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芯片制造中的光刻技术与分辨率突破
1. ๅจๆฟๆธ ๆด๏ผๅฎถๅบญๅซ็็้ไธญไน้
ๅจๆฟๆฏๅฎถไธญไฝฟ็จ้ข็ๆ้ซใๆๅฎนๆๆป็็ป่ๅๆฑกๅข็ๅฐๆนใ็น้ฅชไบง็็ๆฒน็ใๆบ ๅบ็ๆฒนๆธใๅ่็ไธ็้ฃ็ฉๆฎๆธฃใๆฐดๆงฝ็ๆฝฎๆนฟ็ฏๅข้ฝๆฏ็ป่็นๆฎ็ๆธฉๅบใไธไธชไธๆด็ๅจๆฟไธไป ๅฝฑๅ้ฃๆฌฒๅ็น้ฅชๅฟๆ ๏ผๆดไผๅจ่ๅฎถไบบ็้ฅฎ้ฃๅฎๅ จใๅฎๆๆทฑๅบฆๆธ ๆดๅจๆฟ็ไผผ็น็๏ผไฝๅช่ฆๆๆกๆญฃ็กฎ็ๆนๆณๅๆๅทง๏ผๅ ถๅฎ็ๅๅ้ซๆใๆฌๆๆถ้ไบ่ถ ่ฟ20ไธช็ป่ฟ้ช่ฏ็ๅจๆฟๆธ ๆดๅฆๆ๏ผๆถต็ๆฒน็ๆบใ็็ถใๅฐ็ฎฑใ็ค็ฎฑใๆฐดๆงฝใๅพฎๆณข็็ญๆฏไธช่ง่ฝ๏ผๅธฎๅฉๆจ็จๅคฉ็ถๅฎๅ จ็ๆนๅผๆ้ ไธๅฐไธๆ็ๅจๆฟ็ฉบ้ด๏ผไบซๅ็น้ฅช็ไน่ถฃๅ็จ้ค็ๅฎๅฟใ
2. ๆฒน็ๆบๆธ ๆด๏ผๅๅซ้กฝๅบๆฒนๆฑก
ๆฒน็ๆบๆฏๅจๆฟไธญๆ้พๆธ ๆด็้จไปถ๏ผ้ฟๆ็งฏ็ดฏ็ๆฒนๅขๅ้ปๅ็กฌใๅผบๅๅปๆฒน้ ๆน๏ผๅฐๅฐ่ๆๅ็ญๆฐดๆ1:3ๆฏไพๆททๅๆ็ณ็ถ๏ผๆถๆนๅจๆฒนๆฑกๅค๏ผ้็ฝฎ15-20ๅ้ๅ็จๆนฟๆนๅธๆฆๆญ๏ผๆฒนๆฑก่ฝปๆพ่ฑ่ฝใๅฏนไบๆปค็ฝ๏ผๅฏๆไธๆพๅ ฅ็ญๆฐดไธญๅ ๅ ฅๆดๆด็ฒพๅๅฐ่ๆๆตธๆณก30ๅ้๏ผๅ็จๅทๅญ่ฝปๅทๅๅฒๆดๅนฒๅใๆฅๅธธ็ปดๆค๏ผๆฏๆฌก็น้ฅชๅ่ถๆฒน็ๆบ่ฟๆธฉ็ญๆถ๏ผ็จๅจๆฟๆนฟๅทพๆฆๆญ่กจ้ข๏ผๅๅฐๆฒนๅข็งฏ็ดฏใๆฏๆ่ณๅฐๆทฑๅบฆๆธ ๆดไธๆฌกๆฒน็ๆบๅ ้จๅๆปค็ฝ๏ผไฟๆๆ็ๆ็ใๆณจๆๆธ ๆดๅๅ ๆญ็ต๏ผ้ฟๅ ๆธ ๆดๆถๆฐดๅ่ฟๅ ฅ็ตๆบใ
