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็พๅบฆๆขๆๅๅทฅๅ ท
1. ๅๅฏผไฝ่ฏ็๏ผ็ฐไปฃ็งๆ็ๅบ็ณ
ๅๅฏผไฝ่ฏ็ๆฏๆๆ็ตๅญ่ฎพๅค็ๆ ธๅฟ๏ผไปๆบ่ฝๆๆบๅฐๆๅกๅจใไปๆฑฝ่ฝฆๅฐ่ชๅคฉๅจใ่ฏ็ๅถ้ ่ขซ่ฎคไธบๆฏไบบ็ฑปๆๅคๆ็ๅถ้ ๅทฅ่บไนไธ๏ผๆถๅๆฐ็พไธช็ฒพๅฏๆญฅ้ชคใๅ จ็ๅๅฏผไฝไบงไธๅนดไบงๅผ่ถ ่ฟ6000ไบฟ็พๅ ๏ผๆฏๆ็ไปทๅผๆฐไธไบฟ็พๅ ็็ตๅญไฟกๆฏไบงไธใ็่งฃ่ฏ็ๅถ้ ๆต็จ๏ผๅฐฑ่ฝ็่งฃ็ฐไปฃ็งๆ็ๅบ็กใ
2. ็ก ๆถๅ็ๅถๅค๏ผไธๅไปๆฒๅญๅผๅง
่ฏ็็ๅๆๆๆฏ็ก ๏ผไปๆฎ้็ณ่ฑ็ ๏ผไบๆฐงๅ็ก ๏ผไธญๆๅใ้่ฟๅๅญฆ่ฟๅๅๆ็บฏ๏ผ่ทๅพ็บฏๅบฆ่พพ99.999999999%๏ผ11ไธช9๏ผ็้ซ็บฏๅบฆๅคๆถ็ก ใ้็จๆดๅฏๆๆฏๅบๆณๅฐๅคๆถ็ก ็่ๅ็ผๆ ขๆๅบ๏ผๅฝขๆๅๆถ็ก ้ญใๅฐ็ก ้ญๅๅฒๆ่็ๅนถๆๅ ๏ผๅพๅฐ็ดๅพ200mmๆ300mm็็ก ๆถๅใๆฏ็ๆถๅไปทๅผๆฐ็พ็พๅ ๏ผๆฏๆดไธช่ฏ็ๅถ้ ็ๅบ็กใ
3. ๅ ๅปๆๆฏ๏ผๅจๆถๅไธ"ๅฐๅท"็ต่ทฏ
ๅ ๅปๆฏ่ฏ็ๅถ้ ๆๆ ธๅฟ็ๆญฅ้ชค๏ผ็ธๅฝไบๅจๆถๅไธ"ๅฐๅท"็บณ็ฑณ็บง็็ต่ทฏๅพๆกใๅ ๅป่ถๅๅๆถๅธๅจๆถๅ่กจ้ข๏ผ้่ฟๆฉ่็๏ผ่ฎพ่ฎกๅฅฝ็็ต่ทฏๅพๆก๏ผ็จ็ดซๅค็บฟๆๆ็ดซๅคๅ ๏ผEUV๏ผๆๅ ใๆๅ ๅบๅ็ๅ ๅป่ถๅ็ๅๅญฆๅๅ๏ผๆพๅฝฑๅๅฝขๆ็ต่ทฏๅพๆกใEUVๅ ๅปไฝฟ็จ13.5nmๆณข้ฟ็ๅ ๆบ๏ผๆฏ็ฎๅๆๅ ่ฟ็ๆๆฏ๏ผๅๅฐEUVๅ ๅปๆบไปทๅผ่ถ ่ฟ1.5ไบฟ็พๅ ใ
4. ่ๅปๅๆฒ็งฏ๏ผๆๅปบๆถไฝ็ฎก็ปๆ
่ๅปๆญฅ้ชคๅฐๅ ๅปๅพๆก่ฝฌ็งปๅฐๆถๅ่กจ้ขใๅฉ็จ็ญ็ฆปๅญไฝๆๅๅญฆๆบถๆถฒๅป้คๆช่ขซไฟๆค็ๆๆ๏ผๅฝขๆๆฒๆงฝๅๅญๆดใๆฒ็งฏๆญฅ้ชค้่ฟๅๅญฆๆฐ็ธๆฒ็งฏ๏ผCVD๏ผๆ็ฉ็ๆฐ็ธๆฒ็งฏ๏ผPVD๏ผๅจๆถๅ่กจ้ข็้ฟ่่ๅฑ๏ผๅ ๆฌ็ป็ผๅฑใๅฏผ็ตๅฑๅๅๅฏผไฝๅฑใ่ๅปๅๆฒ็งฏไบคๆฟ่ฟ่กๆฐๅๆฌก๏ผ้ๅฑๆๅปบๆถไฝ็ฎก็็ซไฝ็ปๆใ
5. ๆบๆๅ้็ซ๏ผ่ตไบ็ก ๅฏผ็ต็นๆง
็บฏ็ก ๆฏ็ป็ผไฝ๏ผ้่ฟๆบๆ๏ผ็ฆปๅญๆณจๅ ฅ๏ผๅผๅ ฅ็นๅฎๆ่ดจๆนๅๅฏผ็ต็นๆงใๆณจๅ ฅ็กผ๏ผPๅๆบๆ๏ผๆ็ฃท๏ผNๅๆบๆ๏ผๅฝขๆPN็ป๏ผ่ฟๆฏๆถไฝ็ฎกๅทฅไฝ็ๅบ็กใ้็ซๅทฅ่บๅ ็ญๆถๅไฟฎๅค็ฆปๅญๆณจๅ ฅ้ ๆ็ๆถๆ ผๆไผค๏ผๆฟๆดปๆบๆๅๅญใๆบๆ็ฒพๅบฆๆงๅถๅจๅๅญ็บงๅซ๏ผๅณๅฎไบๆถไฝ็ฎก็็ตๆง่ฝใ
6. ไบ่ฟๅ้ๅฑๅ๏ผ่ฟๆฅๆฐไบฟๆถไฝ็ฎก
ๆถไฝ็ฎกๅถ้ ๅฎๆๅ๏ผ้่ฆ็จ้ๅฑๅฏผ็บฟๅฐๅฎไปฌ่ฟๆฅ่ตทๆฅๅฝขๆๅฎๆด็ต่ทฏใ้็จ้ๆ้้่ฟ็ฉ็ๆฐ็ธๆฒ็งฏๅ็ต้ๅทฅ่บๅฝขๆไบ่ฟๅฑใ็ฐไปฃ่ฏ็ๅ ๅซ10ๅฑไปฅไธ็้ๅฑไบ่ฟๅฑ๏ผๆฏๅฑไน้ด็จ็ป็ผๆๆ้็ฆปใไบ่ฟ็บฟ็ๅฎฝๅบฆๅทฒ็ผฉๅฐๅฐ10็บณ็ฑณไปฅไธ๏ผ็ธๅฝไบไบบ็ฑปๅคดๅไธ็ไธๅไนไธใ
7. ๆต่ฏๅๅฐ่ฃ ๏ผ่ฏ็็ๆ็ปๆๅ
