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芯片制造中的光刻掩膜版与图案转移精度
1. ไธบไปไน้ ่ฏปไน ๆฏๅฏน็ฐไปฃไบบๅฆๆญค้่ฆ๏ผ
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2. ไปๅพฎไน ๆฏๅผๅง๏ผๆฏๅคฉ่ฏป5ๅ้
ๅ ปๆไน ๆฏ็ๆๅคง่ฏฏๅบๆฏไธๅผๅงๅฐฑ่ฎพๅฎ่ฟ้ซ็็ฎๆ ใๅฆๆไฝ ๆณๅๆ้ ่ฏป๏ผไธ่ฆไธๅผๅงๅฐฑ่งๅฎๆฏๅคฉ่ฏป50้กต๏ผ่ๆฏไปๆฏๅคฉ่ฏป5ๅ้ๅผๅงใ่ฟไธช็ฎๆ ๅฐๅฐไธๅฏ่ฝๅคฑ่ดฅ๏ผๅด่ฝๅธฎไฝ ๅปบ็ซ้ ่ฏป็ๆฏๆงใๅฐ5ๅ้้ ่ฏปๅบๅฎๅจๆไธช็นๅฎๆถ้ด๏ผๆฏๅฆๆฉไธไธๆฏๅๅก็้ด้ใ้ๅค่ทฏไธใๅไผๆถ้ดๆ็กๅๆดๆผฑๅใๅฝ5ๅ้ๅๆไน ๆฏๅ๏ผไฝ ไผๅ็ฐ่ชๅทฑ้ๆธๅปถ้ฟๅฐ10ๅ้ใ20ๅ้็่ณๆด้ฟใๅ ณ้ฎๆฏๅ ่กๅจ่ตทๆฅ๏ผ่ฎฉ้ ่ฏปๆไธบๅๅท็ไธๆ ท่ช็ถ็่กไธบ๏ผ่ไธๆฏไธไธช้่ฆๆถ่ๆๅฟๅ็ไปปๅกใ
3. ๆ้ ไธๅฑ็้ ่ฏป็ฉบ้ดๅไปชๅผๆ
็ฏๅขๅฏนไน ๆฏๅ ปๆๆๅทจๅคงๅฝฑๅใๅจๅฎถไธญๆๅๅ ฌๅฎค่ฎพ็ซไธไธช่้็้ ่ฏป่ง่ฝ๏ผๆพไธๆ่้็ๆค ๅญใไธ็ๆๅ็็ฏๅไธไธชๅฐไนฆๆถใๅณไฝฟ็ฉบ้ดๆ้๏ผไนๅฏไปฅๅจๅบๅคดๆใๆฒๅๆๆไนฆๆกไธๅ้ ไธๅฑ้ ่ฏปๅบใๆฏๆฌก้ ่ฏปๅ๏ผๅฏไปฅๆณกไธๆฏ่ถๆๅๅก๏ผๅ ณ้ญๆๆบ้็ฅ๏ผ็นไธไธ็็ฏ๏ผ่ฟไบไปชๅผๆๅจไฝ่ฝๆ็คบๅคง่่ฟๅ ฅ้ ่ฏป็ถๆใๆถ้คๅนฒๆฐๆฏ้ ่ฏปไธๆณจ็ๅ ณ้ฎ๏ผๅฐๆๆบ้้ณๆๆพๅจๅฆไธไธชๆฟ้ด๏ผๆดไธ้ๅช่ณๆบ๏ผ้็ฅๅฎถไบบ่ชๅทฑๅจ้ ่ฏปๆถ้ด่ฏทๅฟๆๆฐใไผ่ดจ็็ฉ็็ฏๅขๅๅฟ็ๅๅค่ฝ่ฎฉ้ ่ฏปๆ็ๆๅๆฐๅใ
4. ้ๆฉ้ๅไฝ ็ไนฆ็ฑ๏ผๅ ด่ถฃๆฏ็ปๅ ธๆด้่ฆ
ๅพๅคไบบๅจๅนๅ ป้ ่ฏปไน ๆฏๆถ็ฏ็้่ฏฏๆฏๅผบ่ฟซ่ชๅทฑ่ฏปโๅบ่ฏฅ่ฏปโ็็ปๅ ธๅ่ๆ้ซๆทฑไธไธไนฆ็ฑ๏ผ็ปๆๅ ไธบๆฆๆถฉ้พๆ่ๅพๅฟซๆพๅผใๅจไน ๆฏๅ ปๆ้ถๆฎต๏ผๅ ด่ถฃๆฏๆ้่ฆ็ๅจๅใ้ๆฉไฝ ็ๆญฃๆๅ ด่ถฃ็้ขๅ๏ผไธ็ฎกๆฏๅฐ่ฏดใๅๅฒใๅฟ็ๅญฆใๅไธใ็่ดข่ฟๆฏ็งๅนป๏ผๅช่ฆ่ฏปๅพ่ฟๅปๅฐฑๆฏๅฅฝไนฆใ้ ่ฏปๅบ่ฏฅๆฏๆๆฆ็ไฝ้ช่้่ฆๅทฎไบใๅฏไปฅๅ ไป็ญ็ฏใ้ไฟใๆ่ถฃ็ไนฆ็ฑๅ ฅๆ๏ผๅปบ็ซ่ชไฟกๅฟๅๆๅฐฑๆใ้็้ ่ฏป่ฝๅๆๅ๏ผๅ้ๆญฅๆฉๅฑๅฐไธๅ็ฑปๅ็ไนฆ็ฑใ่ฎฐไฝ๏ผ่ฏปไธๆฌ่ฝปๆพๆ่ถฃ็ไนฆ่ฟ่ไบๅ้่ๅบๅฐๅๅคง้จๅคดใ
5. ๅฉ็จ็ข็ๆถ้ด๏ผ่ฎฉ้ ่ฏป่ๅ ฅๆฅๅธธ
ๅฟ็ขไบบๅฃซๆๅคง็ไผๅฟๆฏๅไบๅฉ็จ็ข็ๆถ้ดใ้ๅค่ทฏไธๅฏไปฅๅฌๆๅฃฐไนฆๆ้ ่ฏป็ตๅญไนฆ๏ผๆ้็ญๅพ ๆถๅฏไปฅๆๅผ้ ่ฏปApp็ๅ ้กต๏ผๅไผๅๅฏไปฅ็ฟป็ๆๅฟๆ็ญ็ฏๆ็ซ ๏ผๅๅฎถๅกๆถๅฏไปฅๅฌๆญๅฎขๆ็ฅ่ฏ้ณ้ขใๆๆๆบไธ็ๅจฑไนApp่ฐๆดๅฐ้ ่ฏปAppๆ่พน๏ผๅๅฐๅท็คพไบคๅชไฝ็ๆถ้ดใๆฏๅคฉ็ไผผ้ถ็ข็15ๅ้ใ20ๅ้๏ผ็งฏ็ดฏ่ตทๆฅไธๅจๅฐฑๆฏ2-3ๅฐๆถ็้ ่ฏป้ใ็ตๅญไนฆๅๆๅฃฐไนฆๅฐคๅ ถ้ๅ็ข็ๅ้ ่ฏปๅบๆฏ๏ผ่ฎฉ้ ่ฏปไธๅๆถ้ดๅ็ฉบ้ด้ๅถใๅ ๅๅฉ็จ่ฟไบ้ถๆฃๆถๆฎต๏ผไฝ ไผๆ่ฎถไบ่ชๅทฑ็้ ่ฏป้ใ
6. ๅปบ็ซ้ ่ฏป่ฎฐๅฝๅๅไบซ็คพ็พค
่ฎฐๅฝ้ ่ฏป่ฟๅบฆๅๅฟๅพๆฏๅผบๅไน ๆฏ็ๆๆๆนๅผใไฝ ๅฏไปฅไฝฟ็จ็ฌ่ฎฐๆฌใ็ตๅญ่กจๆ ผๆไธ้จ็้ ่ฏปApp่ฎฐๅฝๆฏๆฌไนฆ็้ ่ฏป่ตทๆญขๆฅๆใไธป่ฆๆถ่ทๅๆๆใๅจ็คพไบคๅชไฝๆ้ ่ฏป็คพๅบๅไบซ่ฏปไนฆ็ฌ่ฎฐ๏ผไธไป ๅ ๆทฑ็่งฃ่ฟ่ฝ่ทๅพๅ้ฆๅ้ผๅฑใๅ ๅ ฅ็บฟไธๆ็บฟไธ็่ฏปไนฆไฟฑไน้จ๏ผไธๅฟๅ้ๅ็ๆๅไบคๆต่ฎจ่ฎบ๏ผไบ็ธๆจ่ๅฅฝไนฆใๅฝ้ ่ฏปๆไธบไธ็ง็คพไบคๆดปๅจๆถ๏ผๅค้จๆฟ่ฏบๅ็คพไผ่ฎคๅไผๅขๅผบไฝ ็ๅๆๅจๅใ็็่ชๅทฑ็้ ่ฏป่ฎฐๅฝไธๆญ็ดฏ็งฏ๏ผ้ฃ็งๆๅฐฑๆไผๆไธบ่ฏๆงๅพช็ฏ็้ฉฑๅจๅใ
7. ๅ ๆ้ ่ฏป้็ขๅๅฆๆ ๆ
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8. ้ ่ฏปไน ๆฏ็้ฟๆๆถ็
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ไผๅๆ ธๅฟ่ฆ็น
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