3. ็็ถๅ็ถๅฐ๏ผๅ ๆดๅฆๆฐ็็งๅฏ
็็ถไฝฟ็จ้ข็น๏ผๆฑคๆฑๆบขๅบใๆฒนๆธ้ฃๆบ ่ฎฉ็ถๅฐๅพๅฟซๅ่ใ็ป็้ถ็ท็ถๅฐ๏ผ็ต็ฃ็ใ็ต้ถ็๏ผ๏ผไฝฟ็จไธ็จๅฎๅ่ฝป่ฝป้ฒ้ค็ง็ฆ็ฉ๏ผ็ถๅ็จๆนฟๅธ่ธๅๅฐ้็ฝ้ๆไธ็จๆธ ๆดๅๆฆๆญ๏ผๆๅ็จๅนฒๅธๆๅ ๏ผๅ ๆดๅฆๆฐใ็ๆฐ็ถ็ๆถ๏ผๅไธ็ๆถๅ็ซ็๏ผ็จๆดๆด็ฒพๅ็ญๆฐดๆตธๆณก๏ผ้ ๅ้ขไธ็ๅทๆด๏ผๆณจๆไธ่ฆๆไผค็น็ซ้๏ผใ็ถๅฐ่กจ้ข๏ผ็จไธญๆงๆธ ๆดๅๅๆตท็ปตๆฆๆญ๏ผ้กฝๅบๆฒนๆธๅฏ็จๅฐ่ๆ็ณๆทๅ ๅ้ๅๆฆใๅฐ้ข็ผ้๏ผ็จๆง็ๅท่ธๅๅฐ่ๆ็ฒๅทๆด็ผ้๏ผๅป้ค้่ๆฑกๅขใๆฏๆฌก็น้ฅชๅๅๆถๆฆๆญๅฐ้ข๏ผ้ฒๆญขๆฒนๆธๅบๅ๏ผๆฏไฟๆๆธ ๆดๆ็ฎๅ็็ช้จใ
4. ๅฐ็ฎฑๆธ ๆดๅ้ค่ญ๏ผไฟๆ้ฃๆๆฐ้ฒ
ๅฐ็ฎฑ้ฟๆถ้ดไธๆธ ๆดไผๆไธบ็ป่ๅๅผๅณ็ๆบๅคดใๆธ ๆดๆญฅ้ชค๏ผๆธ ็ฉบๅฐ็ฎฑ๏ผๅๅบๆๆ้ฃ็ฉ๏ผๆฃๆฅ่ฟๆๅ่ดจ็ฉๅใๆไธๅฏๆๅธ้ๆฟๅๆฝๅฑ๏ผ็จๆธฉๆฐดๅไธญๆงๆดๆด็ฒพๆธ ๆด๏ผๆพๅนฒๅๆพๅใ็จๆนฟๅธ่ธๅ็จ้็ฝ้ๆฐด๏ผ1:1๏ผๆฆๆญๅฐ็ฎฑๅ ้จ๏ผๅ ๆฌๅๅฃใๅฏๅฐๆกๅ้จๆๆ๏ผ็ฝ้ๅคฉ็ถๆ่้คๅณใ้ค่ญๅฆๆ๏ผๆพๅ ฅไธ็ขๅฐ่ๆ็ฒใๅ้ขๆ ๆชฌๅ็ใๆไธๅฐๅ ๆดปๆง็ญ๏ผ่ฝๆๆๅธ้ๅผๅณใไฟ้ฒ็ๅบ้จ้บๅจๆฟ็บธๅทพๅธๆถๅคไฝๆฐดๅ๏ผๅปถ้ฟ่ฌ่ไฟ้ฒใๅฎๆ๏ผๆฏ1-2ไธชๆ๏ผๅฝปๅบๆธ ๆดไธๆฌก๏ผๆฏๅจ็ฎๅๆฆๆญไธๆฌก๏ผๅฐ็ฎฑไฟๆๆธ ๆฐๆ ๅผๅณใ
5. ๅพฎๆณข็ๅ็ค็ฎฑ๏ผ่ฝปๆพๅป้ค็ฆๆธ
