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芯片制造中的光刻掩膜版与图案转移精度
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2. ๅๅธ็ญ็ฅไผๅ็ๅ ณ้ฎ่ฆ็ด
ๅๅธ็ญ็ฅไผๅ็ๅ ณ้ฎ่ฆ็ด ใๅๅธๆถ้ดไผๅ๏ผๅบไบๆฐๆฎๅๆ็กฎๅฎๆไฝณๅๅธๆถ้ด๏ผ็จๆทๆดป่ทๆถๆฎต๏ผ๏ผๆต่ฏไธๅๅๅธๆถ้ด็่กจ็ฐ๏ผA/Bๆต่ฏๅๅธๆถๆบ๏ผ๏ผ่่ไธๅๆถๅบ็็จๆท๏ผๅฝ้ ็จๆท็ๅๅธๆถ้ด๏ผใๅๅธ้ข็ไผๅ๏ผไธๅๅนณๅฐ็ๆไฝณๅๅธ้ข็๏ผๅนณๅฐๅทฎๅผ๏ผ๏ผๅ ๅฎน่ดจ้ๅๅๅธ้ข็็ๅนณ่กก๏ผ่ดจ้ไผๅ ไบๆฐ้๏ผ๏ผๅๅธ้ข็็ๆต่ฏๅไผๅใๅ ๅฎน็ฑปๅไผๅ๏ผไธๅ็ฑปๅๅ ๅฎน็ๅๅธ่ๅฅ๏ผๅพๆใ่ง้ขใ็ดๆญ๏ผ๏ผๅ ๅฎน็ฑปๅ็ๅคๆ ทๅ๏ผไธๅๅฝขๅผๆปก่ถณไธๅ็จๆท๏ผ๏ผๅ ๅฎน็ฑปๅไธๅๅธๅนณๅฐ็ๅน้ ใ
3. ๅๅธๆๆ่ฏไผฐไธ็ญ็ฅ่ฐๆด
ๅๅธๆๆ่ฏไผฐๅ็ญ็ฅ่ฐๆดใ่ฏไผฐๆๆ ๏ผๅ ๅฎน็ๅไธๅบฆ๏ผ็น่ตใ่ฏ่ฎบใๅไบซ๏ผ๏ผๅ ๅฎน็่ง็้๏ผ่ง็ๆฌกๆฐๅๆถ้ฟ๏ผ๏ผๅ ๅฎน็่ฝฌๅๆๆ๏ผ้พๆฅ็นๅปๅ่ฝฌๅ๏ผใๅๆๆนๆณ๏ผไธๅๅๅธๆถ้ด็ๅ ๅฎน่กจ็ฐๅฏนๆฏ๏ผไธๅๅ ๅฎน็ฑปๅ็ๆๆๅฏนๆฏ๏ผไธๅๅนณๅฐ็ๅ ๅฎน่กจ็ฐๅทฎๅผใไผๅ่ฐๆด๏ผๅบไบๆฐๆฎ่ฐๆดๅๅธๆถ้ดๅ้ข็๏ผๅผบๅ้ซ่กจ็ฐๅ ๅฎน็ฑปๅ๏ผไผๅไฝ่กจ็ฐๅ ๅฎนๅๅฝขๅผใๅ ๅฎนๆฅๅๅๅๅธ็ญ็ฅๆฏ"ๅ ๅฎน่ฟ่ฅ็ๆ็ปญไผๅ"โโ้่ฟๆฐๆฎ้ฉฑๅจ็ๅ ๅฎน่งๅๅๅๅธ๏ผๆๅๅ ๅฎน็ไผ ๆญๆๆๅ็จๆทๅไธๅบฆใ
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