ๆถๅๅถ้ ๅฎๆๅ๏ผไฝฟ็จๆข้ๅกๅฏนๆฏ้ข่ฏ็่ฟ่ก็ตๆงๆต่ฏ๏ผ็ญ้ๅบๅๆ ผ่ฏ็ใๅฐๆถๅๅๅฒๆ็ฌ็ซ็่ฏ็๏ผๅๆ ผ็่ฏ็่ฟ่กๅฐ่ฃ ๏ผๅบๅฎๅจๅบๆฟไธใ่ฟๆฅๅค้จๅผ่ใๅ ่ฃ ๆฃ็ญ็ใๅฐ่ฃ ไฟๆค่ฏ็ๅ ๅ็ฉ็ๅๅๅญฆๆไผค๏ผๅๆถๆไพ็ตๆฐ่ฟๆฅๅๆฃ็ญ้้ใๆต่ฏๅฐ่ฃ ๅ็่ฏ็ๅๆฌก่ฟ่กๅ่ฝ้ช่ฏ๏ผ็กฎ่ฎคๅๆ ผๅๅบ่ดง็ปๅฎขๆทใ
่่ๆฑ ๆไนๆฅ่ฟ็พไธ
[ๆฐๅญๅๅ็ไผ ๆญ: ๅ็ๆ ไบ็ๆฐๅญๅ่ฎฒ่ฟฐ]
ๆฐๅญๅๅ็ไผ ๆญๆฏๅฉ็จๆฐๅญๆธ ้ๅๅ ๅฎน,่ฎฒ่ฟฐๅ็ๆ ไบ,ไผ ้ๅ็ไปทๅผๅๅปบ็ซๅ็ๆ ๆ่ฟๆฅ็ไผ ๆญๆดปๅจ.ๆฐๅญๅๅ็ไผ ๆญ็ๆ ธๅฟ่ฆ็ด ๅ ๆฌๅ็ๆ ไบ(ๅ็็ไฝฟๅฝ,ๆฟๆฏ,ไปทๅผ่งๅ็ฌ็นๆ ไบ),ๅ ๅฎน็ญ็ฅ(่งๅๅ็ไผ ๆญ็ๅ ๅฎน็ฑปๅ,ไธป้ขๅๅๅธ),ๆธ ้็ญ็ฅ(้ๆฉ้ๅ็ไผ ๆญๆธ ้ๅๅนณๅฐ),ไผ ๆญๆง่ก(ๅถไฝๅๅๅธไผ ๆญๅ ๅฎน),ไผ ๆญ็ๆต(็ๆตไผ ๆญ็ๆๆๅๅ้ฆ)ๅไผ ๆญไผๅ(ๆ นๆฎ็ๆต็ปๆไผๅไผ ๆญ็ญ็ฅ).ๆฐๅญๅๅ็ไผ ๆญๆฏๅ็ๅปบ่ฎพ็ๅ ณ้ฎ,้่ฟๆ็ปญ็ๅ็ไผ ๆญๅปบ็ซๅ็่ฎค็ฅ,ไฟกไปปๅๅฟ ่ฏ.
ๅ็ๆ ไบๆฏๆฐๅญๅๅ็ไผ ๆญ็ๆ ธๅฟๅ ๅฎน,้่ฟ่ฎฒ่ฟฐๅ็็่ตทๆบ,ไฝฟๅฝ,ไปทๅผ่งๅ็ฌ็นไปทๅผ,ไธๅไผๅปบ็ซๆ ๆ่ฟๆฅ.ๅ็ๆ ไบ็่ฆ็ด ๅ ๆฌๅ็่ตทๆบ(ๅ็ๅ็ซ็ๆ ไบๅ่ๆฏ),ๅ็ไฝฟๅฝ(ๅ็ๅญๅจ็็ฎ็ๅไปทๅผ),ๅ็ๆฟๆฏ(ๅ็ๅธๆๅ้ ็ๆชๆฅ),ๅ็ไปทๅผ่ง(ๅ็ๅๆ็ไฟกๅฟตๅๅๅ),ๅ็ไธชๆง(ๅ็็ๆงๆ ผๅ้ฃๆ ผ).ๅ็ๆ ไบ็่ฎฒ่ฟฐ้่ฆ็ๅฎ,ไธ่ดๅๆๅธๅผๅ,้่ฟๆ ไบๅ็ๅ ๅฎนๅๆ ๆๅ็่กจ่พพ,ๆๅจๅไผ็ๅฟ็ต.ๅ็ๆ ไบ็ๅ ๅฎนๅฝขๅผๅ ๆฌๅ็่ง้ข,ๆ็ซ ,ๆญๅฎข,็คพไบคๅชไฝๅธๅญ,ๅนฟๅๅๆดปๅจ.