ๅพฎๆณข็๏ผๅจๅพฎๆณขไธ็จ็ขไธญๅ ๅ ฅไธๆฏๆฐดๅๅ ็ๆ ๆชฌ๏ผๆ2ๅบ็ฝ้๏ผ๏ผๅ ็ญ3-5ๅ้๏ผ่ฎฉ่ธๆฑฝๅ ๆปก่ ๅ ใ่ธๆฑฝ่ฝฏๅๆฑกๅขๅ๏ผ็จๆนฟๅธ่ฝปๆพๆฆๆญๅณๅฏใๆ ๆชฌ่ธๆฑฝ่ฟ่ฝๅป้คๅผๅณใ็ค็ฎฑ๏ผๅถไฝๆธ ๆด็ณ๏ผๅฐ่ๆ+ๆฐด๏ผ3:1๏ผๆททๅๆๅ็ณ๏ผๆถๆนๅจ็ค็ฎฑๅ ๅฃๅ็คๆถไธ๏ผ้็ฝฎ่ฟๅค๏ผ่ณๅฐ4-6ๅฐๆถ๏ผใ็ฌฌไบๅคฉ็จๆนฟๅธๅๅกๆๅฎๅๅป้ค็ณ็ถ็ฉ๏ผ็คๆถๅฏ็จ้ขไธ็ๅทๆด๏ผ็ป็้จไธ็็ฆๆธ็จ็ป็ๆธ ๆดๅๆฆๆญใๆฅๅธธ๏ผๆฏๆฌก็คๅฎ้ฃ็ฉๅ่ถ็ค็ฎฑๆธฉ็ญๅๆถๆฆๆญๆปด่ฝ็ๆฑๆถฒ๏ผ้ฟๅ ็ขณๅๅฝขๆ้กฝๅบ็ฆๆธใๆฏๆไธๆฌกๆทฑๅบฆๆธ ๆด๏ผ็ค็ฎฑๅฏฟๅฝๅไฝฟ็จไฝ้ช้ฝไผๆดๅฅฝใ
6. ๆฐดๆงฝๅๆฐด้พๅคด๏ผๅ ไบฎ้ฒ้ๆๅทง
ๆฐดๆงฝๆฏๅจๆฟไธญๆๆฝฎๆนฟ็ๅบๅ๏ผๅฎนๆๆป็้่ๅๆฐดๅขใไธ้้ขๆฐดๆงฝ๏ผ็จๆดๆด็ฒพๅๆตท็ปตๆฅๅธธๆธ ๆด๏ผ้ๅฐๆฐดๅขๅฏ็จ็ฝ้ๆตธๆนฟๅจๆฟ็บธๆทๅจ่กจ้ข10ๅ้๏ผๅๆฆๆญๅฒๆดใๆฐด้พๅคดไธ็ๆฐดๅข๏ผ็จๆ ๆชฌๅ็ๆฆๆญๆ็จๆนฟๅธ่ธ็ฝ้ๅ ่ฃนๆฐด้พๅคด๏ผ30ๅ้ๅๆฆไบฎ๏ผๅ็จๅนฒๅธๆๅ ใๆๆฐด็ฎกๅผๅณ๏ผๆฏๆๅๅ ฅๅฐ่ๆ+็ฝ้๏ผ1ๆฏๅฐ่ๆ+1ๆฏ็ฝ้๏ผ๏ผ้็ฝฎ15ๅ้ๅๅฒๅ ฅ็ญๆฐด๏ผๆๆๅ่งฃ็ฎกๅฃๆฒน่ๅๆถ้คๅผๅณใๆๆฐดๅฃ่ฟๆปค็ฝๆฏๅคฉๆธ ็ๆฎๆธฃ๏ผ็จๅทๅญๅทๆดใไฟๆๆฐดๆงฝๅนฒ็ฅ้้ฃ๏ผ็จๅๆฆๅนฒ๏ผ้ฒๆญข็้ๅๆฐดๅขๅ ็งฏใ
7. ็ งๆฟใๅๅ ทๅ้คๅ ทๆถๆฏ
