๅนด่ณไป๏ผ๏ผIntel็22nm FinFETๆๆฏๅผๅฏ3Dๆถไฝ็ฎกๆถไปฃ๏ผFinFET่งฃๅณไบๅนณ้ขๆถไฝ็ฎกๅจ22nmไปฅไธ็ๆง่ฝ้ฎ้ข๏ผๅฐ็งฏ็ตๅไธๆ็FinFETๆๆฏๆ็ปญๆผ่ฟใๅถ้ ๅทฅ่บ็ๆฏไธๆฌก็ช็ ด้ฝ้ตๅพช็"ๆฉๅฐๅฎๅพ"็่ๅฅ๏ผ่ฝ็ถๆฉๅฐๅฎๅพ็่ๅฅๅจๆพ็ผ๏ผไฝๅทฅ่บๅๆฐ็ๆญฅไผไปๆชๅๆญขใ
2. ๅฝๅๆๅ ่ฟ่ฏ็ๅถ้ ๅทฅ่บ
ๅฝๅๆๅ ่ฟ็่ฏ็ๅถ้ ๅทฅ่บๅทฒ็ป่ฟๅ ฅ3nmๅ2nmๆถไปฃ๏ผๅฐ็งฏ็ตใไธๆๅIntelๆฏไธป่ฆ็ๆๆฏ้ขๅฏผ่ ใๅฐ็งฏ็ต็3nmๅทฅ่บ๏ผN3ๅทฅ่บๅทฒ็ป้ไบง๏ผ็ธๆฏ5nmๆง่ฝๆๅ10-15%๏ผๅ่้ไฝ25-30%๏ผN3Eๅขๅผบ็ๆๅๆง่ฝๅ็ไบงๆ็๏ผN3P่ฟไธๆญฅๆๅๆง่ฝใไธๆ็3nmๅทฅ่บ๏ผ้็จGAA๏ผGate-All-Around๏ผๆถไฝ็ฎก็ปๆ๏ผไธๆ็งฐไธบMBCFET๏ผ๏ผ็ธๆฏFinFETๆๆดๅฅฝ็ๆง่ฝๅ่ฝๆ๏ผ3nm GAAP๏ผ็ฌฌไธไปฃ๏ผๅทฒ้ไบง๏ผ3nm GAAP2๏ผ็ฌฌไบไปฃ๏ผๅจๅผๅไธญใIntel็ๅทฅ่บ่ทฏ็บฟๅพ๏ผIntel 7๏ผๅ10nm Enhanced SuperFin๏ผๅทฒ้ไบง๏ผIntel 4๏ผๅ7nm๏ผ้็จEUVๅ ๅป๏ผIntel 3๏ผๅ5nm๏ผๅIntel 20A๏ผ2nm๏ผๅจๅผๅไธญ๏ผIntel็"ๅๅนดไบไธช่็น"่ฎกๅ๏ผ2021-2025ๅนดๆจ่ฟไบไธชๅทฅ่บ่็น๏ผใๅ ่ฟๅทฅ่บ็ๆๆ๏ผEUVๅ ๅป็ไบง่ฝๅๆๆฌ๏ผๆถไฝ็ฎกๅฏๅบฆ็็ฉ็ๆ้๏ผๅ่ๅฏๅบฆ็้ฎ้ข๏ผ่ฎพ่ฎกๅๅถ้ ็ๅคๆๅบฆใ
3. ่ฏ็ๅถ้ ๅทฅ่บ็ๆชๆฅ่ถๅฟ
่ฏ็ๅถ้ ๅทฅ่บ็ๆชๆฅ่ถๅฟๅฐๅด็ปๆฐๆๆใๆฐ็ปๆๅๆฐ่ๅผๅฑๅผใๆฐๆๆ็ๅบ็จ๏ผ2Dๆๆ๏ผ็ณๅขจ็ฏใไบ็กซๅ้ผ๏ผไฝไธบๆฒ้ๆๆ็ๆข็ดข๏ผHigh-NA EUVๅ ๅป๏ผ0.55 NA๏ผ็ๅผๅ ฅ๏ผ่้ขไพ็ต็ฝ็ป๏ผBSPDN๏ผๅๅฐไฟกๅทๅนฒๆฐใๆฐ็ปๆ็ๅๅฑ๏ผCFET๏ผไบ่กฅๅบๆๅบๆถไฝ็ฎก๏ผๅฐNMOSๅPMOSๅ ๅ ๅจไธ่ตท๏ผ3D้ๆๅChiplet๏ผ่ฏ็ๅ ๅ ๅๅผๆ้ๆ๏ผ๏ผๅญๅ ่ฎก็ฎ๏ผๅญๅจๅ่ฎก็ฎ็่ๅ๏ผใๆฐ่ๅผ็ๆข็ดข๏ผ้ๅญ่ฎก็ฎ่ฏ็็ๅถ้ ๏ผๅ ๅญ่ฏ็๏ผๅ ่ฎก็ฎ๏ผ็ๅถ้ ๏ผ็็ฉ่ฏ็ๅDNAๅญๅจใๅถ้ ๅทฅ่บ็ๆชๆฅไธไป ๆฏ"ๆดๅฐ"๏ผๆดๆฏ"ๆดๆบ่ฝ"ๅ"ๆด้ซๆ"โโๅจๆฉๅฐๅฎๅพๆพ็ผ็ๆถไปฃ๏ผๅทฅ่บๅๆฐๅฐๆดๅคไพ่ตๆฐ็ปๆใๆฐๆๆๅๆฐ้ๆๆนๅผ๏ผ็ปง็ปญๆจๅจ่ฎก็ฎ่ฝๅ็ๆๅใ
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[ๆฐๅญๅๅฎขๆทไฝ้ช่ฎพ่ฎก: ไฝ้ช็ๅ้ ๆง่ฎพ่ฎก]
ๆฐๅญๅๅฎขๆทไฝ้ช่ฎพ่ฎกๆฏไปฅ็จๆทไธบไธญๅฟ,ๅ้ ๆๅธๅผๅ,ๆ็จๅๆปก่ถณ็จๆท้ๆฑ็ๆฐๅญไฝ้ช็่ฟ็จ.ๆฐๅญๅๅฎขๆทไฝ้ช่ฎพ่ฎก็ๆ ธๅฟ่ฆ็ด ๅ ๆฌ็จๆท็ ็ฉถ(ไบ่งฃ็จๆท็้ๆฑๅ่กไธบ),ไฟกๆฏๆถๆ(็ป็ปๅ ๅฎนๅๅ่ฝ),ไบคไบ่ฎพ่ฎก(่ฎพ่ฎก็จๆทไธไบงๅ็ไบคไบ),่ง่ง่ฎพ่ฎก(่ฎพ่ฎกไบงๅ็่ง่ง้ฃๆ ผ),ๅฏ็จๆงๆต่ฏ(ๆต่ฏ่ฎพ่ฎก็ๅฏ็จๆง),ไฝ้ชไผๅ(ๆ นๆฎๅ้ฆไผๅ่ฎพ่ฎก).
็จๆท็ ็ฉถๆฏๆฐๅญๅๅฎขๆทไฝ้ช่ฎพ่ฎก็่ตท็น,้่ฟๅฎๆงๅๅฎ้็ ็ฉถๆนๆณๆทฑๅ ฅไบ่งฃ็จๆท็้ๆฑ,่กไธบๅ็็น.็จๆท็ ็ฉถ็ๆนๆณๅ ๆฌ็จๆท่ฎฟ่ฐ(ๆทฑๅ ฅไบ่งฃ็จๆท็็ปๅๅๆๅ),็จๆท่งๅฏ(่งๅฏ็จๆทๅจ่ช็ถๆ ๅขไธ็่กไธบ),้ฎๅท่ฐๆฅ(ๆถ้็จๆท็้ๆฑๅๅ้ฆ),ๅฏ็จๆงๆต่ฏ(่งๅฏ็จๆทไฝฟ็จๅๅ็่กไธบๅ้ฎ้ข).็จๆท็ ็ฉถ็่พๅบๅ ๆฌ็จๆท็ปๅ(ๅ ธๅ็จๆท็ๆ่ฟฐ),็จๆท้ๆฑ(็จๆท็้ๆฑ,็็นๅๆๆ),็จๆทๅบๆฏ(็จๆทไฝฟ็จไบงๅ็ๅ ทไฝๅบๆฏ).็จๆท็ ็ฉถ็็ปๆๆๅฏผๅ็ปญ็ไฟกๆฏๆถๆ,ไบคไบๅ่ง่ง่ฎพ่ฎก.