ๅ ๅฎน็ญ็ฅๅๆธ ้็ญ็ฅๆฏๆฐๅญๅๅ็ไผ ๆญ็่ฎกๅๅๆง่ก.ๅ ๅฎน็ญ็ฅ่งๅๅ็ไผ ๆญ็ๅ ๅฎน็ฑปๅ(ๅฆๆ ไบๆงๅ ๅฎน,ๆ่ฒๆงๅ ๅฎน,ๅจฑไนๆงๅ ๅฎน),ๅ ๅฎนไธป้ข(ๅฆๅ็ๆ ไบ,็จๆทๆ ไบ,่กไธๆดๅฏ),ๅ ๅฎนๅๅธ่ๅฅ(ๅ ๅฎน็ๅๅธ้ข็ๅๆถ้ด).ๆธ ้็ญ็ฅ้ๆฉ้ๅ็ไผ ๆญๆธ ้ๅๅนณๅฐ(ๅฆ็คพไบคๅชไฝ,็ฝ็ซ,ๅๅฎข,่ง้ขๅนณๅฐ,้ฎไปถ),็กฎไฟๅ ๅฎน่ฝ่งฆ่พพ็ฎๆ ๅไผ.ไผ ๆญๆง่ก้่ฟๅ ๅฎนๅถไฝ(ๆๅญ,ๅพๅ,่ง้ข,้ณ้ข)ๅๅ ๅฎนๅๅธ(ๅจๅๆธ ้ๅๅธๅ ๅฎน),ๆง่กไผ ๆญ่ฎกๅ.ไผ ๆญ็ๆต้่ฟๆฐๆฎๅๆๅทฅๅ ท(ๅฆ็คพไบคๅชไฝ็ๆต,็ฝ็ซๅๆ)่ท่ธชไผ ๆญ็่ฆ็,ๅไธๅๆ ๆ,่ฏไผฐไผ ๆญ็ๆๆๅๅฝฑๅ.
ไผ ๆญไผๅๆฏๆฐๅญๅๅ็ไผ ๆญ็ๆ็ปญๆน่ฟ,้่ฟไผ ๆญ็ๆต็ๆฐๆฎๅๅ้ฆ,ไผๅไผ ๆญ็ญ็ฅๅๅ ๅฎน.ไผ ๆญไผๅ็็ปดๅบฆๅ ๆฌๅ ๅฎนไผๅ(ๆ นๆฎๅไผๅ้ฆๅ่กจ็ฐไผๅๅ ๅฎน็ฑปๅๅไธป้ข),ๆธ ้ไผๅ(ๆ นๆฎๆธ ้่กจ็ฐไผๅๆธ ้้ๆฉๅ้ข็ฎๅ้ ),ๆถๆบไผๅ(ๆ นๆฎๅไผๆดป่ทๆถ้ดไผๅๅๅธๆถๆบ),ไบๅจไผๅ(ๆ นๆฎๅไผไบๅจ่กไธบไผๅไบๅจ็ญ็ฅ).ไผ ๆญไผๅ็ๆนๆณๅ ๆฌA/Bๆต่ฏ(ๆต่ฏไธๅๅ ๅฎนๅๆธ ้็ๆๆ),ๅไผๅ้ฆๅๆ(ๅๆๅไผ็่ฏ่ฎบ,้ฎ้ขๅๅปบ่ฎฎ),่ถๅฟๅๆ(ๅๆไผ ๆญ็่ถๅฟๅๅๅ).ๆฐๅญๅๅ็ไผ ๆญๆฏๅ็ไธๅไผๅปบ็ซๆทฑๅบฆ่ฟๆฅ็ๅ ณ้ฎ,้่ฟๆ็ปญ็ไผ ๆญๅๅๆฐ,ๆๅปบๅผบๅคง็ๅ็่ตไบง.
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ฅ่งฃๆไธๅๆๅๅฏน่ฑก๏ผๆ็ขใๅผๅฝขใ้ซ้๏ผไธ็ๅ็ฉๅ้ฆ็ฎๆณใ่งฆ็นๆฉๆฆ็ณปๆฐๅๆซ็ซฏๆฐ่ทฏๆฅๅฃๅ
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ใThreeใใๆกไพ๏ผๆๆง่กๅจๅๅๅๅธ็โๆบๅจไบบ็ฒพๅฏ่ฃ
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