็ งๆฟๆฏๅจๆฟไธญไบคๅๆฑกๆ็้็พๅบใๆจๅถ็ งๆฟ๏ผ็จๅไธชๆ ๆชฌ่ธๅ็ๆๅฐ่ๆๆถๆน่กจ้ข๏ผๆ ๆชฌ้ ธๅ็็็ ็ฃจไฝ็จ่ฝ้คๅณๅๆ่๏ผ็ถๅ็จ็ญๆฐดๅฒๆด๏ผ็ซ็ซๆพๅนฒใๅกๆ็ งๆฟ๏ผ็จ็จ้ๆผ็ฝๆฐด๏ผ1:10๏ผๆตธๆณก5ๅ้๏ผ็ถๅๆธ ๆฐดๅฒๆด๏ผๅป้คๆ่ฒๅๅผๅณใๅๅ ท๏ผ็จ็ฃจๅๆฃๅฎๆๆ็ฃจไฟๆ้ๅฉ๏ผ้ๅๆดๅฑ้ฉ๏ผ๏ผ๏ผๆธ ๆดๅ็ซๅณๆฆๅนฒ้ฒๆญข็้ใ้คๅ ทๆถๆฏ๏ผๅฎๆๅฐๆๆ้คๅ ทๆพๅ ฅๆฒธๆฐดไธญ็ ฎ5-10ๅ้๏ผๆไฝฟ็จๆด็ขๆบ็ๆถๆฏๅ่ฝใ็ซนๆจ็ญทๅญๅปบ่ฎฎๆฏ3-6ไธชๆๆดๆขไธๆฌก๏ผ้ฒๆญข็ผ้ๆป็้ปๆฒ้่ใ
8. ๅข้ขใๅฐ้ขๅๆดไฝๅซ็็ปดๆค
ๅจๆฟๅข้ขๅๅฐ้ข็ๆฒนๆฑกไนไธๅฎนๅฟฝ่งใๅข้ข็ท็ ๏ผ็จๆดๆด็ฒพๅๆตท็ปตๆธ ๆด๏ผ็ท็ ็ผ้็จๆง็ๅท่ธๅฐ่ๆ็ฒๅทๆด๏ผ้ฒๆญขๆฒนๆธๆธๅ ฅใๅฐ้ข๏ผๆฏๅคฉ็จๆๆๅ ๆธ ๆดๅๆๅฐ๏ผๆฏๅจ็จๅฐๆฟๅท้ ๅๅฐ่ๆๅๆฐดๅฝปๅบๅทๆดไธๆฌกใๆฒนๆฑกไธฅ้็ๅฐ้ขๅฏ็จๅทฅไธ้ ็ฒพๆๅปๆฒนๅ้็นๅค็ใๆดไฝ้้ฃ๏ผ็น้ฅชๆถๅ จ็จๅผๆฝๆฒน็ๆบ๏ผๅๅฎ้ฅญๅๅผ็ช้้ฃ่ณๅฐ15ๅ้๏ผๅๅฐๅฎคๅ ๆฒน็ๆฎ็ๅๅขๅฃๆฒนๆฑกๅธ้ใๅฎๆ๏ผๆฏๅจ๏ผๆฃๆฅๆญป่ง๏ผๆฉฑๆ้กถ้จๅไพง้ขใๅฐ็ฎฑไธๆนใๆฝๆฒน็ๆบ้กถ้จ่ฟไบๅฎนๆ่ขซๅฟฝ็ฅ็ๅฐๆน็งฏ็ดฏๅคง้็ฐๅฐๆฒนๆฑกใๅฎๆๆธ ๆด่ฟไบ่ง่ฝ่ฝ่ฎฉๆดไธชๅจๆฟ็็ถไธๆฐใ
9. ่ช็ถๆธ ๆดๅ้ ๆน๏ผ็ปๆต็ฏไฟๅ้ซๆ
