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芯片制造中的化学机械抛光与平坦化技术
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่ฏ็ๅฏ้ ๆงๆฏไบงๅ่ดจ้็ๆ ธๅฟ๏ผ่ฏ็้่ฆๅจๅ็งไฝฟ็จๆกไปถไธ้ฟๆ็จณๅฎๅทฅไฝ๏ผๅฏ้ ๆงๆต่ฏๆฏ่ดจ้ไฟ่ฏ็ๅ ณ้ฎ็ฏ่ใ่ฏ็ๅฏ้ ๆง็้่ฆๆง๏ผ็จๆทไฝ้ช๏ผ่ฏ็ๆ ้ๅฝฑๅ็จๆทไฝฟ็จ๏ผ๏ผๅ็ๅฃฐ่ช๏ผๅฏ้ ๆง้ฎ้ขๆๅฎณๅ็๏ผ๏ผๆๆฌๅฝฑๅ๏ผ่ฏ็ๆ ้็ๅฌๅๅ็ปดไฟฎๆๆฌ๏ผใ่ฏ็ๅฏ้ ๆง็ๆๆ๏ผๅถ็จๅทฅ่บ็ๅคๆๆง๏ผๅ ่ฟๅทฅ่บ็ๅฏ้ ๆงๆๆ๏ผ๏ผๅทฅไฝ็ฏๅข็ๅคๆ ทๆง๏ผๆธฉๅบฆใๆนฟๅบฆใ็ตๅๅๅ๏ผ๏ผไฝฟ็จๆถ้ด็้ฟๆๆง๏ผ่ฏ็้่ฆๅคๅนด็จณๅฎๅทฅไฝ๏ผใ
2. ่ฏ็ๅฏ้ ๆงๆต่ฏ็็ฑปๅไธๆนๆณ
่ฏ็ๅฏ้ ๆงๆต่ฏ็็ฑปๅๅๆนๆณใๅ ้ๅฏฟๅฝๆต่ฏ๏ผ้ซๆธฉๅ ้ๆต่ฏ๏ผHTOL๏ผ้ซๆธฉๅทฅไฝๅฏฟๅฝๆต่ฏ๏ผ๏ผๆนฟๅบฆๆต่ฏ๏ผHAST๏ผ้ซๅ ้ๆธฉๆนฟๅบฆๆต่ฏ๏ผ๏ผๆธฉๅบฆๅพช็ฏๆต่ฏ๏ผๆธฉๅบฆๅๅ็ๅฏ้ ๆง๏ผใ็ตๅบๅๆต่ฏ๏ผ็ตๅๅบๅๆต่ฏ๏ผESD๏ผ้็ตๆพ็ตๆต่ฏ๏ผ๏ผ็ตๆตๅบๅๆต่ฏ๏ผEM๏ผ็ต่ฟ็งปๆต่ฏ๏ผ๏ผๅ่ๆต่ฏ๏ผ็ญๅพช็ฏๆต่ฏ๏ผใ็ฏๅขๆต่ฏ๏ผๆธฉๅบฆๆต่ฏ๏ผๅทฅไฝๆธฉๅบฆๅๅญๅจๆธฉๅบฆ๏ผ๏ผๆนฟๅบฆๆต่ฏ๏ผๅทฅไฝๆนฟๅบฆ๏ผ๏ผๆบๆขฐๆต่ฏ๏ผๆฏๅจๅๅฒๅปๆต่ฏ๏ผใๅฏ้ ๆงๆต่ฏๆฏ"่ดจ้็้ขๆผ"โโ้่ฟๅ ้ๅๆ็ซฏๆกไปถๆต่ฏ๏ผ้ขๆต่ฏ็ๅจๆญฃๅธธไฝฟ็จๆกไปถไธ็ๅฏฟๅฝๅๅฏ้ ๆงใ
3. ๅฏฟๅฝ้ขๆตไธๅฏ้ ๆงๅๆ
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