ไฟกๆฏๆถๆๅไบคไบ่ฎพ่ฎกๆฏๆฐๅญๅๅฎขๆทไฝ้ช่ฎพ่ฎก็ๆ ธๅฟ,ๅฎไนๅ ๅฎน็็ป็ปๅ็จๆทไธไบงๅ็ไบคไบๆนๅผ.ไฟกๆฏๆถๆๅ ๆฌๅ ๅฎน็ๅ็ฑป,ๅฏผ่ชๅๆ็ดข่ฎพ่ฎก,็กฎไฟ็จๆท่ฝๆนไพฟๅฐๆพๅฐๆ้็ไฟกๆฏๅๅ่ฝ.ไฟกๆฏๆถๆ็ๆนๆณๅ ๆฌๅก็ๅ็ฑป(็จๆทๅไธๅ ๅฎน็ๅ็ฑปๅๅฝๅ),ๆ ๆต่ฏ(ๆต่ฏไฟกๆฏๆถๆ็ๅฏๆพๆง).ไบคไบ่ฎพ่ฎกๅฎไน็จๆทไธไบงๅ็ไบคไบๆต็จ(ๅฆ็จๆทๅฆไฝๅฎๆไปปๅก),ไบคไบๅ้ฆ(ๆไฝๅ็ๅ้ฆ),ไบคไบ่ง่(ๅฆๆ้ฎ,่กจๅ,ๅฏผ่ช็่ฎพ่ฎก่ง่).ไบคไบ่ฎพ่ฎก็ๅทฅๅ ทๅ ๆฌ็บฟๆกๅพ(ๅธๅฑๅ็ปๆ็่ๅพ),ไบคไบๅๅ(ๅฏไบคไบ็ๆจกๅ),็จๆทๆต็จ(็จๆทๅฎๆไปปๅก็ๆต็จๅพ).
่ง่ง่ฎพ่ฎกๅๅฏ็จๆงๆต่ฏๆฏๆฐๅญๅๅฎขๆทไฝ้ช่ฎพ่ฎก็่ง่ง้ช่ฏ.่ง่ง่ฎพ่ฎก็กฎๅฎไบงๅ็่ง่ง้ฃๆ ผ,ๅ ๆฌ่ฒๅฝฉ,ๆ็,ๅพๆ ,ๅพๅ,็ฉบ้ด,ๅปบ็ซๅ็ไธ่ดๆงๅ่ง่งๅธๅผๅ.่ง่ง่ฎพ่ฎก้่ฆ็ฌฆๅๅ็ๆๅๅ็จๆทๅๅฅฝ,ๅ้ ๆๆฆๅไธ่ด็็จๆทไฝ้ช.ๅฏ็จๆงๆต่ฏ้่ฟ่ฎฉ็จๆทไฝฟ็จไบงๅๅๅ,่งๅฏ็จๆท็ไฝฟ็จ่กไธบๅ้ฎ้ข,่ฏไผฐ่ฎพ่ฎก็ๅฏ็จๆงๅ็จๆทไฝ้ช.ๅฏ็จๆงๆต่ฏ็ๆนๆณๅ ๆฌๅฎ้ชๅฎคๆต่ฏ(ๅจๆงๅถ็ฏๅขไธญๆต่ฏ),่ฟ็จๆต่ฏ(้่ฟ็บฟไธๅทฅๅ ท่ฟ็จๆต่ฏ),A/Bๆต่ฏ(ๆต่ฏไธๅ่ฎพ่ฎกๆนๆก็ๆๆ).ๅฏ็จๆงๆต่ฏ็็ปๆ่ฏๅซ่ฎพ่ฎก้ฎ้ขๅๆน่ฟๆบไผ,ๆๅฏผ่ฎพ่ฎก็่ฟญไปฃไผๅ.ๆฐๅญๅๅฎขๆทไฝ้ช่ฎพ่ฎกๆฏไบงๅๆๅ็ๅ ณ้ฎ,้่ฟ็จๆทไธญๅฟ็่ฎพ่ฎก,ๅ้ ๆๅธๅผๅ,ๆ็จๅๆปก่ถณ็จๆท้ๆฑ็ไบงๅไฝ้ช.
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