ๅธๅฎๅๅญฆๆธ ๆดๅ่ฝ็ถๆๆๅฅฝ๏ผไฝๅบๆฟๆงๆฐๅณๅๅๅญฆๆๅไปคไบบๆ ๅฟงใไฝฟ็จๅคฉ็ถๆๆ่ชๅถๆธ ๆดๅๅฎๅ จๅ็ปๆตใไธ่ฝๆธ ๆดๅท้พ๏ผ็ฝ้+ๆฐด๏ผ1:1๏ผๅ ๅ ฅๅ ๆปด่ถๆ ๆๆ ๆชฌ็ฒพๆฒน๏ผ่ฃ ๅ ฅๅทๅฃถ๏ผ็จไบๆฆๆญ็ถๅฐใๆฐดๆงฝใๅฐ็ฎฑๅคๅฃใๅผบๅๅปๆฒน่๏ผๅฐ่ๆ+ๅฐ้็ฝ้ๆ่ฟๆฐงๅๆฐข+ๆดๆด็ฒพ๏ผ่ฐๆ็ณ็ถ๏ผ็จไบๅป้ค้กฝๅบๆฒนๆฑกๅ็ฆๆธใ็ป็ๆธ ๆดๅ๏ผ็ฝ้+ๆฐด๏ผ1:4๏ผ+ๅ ๆปดๆดๆด็ฒพ๏ผๅทๅจ็ป็่กจ้ข็จๆฅ็บธๆ่ถ ็ป็บค็ปดๅธๆฆๅนฒ๏ผ้ไบฎๆ ็ใๆ ๆชฌ้คๅณๅ๏ผๆ ๆชฌ็ฎ+็ฝ้ๆตธๆณกไธๅจ๏ผ่ฟๆปคๅ่ฃ ๅ ฅๅท็ถ๏ผๅคฉ็ถๆๆฉ้ฆๅๆ่ๅใ่ฟไบ่ชๅถๆธ ๆดๅๆๆฌไฝใ็ฏไฟๅฎๅ จ๏ผๅฐคๅ ถ้ๅๆๅฐๅญฉๅๅฎ ็ฉ็ๅฎถๅบญใ่ฎฉๆธ ๆดๅๅฝ่ช็ถ็ฎๅใ
10. ๆฅๅธธไฟๆๅๆธ ๆด่ฎกๅ๏ผ่ฝปๆพ็ปดๆ้ ๅบ็บงๆ ๅ
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[ไบบๅทฅๆบ่ฝๅจๅทฅไธไธ็ป็ปๅฟ็ๅญฆไธญ็ๅบ็จ: ่ๅบๅฟ็็ๆบ่ฝไผๅ]
ไบบๅทฅๆบ่ฝๆญฃๅจๅทฅไธไธ็ป็ปๅฟ็ๅญฆ้ขๅๆไธบ่ๅบๅฟ็็ๆบ่ฝไผๅ่ ,้่ฟไบบๆ่ฏไผฐ,ๅข้ๅๆๅ็ป็ป่ฏๆญ,ๆฏๆไบบๅ่ตๆบ็ฎก็ๅ็ป็ปๅๅฑ.ๅทฅไธไธ็ป็ปๅฟ็ๅญฆ็ ็ฉถๅทฅไฝไธญ็ๅฟ็ๅ่กไธบ,ๆถๅไบบๅ้ๆ,ๅน่ฎญ,็ปฉๆ,้ขๅฏผๅๅ็ป็ปๆๅ.AI็ไบบๆ่ฏไผฐๅฏไปฅๅๆ็ฎๅ,้ข่ฏๅๆต่ฏๆฐๆฎ,่ฏไผฐๅ้ไบบ็่ฝๅ,ๆงๆ ผๅๆฝๅ,ๆฏๆๆ่ๅๆๅๅณ็ญ.ๅข้ๅๆAIๅๆๅข้ๆๅ็ไบๅจ,ๆฒ้ๅ็ปฉๆ,็ ็ฉถๅข้็ๅจๆๅๆ่ฝ,ๆฏๆๅข้ๅปบ่ฎพๅไผๅ.็ป็ป่ฏๆญAIๅๆๅๅทฅ็ๆๅบฆ,่กไธบๅ็ป็ปๆฐๆฎ,่ฏๆญ็ป็ป็้ฎ้ขๅๆบไผ,ๆฏๆ็ป็ปๅ้ฉๅๅๅฑ.
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